公开(公告)号：CN104698039A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201510137044.3

申请日：2015-03-26

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵文杰 ,  刘丛宁 ,  施云波 ,  于明岩 ,  周真

IPC: G01N27/00

Abstract: 一种AlN陶瓷基热隔离结构四单元阵列气体传感器及其制作方法，涉及一种气体传感器及其制造方法。解决了目前的硅基微热板集成阵列气体传感器在热稳定性差及硅基微热板集成阵列气体传感的成膜工艺复杂、高温下硅基存在热失配的问题。本发明包括矩形氮化铝陶瓷基片和四个独立传感器单元，每个独立传感器单元包括两个加热电极、两个信号电极、四个等腰梯形热隔离孔、矩形加热器和信号探测器；制作该四单元阵列气体传感器的方法为先将氮化铝陶瓷基片用丙酮溶液和酒精溶液进行清洗，烘干后在进行涂胶，光刻，再进行镀膜，放入丙酮溶液中溶解光刻胶，激光刻蚀，再放入稀盐酸溶液中清洗，最后进行退火处理，获得传感器。本发明适用于测量气体成分。

公开(公告)号：CN205506741U

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201620200448.2

申请日：2016-03-16

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵文杰 ,  于洋 ,  施云波 ,  于明岩 ,  王欣

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种AlN热隔离双面结构微热板气体传感器，包括AlN陶瓷基片、加热器、加热器焊盘、信号电极、信号电极焊盘、焊盘通孔、梯形热隔离槽、敏感膜，基片正面设置有信号电极、信号电极焊盘、加热器焊盘、敏感膜，信号电极采用叉指电极结构，敏感膜附在信号电极上；基片背面设置有加热器、加热器焊盘、信号电极焊盘，加热器采用蛇形排列结构；基片正面与背面的焊盘通过刻蚀的焊盘通孔相连接；基片中心加热区四周刻蚀有梯形热隔离槽，作用是减少传感器的热量损失。传感器整体尺寸约为3.2mm*3.2mm*0.2mm。本实用新型的气体传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高等优点，可以作为半导体式Cl2、NO2、CH4等气体传感器。