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公开(公告)号：CN107003506B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201580061544.1
申请日：2015-11-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的，并且不是光高效的，因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差，比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是，允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决，光学系统包括凹面反射镜(36)，用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此，其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次，并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A，30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。
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公开(公告)号：CN107003506A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580061544.1
申请日：2015-11-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的，并且不是光高效的，因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差，比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是，允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决，光学系统包括凹面反射镜(36)，用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此，其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次，并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A，30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。
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公开(公告)号：CN109791282A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780059686.3
申请日：2017-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及在光学布置(2)的束路径中调整可移动的元件(6)的致动器(1)，该致动器(1)包括可移动的元件(6)、载体(5)和至少一个SMA元件(7.1至7.4)，所述SMA元件(7.1至7.4)连接到可移动的元件(6)并且设计为被支撑在所述载体(5)上，使得在SMA元件(7.1至7.4)的延伸发生改变的情况下，在所述可移动的元件(6)和载体(5)之间产生定向的力作用(F)。本发明还涉及在光学布置(2)的束路径中调整可移动的元件(6)的装置、致动器(6)的用途、以及调整方法。
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