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公开(公告)号：CN107301940A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201611028040.2
申请日：2016-11-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/24585 , H01J2237/2803 , H01J2237/2813
Abstract: 本发明涉及一种用于使用生成带电粒子束的带电粒子束装置来分析物体的方法。此外，本发明涉及一种用于执行这种方法的带电粒子束装置。所述方法包括将所述物体的图像的对应于体积单元的体积单元表面的一部分分割为具有第一颜色级和第二颜色级的区域以及确定相应区域分数。所述方法包括通过对所述颜色级与存储在数据库中的信息进行比较而识别具有各颜色级的多个粒子的步骤。通过比较所述颜色级，可以识别可包括在所述体积单元中的可能粒子，例如，矿物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107301940B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201611028040.2
申请日：2016-11-18
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
Abstract: 本发明涉及一种用于使用生成带电粒子束的带电粒子束装置来分析物体的方法。此外，本发明涉及一种用于执行这种方法的带电粒子束装置。所述方法包括将所述物体的图像的对应于体积单元的体积单元表面的一部分分割为具有第一颜色级和第二颜色级的区域以及确定相应区域分数。所述方法包括通过对所述颜色级与存储在数据库中的信息进行比较而识别具有各颜色级的多个粒子的步骤。通过比较所述颜色级，可以识别可包括在所述体积单元中的可能粒子，例如，矿物。
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公开(公告)号：CN105388177A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510542371.7
申请日：2015-08-28
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： E.希尔
IPC: G01N23/223
Abstract: 一种EDS分析的方法，包括：提供第一材料集合和相关材料数据，每种材料数据表示相关材料的特性；将电子束引导至样品上多个位置，并记录与多个位置中每一个相关的能量色散x射线光谱；通过下列方式处理多个位置中的每个位置：如满足基于与处理的位置相关的能量色散x射线光谱和第一材料集合的数据确定的第一相似性准则，则将第一材料集合中的材料分配给处理的位置；以及然后确定未分配有第一材料集合中的材料的第一位置组；以及通过如下方式处理第一位置组中的位置：确定分配有第一材料集合中的材料并满足相对于处理的位置的第一接近度准则的第二位置组；以及基于分配给第二位置组中的位置的材料将第一材料集合中的至少一种材料分配给处理的位置。
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公开(公告)号：CN104089966A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410017457.3
申请日：2014-01-15
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: H01J37/26 , G01N23/2254 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806 , H01J2237/2808 , H01J2237/2809
Abstract: 本发明涉及一种方法和一种带电粒子束装置(1)，用于使用与物体(24)互相作用的带电粒子束来分析物体(24)。该物体(24)包括嵌入树脂(15B)中的样品(15A)。检测阴极发光光形式的互相作用辐射以识别布置有树脂(15B)的区域和布置有样品(15A)的区域。检测互相作用粒子以识别树脂(15B)和样品(15A)内的粒子，以通过使用EDX分析进行进一步分析。
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公开(公告)号：CN105388177B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201510542371.7
申请日：2015-08-28
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： E.希尔
IPC: G01N23/223
Abstract: 一种EDS分析的方法，包括：提供第一材料集合和相关材料数据，每种材料数据表示相关材料的特性；将电子束引导至样品上多个位置，并记录与多个位置中每一个相关的能量色散x射线光谱；通过下列方式处理多个位置中的每个位置：如满足基于与处理的位置相关的能量色散x射线光谱和第一材料集合的数据确定的第一相似性准则，则将第一材料集合中的材料分配给处理的位置；以及然后确定未分配有第一材料集合中的材料的第一位置组；以及通过如下方式处理第一位置组中的位置：确定分配有第一材料集合中的材料并满足相对于处理的位置的第一接近度准则的第二位置组；以及基于分配给第二位置组中的位置的材料将第一材料集合中的至少一种材料分配给处理的位置。
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公开(公告)号：CN104089966B
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201410017457.3
申请日：2014-01-15
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: H01J37/26 , G01N23/2254 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806 , H01J2237/2808 , H01J2237/2809
Abstract: 本发明涉及种方法和种带电粒子束装置(1),用于使用与物体(24)互相作用的带电粒子束来分析物体(24)。该物体(24)包括嵌入树脂(15B)中的样品(15A)。检测阴极发光光形式的互相作用辐射以识别布置有树脂(15B)的区域和布置有样品(15A)的区域。检测互相作用粒子以识别树脂(15B)和样品(15A)内的粒子,以通过使用EDX分析进行进步分析。
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