公开(公告)号：CN100447622C

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200580023277.5

申请日：2005-09-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  大谷义和 ,  板下光邦

IPC: G02F1/1333 ,  G09F9/00

CPC classification number: G02F1/1333

Abstract: 一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板(1)的基板侧设有可动膜(3)和粘结部件(4)，该可动膜(3)在开设于该基板侧面(1a)的开口部(1b)内可向与该基板侧面(1a)交叉的方向变形，该粘结构部件(4)与基板(A)相向地进行粘结保持，通过上述可动膜(3)的一次侧空间(5)和二次侧空间(S)的压力差使该可动膜(3)往复移动，由此粘结部件(4)的粘结表面(4a)和基板(A)抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板(A)从粘结部件(4)的粘结表面(4a)剥离。

公开(公告)号：CN1985288A

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN200580023277.5

申请日：2005-09-28

Applicant: 信越工程株式会社

Inventor： 横田道也 ,  大谷义和 ,  板下光邦

IPC: G09F9/00 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1333

Abstract: 一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板(1)的基板侧设有可动膜(3)和粘结部件(4)，该可动膜(3)在开设于该基板侧面(1a)的开口部(1b)内可向与该基板侧面(1a)交叉的方向变形，该粘结构部件(4)与基板(A)相向地进行粘结保持，通过上述可动膜(3)的一次侧空间(5)和二次侧空间(S)的压力差使该可动膜(3)往复移动，由此粘结部件(4)的粘结表面(4a)和基板(A)抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板(A)从粘结部件(4)的粘结表面(4a)剥离。