-
公开(公告)号:CN107003506B
公开(公告)日:2020-05-05
申请号:CN201580061544.1
申请日:2015-11-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的,并且不是光高效的,因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差,比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是,允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决,光学系统包括凹面反射镜(36),用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此,其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次,并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A,30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。
-
公开(公告)号:CN106461926A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201580031361.5
申请日:2015-04-16
Applicant: 卡尔蔡司股份公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/00
Abstract: 光扫描显微镜通常包括用于产生与显微镜物镜的光瞳平面共轭的光瞳平面(P‘E )的扫描光学器件(35)和共轭的光瞳平面中的能够可变调节的光束偏转单元(30),其中,在显微镜物镜与扫描光学器件之间具有中间图像(Zb1)并且光束在共轭的光瞳平面中准直。这些扫描光学器件是耗费且并不光学高效的,因为它们必须补偿不同的成像误差,如场曲和横向色差。此外,由于共轭的光瞳平面与扫描光学器件的距离较小,可供偏转单元使用的结构空间较小。本发明应能够使用更简单的扫描光学器件并且提供更大的结构空间。这通过以下方式实现,即扫描光学器件通过光束偏转单元将第二中间图像(Zb2)成像到第一中间图像中,其中,第二中间图像在空间上是弯曲的。偏转单元不再布置在光路的准直区段中,而是布置在光路的会聚区段中。扫描光学器件的光学性能和质量只需要与作为传统扫描物镜的
-
公开(公告)号:CN106461926B
公开(公告)日:2021-02-02
申请号:CN201580031361.5
申请日:2015-04-16
Applicant: 卡尔蔡司股份公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/00
Abstract: 光扫描显微镜通常包括用于产生与显微镜物镜的光瞳平面共轭的光瞳平面(PE‘)的扫描光学器件(35)和共轭的光瞳平面中的能够可变调节的光束偏转单元(30),其中,在显微镜物镜与扫描光学器件之间具有中间图像(Zb1)并且光束在共轭的光瞳平面中准直。这些扫描光学器件是耗费且并不光学高效的,因为它们必须补偿不同的成像误差,如场曲和横向色差。此外,由于共轭的光瞳平面与扫描光学器件的距离较小,可供偏转单元使用的结构空间较小。本发明应能够使用更简单的扫描光学器件并且提供更大的结构空间。这通过以下方式实现,即扫描光学器件通过光束偏转单元将第二中间图像(Zb2)成像到第一中间图像中,其中,第二中间图像在空间上是弯曲的。偏转单元不再布置在光路的准直区段中,而是布置在光路的会聚区段中。扫描光学器件的光学性能和质量只需要与作为传统扫描物镜的目镜一致。非线性显微镜。
-
公开(公告)号:CN107003506A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580061544.1
申请日:2015-11-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的,并且不是光高效的,因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差,比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是,允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决,光学系统包括凹面反射镜(36),用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此,其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次,并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A,30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。
-
公开(公告)号:CN114442297A
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN202111282646.X
申请日:2021-11-01
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种显微镜,其包括激发光束路径,其中存在:光源;物镜,用激发辐射照明样品并捕获检测辐射;以及在显微镜的第一和第二操作模式之间切换的装置。在激发光束路径中存在分色器,其对激发辐射是反射性的,由于分色器的作用,激发辐射的光束沿着另一激发光束路径被反射。此外,‑第一设备存在于光源和分色器之间的激发光束路径中,在显微镜的第一操作状态下,第一柱面光学元件可以借助于第一设备引入激发光束路径中;‑第二设备存在于分光器和扫描设备之间的激发光束路径中,在显微镜的第一操作状态下,第二柱面光学元件可以借助于第二设备引入激发光束路径中。本发明还涉及一种操作具有两种操作模式的显微镜的方法。
-
公开(公告)号:CN111095073B
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN201880055289.3
