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公开(公告)号：CN113189196A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110384059.5
申请日：2021-04-09
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超声波相位差技术进行气体浓度检测方法，属于气体浓度检测技术领域。本发明推导出并利用“混频前与混频后相位差相同”的结论，通过选择频率略小于原x1(t)与x2(t)的矩形波信号y(t)，分别与x1(t)与x2(t)混频后，获得两个低频信号，通过求取该两个低频信号相位差，可以实现将原本对两个高频超声波信号相位差的检测转换为对极低频率相位差的检测。本发明可以实现将原本两个高频超声波信号相位差检测转换为极低频率相位差检测，从而达到提高检测精度的要求，解决了传统方法中对低浓度气体进行测量时系统必须具有足够高的工作频率的问题。
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公开(公告)号：CN110515083A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910707082.6
申请日：2019-08-01
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种超声波传感器测距系统，属于测距技术领域，本发明包括超声波传感器，用于向测量目标发射超声波信号，并接收目标反射回的模拟信号；测距处理单元，用于接收超声波传感器接收的模拟信号，对获取的距离信号进行运算处理并将距离数据发送；移动终端，接收测距处理单元发送的距离数据，同时进行计时操作；基于得到的模拟信号和计时结果，存储和显示得到的距离，控制超声波传感器的开启。本发明仅采用一个超声波传感器，就能够随时任意移动终端互连，变成随身携带的智能超声波测距仪，基于现有移动终端的可视化操作，使得本发明具有操作灵活、体积小、功耗低，携带方便等特点。
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公开(公告)号：CN109781649A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811635878.7
申请日：2018-12-29
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/01
Abstract: 一种适用于多种气体检测的非分光型红外气体传感器,涉及基于非分光型红外气体传感器领域,为了解决现有用于多种气体检测的非分光型红外气体传感器中光通量投射不均、检测误差大的问题。上壁透气板、六棱台气体腔室侧壁和探测器底板围合成六棱台气体腔室，上壁透气板和六棱锥形反射板上均打有透气孔；探测器底板的中央设有红外光源，红外光源的周围均匀分布6个探测器，红外光源发射的准直红外光依次经六棱锥形反射板的底面和六棱台气体腔室侧壁的内壁反射后形成的6路光分别入射至6个聚光透镜，经聚光透镜聚焦后再通过滤光片滤光，最终入射至相应探测器。适用于检测多种气体，本发明的检测精度高、体积小。
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公开(公告)号：CN106018497A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610562247.1
申请日：2016-07-18
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/12
CPC classification number: G01N27/123
Abstract: 一种半导体气体传感器低频温度调制检测方法，涉及一种针对半导体气体传感器的低频脉冲加热温度调制检测方法，解决了现有半导体气体传感器恒定加热条件下传感器输出的非线性，选择性差，抗环境温度干扰能力弱等缺点。本发明针对半导体气体传感器采用周期性脉冲调制电压加热方法，在调制频率为0.05‑0.5Hz的周期性矩形波信号、正弦波信号和三角波信号的加热调制电压下，半导体气体传感器输出同周期变化的脉冲电阻信号，通过设定传感器输出信号波形的幅值比△Ra/△Rg（或△Rg/△Ra）作为传感器检测输出信号，在低频温度调制范围内被测气体浓度与传感器输出信号波形的幅值比呈近似线性变化规律。本发明适用于半导体气体传感器。
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公开(公告)号：CN103663361B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201310743385.6
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种硅基片或陶瓷基片的柔性机械光刻剥离工艺方法，涉及一种在微机械加工中柔性机械光刻剥离工艺制造方法，解决了现有采用反转胶光刻剥离工艺法在硅基片或陶瓷衬底基片进行铂膜光刻剥离，存在污染大、工艺程序复杂，机械性能较差的缺点。本发明采用氮化铝陶瓷基片或硅基片为衬底在超声波的作用下分别在丙酮溶液中和酒精溶液中进行清洗然后均匀涂胶，以制备器件图案的反图形掩模版为制版图形再进行曝光、显影、镀膜，然后在微超声清洗光刻胶，直至光刻胶完全溶解，采用柔性的双向拉伸聚丙烯压敏胶粘带附着在溶解光刻胶后的基片上，施加外力，最后退火处理，实现对陶瓷基片或硅基片的柔性机械光刻剥离。本发明适用于硅基片或陶瓷基片的光刻剥离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104698039A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510137044.3
