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公开(公告)号：CN118925815A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410559471.X
申请日：2024-05-08
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 信越工程株式会社
IPC: B01L3/00
Abstract: 微流体装置包括：具有在内部形成的流路的微流体芯片；盖和底座，各自与微流体芯片的表面接触；芯片保持器，其包括用于将微流体芯片固定至盖和底座的固定装置；和一端与微流体芯片的表面接触且另一端起到流体供应或排出口作用的连接器。微流体芯片的表面的平坦度为50μm或更小，盖和底座的表面的平面度为50μm或更小。通过这种结构，微流体芯片几乎不变形，并且抑制对微流体芯片的损坏。另外，在与微流体芯片的流路的连接部分液体密封性高，液体泄露几乎不发生。
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公开(公告)号：CN105372933A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510510609.8
申请日：2015-08-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 通过提供具有研磨的前后表面和四个侧面的起始矩形基材，和在恒压下将旋转抛光垫垂直地压靠于一个侧面，和使该旋转抛光垫和该基材平行于该侧面相对运动，由此抛光该基材的该侧面，从而制备矩形基材。在压印光刻法中，该矩形基材能够以高精度控制压缩和图案形状，并由此能将微细特征尺寸的复杂图案转印至接收体。
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公开(公告)号：CN102314082B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201110259707.0
申请日：2011-06-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。通过机加工整体上具有至多3nm/cm的最大双折射率的合成石英玻璃衬底的至少一个表面以形成凹槽、沟道或台阶，和去除由机加工所致的残余应力来制造具有凹槽、沟道或台阶的电子级合成石英玻璃衬底。
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公开(公告)号：CN114474412A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111233009.3
申请日：2021-10-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃基材的加工方法。通过使作为被加工件的合成石英玻璃基板的表面与由合成石英玻璃制成的保护部件的表面接触并将合成石英玻璃基板的表面叠放在保护部件的表面上从而实现被加工件和保护部件的光学接触接合，并使切削工具通过光学接触接合表面来加工合成石英玻璃基板。这种加工方法能够有效地防止在切削操作期间在切削工具进入部和脱离部处微缺陷的产生。此外，没有使用固定剂连接被加工件和保护部件，因此生产率高，因为不需要施加固定剂和之后去除固定剂。
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公开(公告)号：CN105372933B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201510510609.8
申请日：2015-08-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 通过提供具有研磨的前后表面和四个侧面的起始矩形基材，和在恒压下将旋转抛光垫垂直地压靠于一个侧面，和使该旋转抛光垫和该基材平行于该侧面相对运动，由此抛光该基材的该侧面，从而制备矩形基材。在压印光刻法中，该矩形基材能够以高精度控制压缩和图案形状，并由此能将微细特征尺寸的复杂图案转印至接收体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101863624A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010209818.6
申请日：2010-04-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C03C15/00 , C03C2218/355 , G03F7/0751 , G03F7/0752 , G03F7/0757
Abstract: 在通过湿法刻蚀微处理合成石英玻璃衬底的方法中，在衬底上形成硅烷或硅氮烷的有机涂层，以及在湿法刻蚀前，在有机涂层上形成光致抗蚀剂膜。
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公开(公告)号：CN113675128A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110525063.9
申请日：2021-05-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H01L21/683 , C03C17/30
Abstract: 本发明涉及用于转移微小结构体的基板及其制造方法。提供一种具有刻印标记的用于转移微小结构体(例如微型LED)的基板。该用于转移微小结构体的基板不易引起读取装置中发生的刻印标记的读取错误，并且能够稳定地、连续地读取刻印标记。一种用于转移微小结构体的基板，包括：合成石英玻璃基板，和设置于合成石英玻璃基板的正面的有机硅压敏粘合剂层。所述基板的正面设置有刻印标记。
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公开(公告)号：CN102314082A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110259707.0
申请日：2011-06-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。通过机加工整体上具有至多3nm/cm的最大双折射率的合成石英玻璃衬底的至少一个表面以形成凹槽、沟道或台阶，和去除由机加工所致的残余应力来制造具有凹槽、沟道或台阶的电子级合成石英玻璃衬底。
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公开(公告)号：CN115729032A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202210790668.5
申请日：2022-07-05
Applicant: 国立大学法人东北大学 , 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及一种压印模具、制造压印模具的方法和制造再生的压印模具的方法。特别涉及这样一种压印模具，其具有合成石英玻璃衬底，所述合成石英玻璃衬底具有在它的表面上形成的转印精细图案；和在至少一部分精细图案上由至少一种不同于衬底的材料形成的涂层。
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公开(公告)号：CN113722697A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110568923.7
申请日：2021-05-25
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 国立大学法人东北大学
Abstract: 本发明提供一种个体认证用结构体、其制造方法以及个体认证方法。具体提供一种个体认证用结构体，其中在合成石英玻璃基板表面部分的至少一部分上形成包括由合成石英玻璃形成的多个纳米柱的柱图案区域。在柱图案区域中，如通过纳米压痕法测量的，纳米柱具有35至100GPa的压痕弹性模量，并且纳米柱塑性变形。
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