申请日:2018-08-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件,其具有以下部件:光学扫描单元,用于提供第一光瞳平面;第一光束偏转装置,第一光束偏转装置由第一光瞳平面中布置的第一扫描仪形成,用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射;第一聚焦装置,用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面;第二光束偏转装置,用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转,所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明的光学组件的特征在于,提供第二聚焦装置以便生成第三光瞳平面,该第三光瞳平面与第一光瞳平面和第二光瞳平面光学共轭;在该第三光瞳上布置第三光束偏转装置,用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转;并且在第一聚焦装置和第二光瞳平面之间及在第二光瞳平面和第二聚焦装置之间提供可变光束偏转构件,以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明的另一方面涉及激光扫描显微镜。
-
公开(公告)号:CN111095073A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201880055289.3
申请日:2018-08-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件,其具有以下部件:光学扫描单元,用于提供第一光瞳平面;第一光束偏转装置,第一光束偏转装置由第一光瞳平面中布置的第一扫描仪形成,用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射;第一聚焦装置,用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面;第二光束偏转装置,用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转,所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明的光学组件的特征在于,提供第二聚焦装置以便生成第三光瞳平面,该第三光瞳平面与第一光瞳平面和第二光瞳平面光学共轭;在该第三光瞳上布置第三光束偏转装置,用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转;并且在第一聚焦装置和第二光瞳平面之间及在第二光瞳平面和第二聚焦装置之间提供可变光束偏转构件,以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明的另一方面涉及激光扫描显微镜。
-
公开(公告)号:CN111033350A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201880055202.2
申请日:2018-08-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件,所述组件具有以下部件:光学扫描单元,作为第一聚焦装置以提供第一光瞳平面;第一光束偏转装置,该第一光束偏转装置由在第一光瞳平面中布置的第一扫描仪构成,用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射;以及第二聚焦装置,该第二聚焦装置用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面;包括第二光束偏转装置,用于偏转激发辐射和/或操纵辐射,所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明的光学组件的特征在于,提供第三聚焦装置以便生成第三光瞳平面,该第三光瞳平面与第一光瞳平面光学共轭,在第三光瞳平面中布置第三光束偏转装置,以便使激发辐射和/或操纵辐射偏转,并且提供可变光束偏转构件以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明的另一方面涉及激光扫描显微镜。
-
公开(公告)号:CN111033350B
公开(公告)日:2023-03-21
申请号:CN201880055202.2
申请日:2018-08-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件,所述组件具有以下部件:光学扫描单元,作为第一聚焦装置以提供第一光瞳平面;第一光束偏转装置,该第一光束偏转装置由在第一光瞳平面中布置的第一扫描仪构成,用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射;以及第二聚焦装置,该第二聚焦装置用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面;包括第二光束偏转装置,用于偏转激发辐射和/或操纵辐射,所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明的光学组件的特征在于,提供第三聚焦装置以便生成第三光瞳平面,该第三光瞳平面与第一光瞳平面光学共轭,在第三光瞳平面中布置第三光束偏转装置,以便使激发辐射和/或操纵辐射偏转,并且提供可变光束偏转构件以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明的另一方面涉及激光扫描显微镜。
-
公开(公告)号:CN114442298A
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN202111284619.6
申请日:2021-11-01
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种用于捕获图像数据的设备,其包括检测光束路径和用于在第一检测路径和第二检测路径之间分离检测辐射的装置。检测器位于每个检测路径中。微透镜阵列布置在至少一个检测器的上游。第一检测器具有第一空间分辨率,第二检测器具有第二空间分辨率,第一空间分辨率高于第二空间分辨率。此外或可选地,第一检测器具有第一时间分辨率,第二检测器具有第二时间分辨率,第一时间分辨率低于第二时间分辨率。存在用于评估第一和第二检测器的捕获的图像数据的评估单元,其被配置为使得每个检测器捕获的图像数据以计算方式组合在一起从而形成三维解析的结果图像。本发明还涉及一种包括根据本发明的设备的显微镜,以及一种捕获图像数据的方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-