申请日：2015-03-26
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 一种AlN陶瓷基热隔离结构四单元阵列气体传感器及其制作方法，涉及一种气体传感器及其制造方法。解决了目前的硅基微热板集成阵列气体传感器在热稳定性差及硅基微热板集成阵列气体传感的成膜工艺复杂、高温下硅基存在热失配的问题。本发明包括矩形氮化铝陶瓷基片和四个独立传感器单元，每个独立传感器单元包括两个加热电极、两个信号电极、四个等腰梯形热隔离孔、矩形加热器和信号探测器；制作该四单元阵列气体传感器的方法为先将氮化铝陶瓷基片用丙酮溶液和酒精溶液进行清洗，烘干后在进行涂胶，光刻，再进行镀膜，放入丙酮溶液中溶解光刻胶，激光刻蚀，再放入稀盐酸溶液中清洗，最后进行退火处理，获得传感器。本发明适用于测量气体成分。
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公开(公告)号：CN104390667A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410777315.7
申请日：2014-12-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 一种渗B半导体加热温度可调环境参数集成传感器，适用于环境参数测量领域。本发明的目的是要解决现有的环境参数传感器测量参数单一、受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种渗B半导体加热温度可调的环境参数集成传感器其特征在于：主要由硅基底、二氧化硅绝缘层、渗B半导体加热体，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种渗B半导体加热温度可调的环境参数集成传感器，内置渗B半导体加热体，可为传感器提供适应的工作温度，从而提高传感器的精度；悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费；MEMS技术的应用，可将环境参数传感器单元、温湿度传感器单元和加热体温度传感器单元和气体传感器单元集成在一个传感器中，可使本传感器体积变小、成本降低。
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公开(公告)号：CN103663361A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310743385.6
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种硅基片或陶瓷基片的柔性机械光刻剥离工艺方法，涉及一种在微机械加工中柔性机械光刻剥离工艺制造方法，解决了现有采用反转胶光刻剥离工艺法在硅基片或陶瓷衬底基片进行铂膜光刻剥离，存在污染大、工艺程序复杂，机械性能较差的缺点。本发明采用氮化铝陶瓷基片或硅基片为衬底在超声波的作用下分别在丙酮溶液中和酒精溶液中进行清洗然后均匀涂胶，以制备器件图案的反图形掩模版为制版图形再进行曝光、显影、镀膜，然后在微超声清洗光刻胶，直至光刻胶完全溶解，采用柔性的双向拉伸聚丙烯压敏胶粘带附着在溶解光刻胶后的基片上，施加外力，最后退火处理，实现对陶瓷基片或硅基片的柔性机械光刻剥离。本发明适用于硅基片或陶瓷基片的光刻剥离。
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公开(公告)号：CN100504326C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200710071883.5
申请日：2007-03-14
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 微型铂热电阻温度传感器的镶嵌式电极引出方法，它涉及一种电极引出方法。它为了满足超薄体的要求，本发明步骤如下：一：清洗Al2O3基板(1)；二：激光刻槽：采用激光器加工Al2O3基板(1)，在Al2O3基板(1)的一端约1/3处开出两个电极沟槽(2)；三：电极(3)埋入：将电极(3)埋入电极沟槽(2)中，再以高温导电粘结剂填平电极(3)与电极沟槽(2)之间的空隙，在700～900℃温度下热处理1h烧结高温导电粘结剂，将电极(3)固定在电极沟槽(2)中；四：溅射铂膜(4)；五：制版调阻。它使敏感膜表面平整、无突起物，电极焊接点不另增加传感器的厚度，实现狭缝、窄条、微空间等检测微小的局部温度信息的目的。本发明实现了铂热电阻温度传感器的微型、超薄化，具有工艺简单、可操作性强等特点。
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公开(公告)号：CN216566853U
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202122663726.1
申请日：2021-11-02
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于无线传感器网络的多组分气体监测系统，包括BLE通信模块(1)、传感器模块(2)、OLED显示模块(3)、Flash存储模块(4)、按键指示灯模块(5)、数据中继器(11)、电源模块(6)、移动设备监测中心(12)、固件升级接口(7)、数据读取接口(8)、电源接口(9)、固定孔(10)、设备外壳(13)、内置固定螺柱(14)。BLE通信模块(1)将传感器模块(2)采集的数据发送到移动设备监测中心(12)存储和分析数据。本实用新型便于实时监测化工厂等场所含有易燃易爆等危险气体的浓度变化情况，及时监测易燃易爆等危险气体的浓度，能够有效预防危险气体泄漏事件的发生，对于社会的稳定、企业的安全生产运行将具有重要意义。
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