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公开(公告)号：CN107104029B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201610905526.3
申请日：2011-09-23
Applicant: 以色列实用材料有限公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源(301)；具有多个孔的第一多孔径板(320)，其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板(313)，具有多个孔；载体(340)，其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器(350)，构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。
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公开(公告)号：CN107104029A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201610905526.3
申请日：2011-09-23
Applicant: 以色列实用材料有限公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: H01J37/09 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/3177 , H01J2237/0453 , H01J2237/0458 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源；具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在系统的带电粒子束路径中源的下游；第一多孔径选择器板，具有多个孔径；载体，第一多孔径选择器板安装在载体上；致动器，构造为移动载体，使在系统的第一操作模式中将第一多孔径选择器板布置在系统带电粒子束路径中源的下游，且使在系统的第二操作模式中将第一多孔径选择器板布置在带电粒子束路径之外。源、第一多孔径板和载体被布置为使在第一操作模式中，在第一多孔径板和第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，且使在第二操作模式中，在位置处产生第二数量的带电粒子小波束，小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。
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公开(公告)号：CN103238202B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201180057076.2
申请日：2011-09-23
Applicant: 以色列实用材料有限公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/09
CPC classification number: H01J37/09 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/3177 , H01J2237/0453 , H01J2237/0458 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源（301）；具有多个孔径的第一多孔径板（320），其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板（313），具有多个孔径；载体（340），其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器（350），构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。
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公开(公告)号：CN111383879A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911399513.3
申请日：2019-12-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： D.蔡德勒
IPC: H01J37/28 , H01J37/145
Abstract: 一种用于产生多个粒子束3的设备，该设备包括粒子源11、具有多个开口15的第一多孔板13、具有多个开口19的第二多孔板17、第一粒子透镜21、第二粒子透镜22、第三粒子透镜23以及控制器27，该控制器为第一粒子透镜21、第二粒子透镜22以及第三粒子透镜23中的每一个透镜提供可调节的激励。
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公开(公告)号：CN113936983A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111084339.0
申请日：2016-02-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107210176B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201680008777.X
申请日：2016-02-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/09 , H01J37/244
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统，其包括被设计成用于生成第一带电粒子束(309)的粒子源(301)。该粒子束系统具有多粒子束发生器(305)，该多粒子束发生器被配置成用于从第一入射的带电粒子束中产生多条部分粒子束(13)，所述部分粒子束在空间上在垂直于这些部分粒子束的传播方向的方向上间隔开，其中，这多条部分粒子束至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜(102)，该透镜被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，其方式为使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区(209)的检测器系统和投射系统(205)，其中，该投射系统被配置成用于将由于这些入射的部分粒子束而离开该第一平面的交互产物投射到该检测器系统上。该投射系统和该多个检测区相匹配，其方式为使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到该检测系统的第一检测区上，而源自该第一平面的第二区的交互产物被投射到与该第一检测区不同的第二检测区上。另外，该检测器系统包括用于根据交互产物对应的路线来过滤这些交互产物的过滤器装置(208)。
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公开(公告)号：CN111383879B
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN201911399513.3
申请日：2019-12-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： D.蔡德勒
IPC: H01J37/28 , H01J37/145
Abstract: 一种用于产生多个粒子束3的设备，该设备包括粒子源11、具有多个开口15的第一多孔板13、具有多个开口19的第二多孔板17、第一粒子透镜21、第二粒子透镜22、第三粒子透镜23以及控制器27，该控制器为第一粒子透镜21、第二粒子透镜22以及第三粒子透镜23中的每一个透镜提供可调节的激励。
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公开(公告)号：CN110148548B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201910426923.6
申请日：2016-02-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/09 , H01J37/244
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
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公开(公告)号：CN111477530A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201911363126.4
申请日：2019-12-25
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明披露了一种利用多束粒子显微镜对3D样本成像的快速方法。该方法包括以下步骤：提供该3D样本的层；确定包括在所述层中的特征的特征大小；基于所述层中的所确定的特征大小来确定像素大小；基于所确定的像素大小来确定所述层中的各个束之间的束间距大小；以及基于所确定的像素大小并且基于所确定的束间距大小，利用该多束粒子显微镜的设置对该3D样本的所述层成像。
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公开(公告)号：CN110313047B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201880012469.3
申请日：2018-03-15
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/10
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子束系统，该带电粒子束系统包括：带电粒子源，该带电粒子源被配置用于生成第一带电粒子束；多束生成器，该多束生成器被配置用于从进入的第一带电粒子束生成多个带电粒子小束，其中，该多个带电粒子小束中的每个单独小束与该多个带电粒子小束中的其他小束在空间上分离开；物镜，该物镜被配置用于以如下方式将进入的带电粒子小束聚焦在第一平面中：该多个带电粒子小束中的第一单独小束撞击在该第一平面中的第一区域与该多个带电粒子小束中的第二单独小束撞击在该第一平面中的第二区域在空间上分离开；投射系统以及包括多个单独检测器的检测器系统，其中，该投射系统被配置用于将由于撞击的带电粒子而离开该第一平面内的第一区域的交互产物成像到该多个单独检测器中的第一检测器上，并且将由于撞击的带电粒子而离开该第一平面内的第二区域的交互产物成像到该多个单独检测器中的第二检测器上。在该带电粒子束系统中，该投射系统包括提供低频调整的第一子部件以及提供高频调整的第二子部件。
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