公开(公告)号：CN103808552B

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：CN201310601890.7

申请日：2013-11-12

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： R·萨尔泽

IPC: G01N1/32

CPC classification number: H01J37/3053 ,  B23K26/03 ,  B23K26/14 ,  B23K26/361 ,  B23K26/362 ,  G01N1/32 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31744 ,  H01L21/02

Abstract: 一种在材料试样1中产生光滑表面23的方法，包括：通过粒子束蚀刻将第一材料量去除来产生基本光滑的第一表面区域21，其中，所述第一材料量由所述第一表面区域部分地限定，并且其中，射束方向15与第一表面区域21的表面法线之间的角度大于80°且小于90°；并且通过去除第二材料量II来产生基本光滑的第二表面区域23，其中，所述第二材料量由第一表面区域21′部分地限定且由第二表面区域23部分地限定，并且其中，所述射束方向15与第二表面区域23的表面法线之间的角度α小于60°。

公开(公告)号：CN103808552A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201310601890.7

申请日：2013-11-12

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： R·萨尔泽

IPC: G01N1/32

CPC classification number: H01J37/3053 ,  B23K26/03 ,  B23K26/14 ,  B23K26/361 ,  B23K26/362 ,  G01N1/32 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31744 ,  H01L21/02

Abstract: 一种在材料试样1中产生光滑表面23的方法，包括：通过粒子束蚀刻将第一材料量去除来产生基本光滑的第一表面区域21，其中，所述第一材料量由所述第一表面区域部分地限定，并且其中，射束方向15与第一表面区域21的表面法线之间的角度大于80°且小于90°；并且通过去除第二材料量II来产生基本光滑的第二表面区域23，其中，所述第二材料量由第一表面区域21′部分地限定且由第二表面区域23部分地限定，并且其中，所述射束方向15与第二表面区域23的表面法线之间的角度α小于60°。