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公开(公告)号：CN107003506B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201580061544.1
申请日：2015-11-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的，并且不是光高效的，因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差，比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是，允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决，光学系统包括凹面反射镜(36)，用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此，其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次，并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A，30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107003506A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580061544.1
申请日：2015-11-11
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 卡尔蔡司股份公司
Abstract: 光扫描显微镜中的束偏转单元通常布置在与物镜光瞳共轭的平面中。产生共轭光瞳平面所需的扫描光学单元是复杂的，并且不是光高效的，因为扫描光学单元需要补偿不同的成像误差，比如场曲和横向色差。本发明解决的问题是，允许较高图像质量、较简单调整和较低光损失。该问题通过以下解决，光学系统包括凹面反射镜(36)，用于将第一束偏转单元(30A)的各点和第二束偏转单元(30B)的相应点成像至彼此，其中凹面反射镜(36)和第一束偏转单元(30A)和第二束偏转单元(30B)布置为使得照明束路径在凹面反射镜(36)处精确反射一次，并且在照明束路径在凹面反射镜处反射时由凹面反射镜(36)造成的第一畸变和由第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A，30B)造成的图像的第二畸变至少部分彼此补偿。
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公开(公告)号：CN111033350B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN201880055202.2
申请日：2018-08-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件，所述组件具有以下部件：光学扫描单元，作为第一聚焦装置以提供第一光瞳平面；第一光束偏转装置，该第一光束偏转装置由在第一光瞳平面中布置的第一扫描仪构成，用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射；以及第二聚焦装置，该第二聚焦装置用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面；包括第二光束偏转装置，用于偏转激发辐射和/或操纵辐射，所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明的光学组件的特征在于，提供第三聚焦装置以便生成第三光瞳平面，该第三光瞳平面与第一光瞳平面光学共轭，在第三光瞳平面中布置第三光束偏转装置，以便使激发辐射和/或操纵辐射偏转，并且提供可变光束偏转构件以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明的另一方面涉及激光扫描显微镜。
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公开(公告)号：CN111095073B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN201880055289.3
申请日：2018-08-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件，其具有以下部件：光学扫描单元，用于提供第一光瞳平面；第一光束偏转装置，第一光束偏转装置由第一光瞳平面中布置的第一扫描仪形成，用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射；第一聚焦装置，用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面；第二光束偏转装置，用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转，所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明的光学组件的特征在于，提供第二聚焦装置以便生成第三光瞳平面，该第三光瞳平面与第一光瞳平面和第二光瞳平面光学共轭；在该第三光瞳上布置第三光束偏转装置，用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转；并且在第一聚焦装置和第二光瞳平面之间及在第二光瞳平面和第二聚焦装置之间提供可变光束偏转构件，以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明的另一方面涉及激光扫描显微镜。
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公开(公告)号：CN111095073A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880055289.3
申请日：2018-08-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件，其具有以下部件：光学扫描单元，用于提供第一光瞳平面；第一光束偏转装置，第一光束偏转装置由第一光瞳平面中布置的第一扫描仪形成，用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射；第一聚焦装置，用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面；第二光束偏转装置，用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转，所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明的光学组件的特征在于，提供第二聚焦装置以便生成第三光瞳平面，该第三光瞳平面与第一光瞳平面和第二光瞳平面光学共轭；在该第三光瞳上布置第三光束偏转装置，用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转；并且在第一聚焦装置和第二光瞳平面之间及在第二光瞳平面和第二聚焦装置之间提供可变光束偏转构件，以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明的另一方面涉及激光扫描显微镜。
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公开(公告)号：CN111033350A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880055202.2
申请日：2018-08-23
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件，所述组件具有以下部件：光学扫描单元，作为第一聚焦装置以提供第一光瞳平面；第一光束偏转装置，该第一光束偏转装置由在第一光瞳平面中布置的第一扫描仪构成，用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射；以及第二聚焦装置，该第二聚焦装置用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面；包括第二光束偏转装置，用于偏转激发辐射和/或操纵辐射，所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明的光学组件的特征在于，提供第三聚焦装置以便生成第三光瞳平面，该第三光瞳平面与第一光瞳平面光学共轭，在第三光瞳平面中布置第三光束偏转装置，以便使激发辐射和/或操纵辐射偏转，并且提供可变光束偏转构件以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明的另一方面涉及激光扫描显微镜。
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