具有离子导电层的非易失性存储器件及其制造和操作方法

    公开(公告)号:CN1921134A

    公开(公告)日:2007-02-28

    申请号:CN200610121211.6

    申请日:2006-08-17

    Inventor: 李正贤

    CPC classification number: H01L45/145 H01L27/24 H01L45/04

    Abstract: 公开了一种具有离子导电层的非易失性半导体存储器件,及其制造和操作方法。所述非易失性存储器件包括:衬底;形成于衬底内的开关元件;和连接至开关元件的存储节点,所述存储节点包括:连接至所述开关元件并被用作离子源的下部电极;形成于下部电极上并且其部分与下部电极隔开的数据存储层;与下部电极隔开,并且其侧表面连接至与下部电极隔开的数据存储层部分的侧电极;以及形成于数据存储层上的上部电极,或者包括:连接至所述开关元件并被用作离子源的下部电极;形成于下部电极上的数据存储层;以及形成于数据存储层上的上部电极。通过降低电阻随外加电压变化,能够在读取和写入操作中提供足够余量。

    用于形成金属氧化物薄膜的使用醇的化学气相沉积法

    公开(公告)号:CN1448533A

    公开(公告)日:2003-10-15

    申请号:CN03103568.X

    申请日:2003-01-29

    CPC classification number: C23C16/40 C23C16/45553

    Abstract: 本发明提供了一种金属氧化物薄膜的制备方法,其中通过第一反应物和第二反应物之间的化学反应产生的金属氧化物以薄膜形式沉积在基底的表面上。该方法包括将含有金属-有机化合物的第一反应物引入包括基底的反应室;以及引入含醇的第二反应物。由于将不含氧残基的醇蒸汽作为反应气用于薄膜沉积,基底或沉积层的直接氧化被沉积过程中的反应气抑制。并且,因为薄膜通过热分解作用沉积(所述热分解是由醇蒸汽和前体之间的化学反应而引起的),沉积速率很快。特别是当使用带有β-二酮配体的金属-有机化合物作为前体时,沉积速率也很快。此外,因为使用化学蒸汽沉积或原子层沉积方法使得薄膜以超微结构生长,因此得到的薄膜漏电流低。

Patent Agency Ranking