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公开(公告)号：CN106461926B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201580031361.5
申请日：2015-04-16
Applicant: 卡尔蔡司股份公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/00
Abstract: 光扫描显微镜通常包括用于产生与显微镜物镜的光瞳平面共轭的光瞳平面(PE‘)的扫描光学器件(35)和共轭的光瞳平面中的能够可变调节的光束偏转单元(30)，其中，在显微镜物镜与扫描光学器件之间具有中间图像(Zb1)并且光束在共轭的光瞳平面中准直。这些扫描光学器件是耗费且并不光学高效的，因为它们必须补偿不同的成像误差，如场曲和横向色差。此外，由于共轭的光瞳平面与扫描光学器件的距离较小，可供偏转单元使用的结构空间较小。本发明应能够使用更简单的扫描光学器件并且提供更大的结构空间。这通过以下方式实现，即扫描光学器件通过光束偏转单元将第二中间图像(Zb2)成像到第一中间图像中，其中，第二中间图像在空间上是弯曲的。偏转单元不再布置在光路的准直区段中，而是布置在光路的会聚区段中。扫描光学器件的光学性能和质量只需要与作为传统扫描物镜的目镜一致。非线性显微镜。
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公开(公告)号：CN106461926A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580031361.5
申请日：2015-04-16
Applicant: 卡尔蔡司股份公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G02B21/00
Abstract: 光扫描显微镜通常包括用于产生与显微镜物镜的光瞳平面共轭的光瞳平面(P‘E )的扫描光学器件(35)和共轭的光瞳平面中的能够可变调节的光束偏转单元(30)，其中，在显微镜物镜与扫描光学器件之间具有中间图像(Zb1)并且光束在共轭的光瞳平面中准直。这些扫描光学器件是耗费且并不光学高效的，因为它们必须补偿不同的成像误差，如场曲和横向色差。此外，由于共轭的光瞳平面与扫描光学器件的距离较小，可供偏转单元使用的结构空间较小。本发明应能够使用更简单的扫描光学器件并且提供更大的结构空间。这通过以下方式实现，即扫描光学器件通过光束偏转单元将第二中间图像(Zb2)成像到第一中间图像中，其中，第二中间图像在空间上是弯曲的。偏转单元不再布置在光路的准直区段中，而是布置在光路的会聚区段中。扫描光学器件的光学性能和质量只需要与作为传统扫描物镜的
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公开(公告)号：CN107003506B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201580061544.1
申请日：2015-11-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的，并且不是光高效的，因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差，比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是，允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决，光学系统包括凹面反射镜(36)，用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此，其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次，并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A，30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。
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公开(公告)号：CN107003506A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580061544.1
申请日：2015-11-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的，并且不是光高效的，因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差，比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是，允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决，光学系统包括凹面反射镜(36)，用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此，其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次，并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A，30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。
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