公开(公告)号：CN1216680C

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN01814678.3

申请日：2001-10-24

申请人： 信越工程株式会社

发明人： 大野田忠与 ,  坂井郁夫

IPC分类号： B01J19/12 ,  B08B7/00 ,  C23C16/455 ,  H01L21/302

CPC分类号： C23C16/45578 ,  B01J19/123 ,  B01J2219/0875 ,  B08B7/0057 ,  C23C16/455 ,  C23C16/482 ,  C23C16/54 ,  Y10T117/10

摘要： 本发明的一种准分子UV光反应装置，将多支准分子UV灯(B)与被照射体(A)相对配置成并列状，在反应性气体(C)环境气氛中自这些准分子UV灯(B)朝被照射体(A)照射准分子UV，从而使被照射体(A)表面产生光化学反应，在被照射体(A)的表面附近设置反应性气体供应机构(1)，用以强制性地将反应性气体(C)供给至前述准分子UV灯(B)的准分子UV照射量较多的被照射体(A)上的活性区域(A1)，由透明的保护管(B3)覆盖各准分子UV灯(B)的外侧，在准分子UV灯(B)和保护管(B3)之间供给氮气。

公开(公告)号：CN1449303A

公开(公告)日：2003-10-15

申请号：CN01814678.3

申请日：2001-10-24

申请人： 信越工程株式会社

发明人： 大野田忠与 ,  坂井郁夫

IPC分类号： B01J19/12 ,  B08B7/00 ,  C23C16/455 ,  H01L21/302

CPC分类号： C23C16/45578 ,  B01J19/123 ,  B01J2219/0875 ,  B08B7/0057 ,  C23C16/455 ,  C23C16/482 ,  C23C16/54 ,  Y10T117/10

摘要： 一种准分子UV光反应装置，自反应性气体供应机构(1)将反应性气体(C)仅集中供应至被照射体(A)上的活性区域(A1)，从而在低温环境气氛下促进准分子UV与反应性气体(C)的光化学反应，由于对该化学反应不活泼的区域(A2)不供应反应性气体(C)，不致造成浪费，故即使不使用气体供应能力大的反应性气体供应源已足够。因此，能以简单构成且在低温环境气氛下稳定地进行光化学反应。