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公开(公告)号：CN115315346B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202180023060.3
申请日：2021-03-11
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B29C59/02
Abstract: 本发明提供一种微小结构物制造装置，其能够进行通过内压差的控制变更分离的凹凸部的接合、追加按压及被接合的凹凸部的分离的反向操作。上述微小结构物制造装置的特征在于，具备：变压室，其形成于腔室的内部并以进出自如的方式收容第一板状部件及第二板状部件；变动部，设置在收容于变压室的第一板状部件的第一非对置面与腔室的第一室内表面之间；保持部，设置在收容于变压室的第二板状部件的第二非对置面与腔室的第二室内表面之间；第一空间部，在腔室的第一室内表面和变动部之间与变压室分离而设置成气密状；室压调整部，使变压室或第一空间部中的任一者的内压比另一者的内压上升更多；及控制部，对室压调整部进行运行控制，变动部具有变位部位，该变位部位相对于腔室的第一室内沿其厚度方向变形或移动自如地与第一板状部件的第一非对置面抵接，保持部具有保持部位，该保持部位相对于腔室的第二室内表面支撑第二板状部件的第二非对置面，控制部通过基于室压调整部的运行的变压室与第一空间部的压力差进行控制，以使第一板状部件与变动部的变位部位一同朝向第二板状部件或第一空间部移动。
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公开(公告)号：CN115243863A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202080098169.9
申请日：2020-10-01
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B29C59/02
Abstract: 本发明提供一种分离装置，不使第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部的形状变形而进行剥离。本发明的分离装置，其将相互凹凸状接合的第一板状部件与第二板状部件的凹凸接合部剥离，所述分离装置中，在容纳于形成在腔室的内部的加压室中的第一板状部件或第二板状部件中的任一个的凹凸接合部的背侧与腔室的第一室内表面之间设置的分离吸收部具有位移部位，所述位移部位相对于腔室的第一室内表面，与第一板状部件或第二板状部件中的任一个的背侧以在其厚度方向上变形或移动自如的方式抵接，在容纳于加压室中的第一板状部件或第二板状部件中的另一个的凹凸接合部的背侧与腔室的第二室内表面之间设置的保持部具有固定部位，所述固定部位相对于腔室的第二室内表面，与第一板状部件或第二板状部件中的另一个的背侧以无法在厚度方向上移动的方式抵接，控制部通过基于对加压室供给阳压流体的正压调整部的动作的加压室的内压上升，在与设置于腔室的第一室内表面与分离吸收部之间的气密状的第一减压空间部之间产生压力差，使第一板状部件或第二板状部件中的任一个与分离吸收部的位移部位一同朝向第一减压空间部移动。
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公开(公告)号：CN104465454B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201410462532.7
申请日：2014-09-12
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 横田道也
Abstract: 本发明提供一种贴合器件的制造装置及制造方法。一对基板在减压至第二真空度的变压室内重叠后，使一方吸盘对一方基板的吸引压力从第一真空度向第二真空度上升，从而一方吸盘的吸引压力和变压室的内压成为均等的第二真空度，所以来自一方吸盘的吸盘面的压力差的对一方基板的真空吸附被解除。然后使变压室的内压和一方吸盘的吸引压力从第二真空度上升到第三真空度，从而利用变压室内的第三真空度与基板间的第二真空度的密封空间的压力差使未硬化密封材料压缩变形，一方基板的表面脱离一方吸盘的吸盘面。然后使变压室的内压和一方吸盘的吸引压力从第三真空度上升到大气压，从而基板借助压力差以所需间隙贴合。
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公开(公告)号：CN103160214B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201210524707.3
申请日：2012-12-07
IPC: C09J5/00
Abstract: 本发明提供一种贴合器件的制造方法，该贴合器件将粘结剂的外部形状保持为固化时的形状的同时使基板彼此粘合。本发明的贴合器件的制造方法中，在第1基板（1）或第2基板（2）的任一方的内面以与固化时相同的形状涂布粘结剂（3）之后，仅局部性地半固化粘结剂（3）的周边部（3a），以使其粘度保持粘结性的同时高于其他部位的粘度，之后，通过以夹住包括周边部（3a）的粘结剂（3）的整体的方式粘合第1基板（1）和第2基板（2），即使被粘结剂（3）的周边部（3a）包围的中心部（3b）为未固化状态，也会被半固化的周边部（3a）阻挡而不会向外伸展。
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公开(公告)号：CN102598091A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080003057.7
申请日：2010-08-30
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 横田道也
CPC classification number: G02F1/1303 , C09J5/00 , C09J2203/318 , G02F1/13338 , G02F2001/133325 , G02F2001/133331 , G02F2001/133354 , G02F2202/28
Abstract: 本发明提供一种显示面板的制造方法及其制造系统，其在完全无气泡的状态下且以均等的间隙粘接电光面板与基板。首先，通过电光面板(1)和基板(2)的对置面(1a、2a)彼此在真空气氛中夹着液状粘接剂(3)向Z方向重叠，使液状粘接剂(3)沿着对置面(1a、2a)强制地伸展。接着，通过使液状粘接剂(3)在电光面板(1)与基板(2)之间自然伸展，液状粘接剂(3)中的部分真空等消失，液状粘接剂(3)成为大致静止稳定的状态，液状粘接剂(3)的层厚在电光面板(1)及基板(2)的整个对置面(1a、2a)向Z方向成为大致均等，从而成为不需要进一步调整间隙的状态。之后，在大气中将电光面板(1)及基板(2)中的任意一方相对于另一方向XYθ方向相互移动而对位时，仅使放在大致均等层厚的液状粘接剂(3)上的电光面板(1)或基板(2)中的任意一方沿着液状粘接剂(3)的界面顺畅地滑动即可而不进行加压，所以液状粘接剂(3)不会变形流动且不会卷入空气。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101061528A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200580023347.7
