-
公开(公告)号：CN105372933B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201510510609.8
申请日：2015-08-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 通过提供具有研磨的前后表面和四个侧面的起始矩形基材，和在恒压下将旋转抛光垫垂直地压靠于一个侧面，和使该旋转抛光垫和该基材平行于该侧面相对运动，由此抛光该基材的该侧面，从而制备矩形基材。在压印光刻法中，该矩形基材能够以高精度控制压缩和图案形状，并由此能将微细特征尺寸的复杂图案转印至接收体。
-
公开(公告)号：CN108987413A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810553227.7
申请日：2018-06-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01L27/1218 , H01L27/1262
Abstract: 本发明提供即使在进行了成膜、高温加热处理的情况下也无变形或者变形小的半导体用基板及其制造方法。该半导体用基板具有：具有凸状的SORI的一面、和具有与该SORI相同程度的凹状的SORI的另一面，并且厚度偏差为3μm以下。
-
公开(公告)号：CN102314082A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110259707.0
申请日：2011-06-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。通过机加工整体上具有至多3nm/cm的最大双折射率的合成石英玻璃衬底的至少一个表面以形成凹槽、沟道或台阶，和去除由机加工所致的残余应力来制造具有凹槽、沟道或台阶的电子级合成石英玻璃衬底。
-
公开(公告)号：CN105372933A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510510609.8
申请日：2015-08-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 通过提供具有研磨的前后表面和四个侧面的起始矩形基材，和在恒压下将旋转抛光垫垂直地压靠于一个侧面，和使该旋转抛光垫和该基材平行于该侧面相对运动，由此抛光该基材的该侧面，从而制备矩形基材。在压印光刻法中，该矩形基材能够以高精度控制压缩和图案形状，并由此能将微细特征尺寸的复杂图案转印至接收体。
-
公开(公告)号：CN102314082B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201110259707.0
申请日：2011-06-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。通过机加工整体上具有至多3nm/cm的最大双折射率的合成石英玻璃衬底的至少一个表面以形成凹槽、沟道或台阶，和去除由机加工所致的残余应力来制造具有凹槽、沟道或台阶的电子级合成石英玻璃衬底。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110752188A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201910663690.1
申请日：2019-07-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。
-
公开(公告)号：CN102328265B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201110259674.X
申请日：2011-06-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24B29/02
Abstract: 本发明涉及用于制造电子级合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过机加工合成石英玻璃衬底以形成凹槽、沟道或台阶，和通过旋转抛光工具的加工部抛光凹槽、沟道或台阶的底和侧表面至镜面光洁度，同时在独立的恒定压力下保持加工部与底和侧表面接触，制造电子级合成石英玻璃衬底。
-
公开(公告)号：CN103809371A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310533747.9
申请日：2013-11-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。
-
公开(公告)号：CN110752188B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN201910663690.1
申请日：2019-07-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H10H20/85
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
13
records
(took 0.027 seconds)
