发明授权
CN1216680C 准分子UV光反应装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 准分子UV光反应装置
- 专利标题（英）： Excimer UV photo reactor
-
申请号： CN01814678.3申请日： 2001-10-24
-
公开(公告)号： CN1216680C公开(公告)日： 2005-08-31
- 发明人: 大野田忠与 , 坂井郁夫
- 申请人： 信越工程株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 信越工程株式会社
- 当前专利权人： 信越工程株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 何腾云
- 优先权： 334726/2000 2000.11.01 JP; 96288/2001 2001.03.29 JP; 130842/2001 2001.04.27 JP; 193060/2001 2001.06.26 JP
- 国际申请： PCT/JP2001/009314 2001.10.24
- 国际公布： WO2002/036259 JA 2002.05.10
- 进入国家日期： 2003-02-25
- 主分类号： B01J19/12
- IPC分类号： B01J19/12 ; B08B7/00 ; C23C16/455 ; H01L21/302
摘要：
本发明的一种准分子UV光反应装置，将多支准分子UV灯(B)与被照射体(A)相对配置成并列状，在反应性气体(C)环境气氛中自这些准分子UV灯(B)朝被照射体(A)照射准分子UV，从而使被照射体(A)表面产生光化学反应，在被照射体(A)的表面附近设置反应性气体供应机构(1)，用以强制性地将反应性气体(C)供给至前述准分子UV灯(B)的准分子UV照射量较多的被照射体(A)上的活性区域(A1)，由透明的保护管(B3)覆盖各准分子UV灯(B)的外侧，在准分子UV灯(B)和保护管(B3)之间供给氮气。
公开/授权文献
- CN1449303A 准分子UV光反应装置 公开/授权日：2003-10-15