申请日：2005-09-28
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: G09F9/00 , G02F1/1333
CPC classification number: H01L21/6875 , G02F1/136277 , H01J2209/00 , H01L21/68757
Abstract: 本发明提供一种基板保持结构，即使作为弹性材料使用橡胶时也能够达到所要求的保持面侧的平面度。在保持面(1)上分散地凹入设置多个空隙部(2)，将这些空隙部(2)的开口分别用固定板(3)覆盖，在各固定板(3)的大致中央，朝向基板(D)突出而安装比上述空隙部(2)的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板(4)，使这些两者成为一体，通过使如此分散配置的平面承接板(4)分别抵接在基板(D)上以平坦状进行平面承接并进行保持，从而，在由弹性材料构成的平面承接板(4)的厚度尺寸上发生偏差时，随着厚度尺寸大的平面承接板(4′)与基板(D)接触，其固定板(3)或该平面承接板(4′)朝向空隙部(2)弹性变形，使该弹性变形逃脱到空隙部(2)，由此，厚度尺寸大的平面承接板(4′)沉入到空隙部(2)侧，从而与其他的平面承接板(4)形成平坦化。
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公开(公告)号：CN1985288A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200580023277.5
申请日：2005-09-28
Applicant: 信越工程株式会社
CPC classification number: G02F1/1333
Abstract: 一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板(1)的基板侧设有可动膜(3)和粘结部件(4)，该可动膜(3)在开设于该基板侧面(1a)的开口部(1b)内可向与该基板侧面(1a)交叉的方向变形，该粘结构部件(4)与基板(A)相向地进行粘结保持，通过上述可动膜(3)的一次侧空间(5)和二次侧空间(S)的压力差使该可动膜(3)往复移动，由此粘结部件(4)的粘结表面(4a)和基板(A)抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板(A)从粘结部件(4)的粘结表面(4a)剥离。
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公开(公告)号：CN115315346A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202180023060.3
申请日：2021-03-11
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: B29C59/02
Abstract: 本发明提供一种微小结构物制造装置，其能够进行通过内压差的控制变更分离的凹凸部的接合、追加按压及被接合的凹凸部的分离的反向操作。上述微小结构物制造装置的特征在于，具备：变压室，其形成于腔室的内部并以进出自如的方式收容第一板状部件及第二板状部件；变动部，设置在收容于变压室的第一板状部件的第一非对置面与腔室的第一室内表面之间；保持部，设置在收容于变压室的第二板状部件的第二非对置面与腔室的第二室内表面之间；第一空间部，在腔室的第一室内表面和变动部之间与变压室分离而设置成气密状；室压调整部，使变压室或第一空间部中的任一者的内压比另一者的内压上升更多；及控制部，对室压调整部进行运行控制，变动部具有变位部位，该变位部位相对于腔室的第一室内沿其厚度方向变形或移动自如地与第一板状部件的第一非对置面抵接，保持部具有保持部位，该保持部位相对于腔室的第二室内表面支撑第二板状部件的第二非对置面，控制部通过基于室压调整部的运行的变压室与第一空间部的压力差进行控制，以使第一板状部件与变动部的变位部位一同朝向第二板状部件或第一空间部移动。
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公开(公告)号：CN102598091B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201080003057.7
申请日：2010-08-30
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 横田道也
CPC classification number: G02F1/1303 , C09J5/00 , C09J2203/318 , G02F1/13338 , G02F2001/133325 , G02F2001/133331 , G02F2001/133354 , G02F2202/28
Abstract: 本发明提供一种显示面板的制造方法及其制造系统，其在完全无气泡的状态下且以均等的间隙粘接电光面板与基板。首先，通过电光面板(1)和基板(2)的对置面(1a、2a)彼此在真空气氛中夹着液状粘接剂(3)向Z方向重叠，使液状粘接剂(3)沿着对置面(1a、2a)强制地伸展。接着，通过使液状粘接剂(3)在电光面板(1)与基板(2)之间自然伸展，液状粘接剂(3)中的部分真空等消失，液状粘接剂(3)成为大致静止稳定的状态，液状粘接剂(3)的层厚在电光面板(1)及基板(2)的整个对置面(1a、2a)向Z方向成为大致均等，从而成为不需要进一步调整间隙的状态。之后，在大气中将电光面板(1)及基板(2)中的任意一方相对于另一方向XYθ方向相互移动而对位时，仅使放在大致均等层厚的液状粘接剂(3)上的电光面板(1)或基板(2)中的任意一方沿着液状粘接剂(3)的界面顺畅地滑动即可而不进行加压，所以液状粘接剂(3)不会变形流动且不会卷入空气。
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公开(公告)号：CN103160214A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201210524707.3
申请日：2012-12-07
IPC: C09J5/00
Abstract: 本发明提供一种贴合器件的制造方法，该贴合器件将粘结剂的外部形状保持为固化时的形状的同时使基板彼此粘合。本发明的贴合器件的制造方法中，在第1基板（1）或第2基板（2）的任一方的内面以与固化时相同的形状涂布粘结剂（3）之后，仅局部性地半固化粘结剂（3）的周边部（3a），以使其粘度保持粘结性的同时高于其他部位的粘度，之后，通过以夹住包括周边部（3a）的粘结剂（3）的整体的方式粘合第1基板（1）和第2基板（2），即使被粘结剂（3）的周边部（3a）包围的中心部（3b）为未固化状态，也会被半固化的周边部（3a）阻挡而不会向外伸展。
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