具有低畸变像差的显微镜
    63.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107003506B

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201580061544.1

    申请日:2015-11-11

    Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的,并且不是光高效的,因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差,比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是,允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决,光学系统包括凹面反射镜(36),用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此,其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次,并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A,30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。

    具有传输函数的相衬成像
    66.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110520780A

    公开(公告)日:2019-11-29

    申请号:CN201880025065.8

    申请日:2018-04-12

    Abstract: 一种光学系统(100),包括:样本架(113),其配置为固定样本对象;照明模块(111),其配置为以至少一个结构化照明几何结构(300)照明所述样本对象;光学成像单元(112),其配置为生成所述样本对象的图象表示,该样本对象被检测器(114)上至少一个结构化照明几何结构(300)照明;检测器(114),其配置为基于所述图像表示,捕获所述样本对象的至少一个图像;控制器(115),其配置为基于传递函数(400)和至少一个图像,确定具有相衬的结果图像。在此,所述传递函数(400)对应于已经基于光学成像单元(112)的孔径尺寸进行了缩放的参考传递函数(400)。

    生产TEM样品的方法
    68.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110389144A

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201910306630.4

    申请日:2019-04-16

    Abstract: 在生产TEM样品的方法中,物体(3)紧固到物体固持器(13)的元件(19)上使得该物体(3)的待加工的表面(11)被布置成与该元件(19)的旋转轴线(23)基本上垂直。离子束以掠入射被引导至待加工的表面(11),其中,当离子束被引导至待加工的表面(11)时,该元件(19)采用相对于旋转轴线(23)的不同的旋转位置。

    电子束显微镜
    69.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110310876A

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201910241576.X

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 一种电子束显微镜,包括用于检测反向散射电子的能量敏感检测器(47)、以及用于处理检测器(47)的检测信号(67)的信号处理器(61)。该信号处理器包括模拟放大器(63)、窗口比较器(83),该窗口比较器具有信号输入端(84),该信号输入端连接至该模拟放大器的输出端(79)。在该信号处理器的输出端处(95)产生的信号是基于在该窗口比较器的输出端(85)处提供的信号产生的。该窗口比较器被配置为只有提供给其信号输入端的放大信号(81)小于或等于上限阈值且大于或等于下限阈值时,才输出预定信号(90)。

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