公开(公告)号：CN102598091B

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201080003057.7

申请日：2010-08-30

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: G02F1/13 ,  G09F9/00 ,  C09J5/00

CPC classification number: G02F1/1303 ,  C09J5/00 ,  C09J2203/318 ,  G02F1/13338 ,  G02F2001/133325 ,  G02F2001/133331 ,  G02F2001/133354 ,  G02F2202/28

Abstract: 本发明提供一种显示面板的制造方法及其制造系统，其在完全无气泡的状态下且以均等的间隙粘接电光面板与基板。首先，通过电光面板(1)和基板(2)的对置面(1a、2a)彼此在真空气氛中夹着液状粘接剂(3)向Z方向重叠，使液状粘接剂(3)沿着对置面(1a、2a)强制地伸展。接着，通过使液状粘接剂(3)在电光面板(1)与基板(2)之间自然伸展，液状粘接剂(3)中的部分真空等消失，液状粘接剂(3)成为大致静止稳定的状态，液状粘接剂(3)的层厚在电光面板(1)及基板(2)的整个对置面(1a、2a)向Z方向成为大致均等，从而成为不需要进一步调整间隙的状态。之后，在大气中将电光面板(1)及基板(2)中的任意一方相对于另一方向XYθ方向相互移动而对位时，仅使放在大致均等层厚的液状粘接剂(3)上的电光面板(1)或基板(2)中的任意一方沿着液状粘接剂(3)的界面顺畅地滑动即可而不进行加压，所以液状粘接剂(3)不会变形流动且不会卷入空气。

公开(公告)号：CN103403614A

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：CN201080070445.7

申请日：2010-10-01

Applicant: 株式会社FK光实验室 ,  信越工程株式会社 ,  WI-A公司

Inventor： 远藤润二 ,  立川洁 ,  川越康弘 ,  内山一荣 ,  大谷义和 ,  尹炯烈 ,  桥诘幸司

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: G02F1/1303 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/133753 ,  G02F1/133788 ,  G02F2001/133757

Abstract: 提供能形成优异特性的取向膜的光取向曝光装置及光取向曝光方法。本发明所涉及的光取向曝光装置1，具备：照射光学系统11，包含偏振光照射单元12和偏振光控制元件14，向表面具有取向膜的基板2照射光束；以及扫描单元15，使基板2或照射光学系统11的至少一部分移动，沿既定的扫描方向对基板2扫描光束，偏振光照射单元12向偏振光控制元件14射出直线偏振光，偏振光控制元件14具有沿与扫描方向正交的方向排列的单位偏振光控制区域，从单位偏振光控制区域照射的光束的偏振方向按每既定数量的单位偏振光控制区域而周期性变化，并且在所述周期内关于与所述扫描方向平行且与所述基板正交的平面大致对称。

公开(公告)号：CN103160214A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201210524707.3

申请日：2012-12-07

Applicant: 信越工程株式会社 ,  新光工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  长谷川凉

IPC: C09J5/00

Abstract: 本发明提供一种贴合器件的制造方法，该贴合器件将粘结剂的外部形状保持为固化时的形状的同时使基板彼此粘合。本发明的贴合器件的制造方法中，在第1基板（1）或第2基板（2）的任一方的内面以与固化时相同的形状涂布粘结剂（3）之后，仅局部性地半固化粘结剂（3）的周边部（3a），以使其粘度保持粘结性的同时高于其他部位的粘度，之后，通过以夹住包括周边部（3a）的粘结剂（3）的整体的方式粘合第1基板（1）和第2基板（2），即使被粘结剂（3）的周边部（3a）包围的中心部（3b）为未固化状态，也会被半固化的周边部（3a）阻挡而不会向外伸展。

公开(公告)号：CN101449201B

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200780004633.8

申请日：2007-03-20

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也

IPC: G02F1/1339

CPC classification number: G02F1/133351

Abstract: 本发明提供一种显示装置的制造方法，此方法，在由大气压力而形成间隙时，以节省空间来确保减压面积，并提高主密封件的耐力。在贴合两基板(1、5)时，由于通过压力调整阀机构(7)，间隙形成空间(6)被真空减压，因此，两基板(1、5)在大气压被压缩并使晶胞间隙均等化，封装材料(4)随其扩散伸展，大气压开放的设定时间经过后，该封装材料(4)的伸展端到达至主密封件(2)的内侧面，且其伸展压力起作用，此时，通过压力调整阀机构(7)，大气压被导入至间隙形成空间(6)的真空部并转换为大气压或与其相近的状态，因此，与封装材料(4)的伸展压力取得压力平衡，主密封件(2)不破裂。

公开(公告)号：CN1777832B

公开(公告)日：2010-05-05

申请号：CN200580000155.4

申请日：2005-04-08

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和 ,  横田道也

IPC: G02F1/13

CPC classification number: B65G49/061 ,  B65G2249/045 ,  G02F2001/133354

Abstract: 一种粘结卡盘装置，以简单的结构切实地装卸基板，在保持板(1)的基板侧，设有粘结部件(3)和变形膜(4)，该粘结部件(3)与基板(A)的反面(A1)相对地粘结保持，该变形膜(4)可向与该基板侧面(1a)交叉的方向出入变形，通过该变形膜(4)的出入变形使基板(A)与粘结部件(3)的粘结表面(3a)抵接地进行粘结，同时通过强制地拉开两者，能够不费力地将基板(A)从粘结部件(3)的粘结表面(3a)剥离。

