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发明公开
调整可移动的元件的致动器、调整的用途和方法无效

公开(公告)号：CN109791282A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780059686.3

申请日：2017-09-27

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： M.利特克 , T.考夫霍尔德 , F.蒂谢尔

IPC: G02B27/00 , G02B7/08 , G02B7/10 , G02B21/00 , F03G7/06 , G03B3/12

Abstract: 本发明涉及在光学布置(2)的束路径中调整可移动的元件(6)的致动器(1)，该致动器(1)包括可移动的元件(6)、载体(5)和至少一个SMA元件(7.1至7.4)，所述SMA元件(7.1至7.4)连接到可移动的元件(6)并且设计为被支撑在所述载体(5)上，使得在SMA元件(7.1至7.4)的延伸发生改变的情况下，在所述可移动的元件(6)和载体(5)之间产生定向的力作用(F)。本发明还涉及在光学布置(2)的束路径中调整可移动的元件(6)的装置、致动器(6)的用途、以及调整方法。

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