公开(公告)号：CN101167174A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200580049604.4

申请日：2005-04-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和

IPC: H01L21/68 ,  H02N13/00

CPC classification number: H02N13/00 ,  H01L21/6833

Abstract: 本发明提供一种静电夹盘装置，以简单的处理在短时间内复原为可吸附工件。本发明在与工件(W)平行的平面内将电极(1)分割成多个区域(1a)，在这些每个区域(1a)分别设置独立的电极图案(1b)，同时，在每个区域(1a)分别设置向各电极图案(1b)的供电部(1c)，切断任意的供电部(1c)，而部分地停止向配置于任意区域(1a)的电极图案(1b)的供电。从而，即使为多个区域(1a)中的一部分膜面被破坏的情况，也虽然该破坏的区域(1a)内的电极图案(1b)不作为静电夹盘选择性地起作用，但是其外的区域(1a)的电极图案(1b)仍作为静电夹盘起作用。

公开(公告)号：CN1777832A

公开(公告)日：2006-05-24

申请号：CN200580000155.4

申请日：2005-04-08

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和 ,  横田道也

IPC: G02F1/13

CPC classification number: B65G49/061 ,  B65G2249/045 ,  G02F2001/133354

Abstract: 一种粘结卡盘装置，以简单的结构切实地装卸基板，在保持板(1)的基板侧，设有粘结部件(3)和变形膜(4)，该粘结部件(3)与基板(A)的反面(A1)相对地粘结保持，该变形膜(4)可向与该基板侧面(1a)交叉的方向出入变形，通过该变形膜(4)的出入变形使基板(A)与粘结部件(3)的粘结表面(3a)抵接地进行粘结，同时通过强制地拉开两者，能够不费力地将基板(A)从粘结部件(3)的粘结表面(3a)剥离。

公开(公告)号：CN1216680C

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN01814678.3

申请日：2001-10-24

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大野田忠与 ,  坂井郁夫

IPC: B01J19/12 ,  B08B7/00 ,  C23C16/455 ,  H01L21/302

CPC classification number: C23C16/45578 ,  B01J19/123 ,  B01J2219/0875 ,  B08B7/0057 ,  C23C16/455 ,  C23C16/482 ,  C23C16/54 ,  Y10T117/10

Abstract: 本发明的一种准分子UV光反应装置，将多支准分子UV灯(B)与被照射体(A)相对配置成并列状，在反应性气体(C)环境气氛中自这些准分子UV灯(B)朝被照射体(A)照射准分子UV，从而使被照射体(A)表面产生光化学反应，在被照射体(A)的表面附近设置反应性气体供应机构(1)，用以强制性地将反应性气体(C)供给至前述准分子UV灯(B)的准分子UV照射量较多的被照射体(A)上的活性区域(A1)，由透明的保护管(B3)覆盖各准分子UV灯(B)的外侧，在准分子UV灯(B)和保护管(B3)之间供给氮气。

公开(公告)号：CN118925815A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410559471.X

申请日：2024-05-08

Applicant: 信越化学工业株式会社 ,  信越工程株式会社

Inventor： 安藤雅郎 ,  山崎裕之 ,  竹内正树 ,  川越一真

IPC: B01L3/00

Abstract: 微流体装置包括：具有在内部形成的流路的微流体芯片；盖和底座，各自与微流体芯片的表面接触；芯片保持器，其包括用于将微流体芯片固定至盖和底座的固定装置；和一端与微流体芯片的表面接触且另一端起到流体供应或排出口作用的连接器。微流体芯片的表面的平坦度为50μm或更小，盖和底座的表面的平面度为50μm或更小。通过这种结构，微流体芯片几乎不变形，并且抑制对微流体芯片的损坏。另外，在与微流体芯片的流路的连接部分液体密封性高，液体泄露几乎不发生。

公开(公告)号：CN118284957A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202280077160.9

申请日：2022-11-15

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 大谷义和 ,  山冈裕 ,  仓田昌実 ,  宇佐美健人

IPC: H01L21/52 ,  G09F9/00 ,  H01L21/50 ,  H01L21/60 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明为一种激光剥离方法，通过激光剥离将移载对象物自包括所述移载对象物的第一基板向第二基板移载，所述激光剥离方法包括一次性移载工序，所述一次性移载工序中对多个所述移载对象物与所述第一基板的界面一次性照射激光，而将所述多个移载对象物自所述第一基板剥离并一次性地向所述第二基板移载，在所述一次性移载工序中，仅对所述多个移载对象物各自与所述第一基板的所述界面的一部分照射所述激光。由此，可提供一种在移载时能够抑制移载对象物发生破损的激光剥离方法。