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公开(公告)号：CN103240417B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310200279.3
申请日：2013-05-27
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
摘要： 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种钽带及其制备方法，所述钽带的制备方法具体包括：a）将钽粉进行烧结，得到钽棒，将所述钽棒进行锻造；b）将步骤a）得到的钽棒进行轧制，将轧制得到的钽条进行热处理；c）将步骤b）得到的钽条再次进行轧制，将再次轧制得到的钽条再次进行热处理，得到钽带。在制备钽带的过程中，首先经过高温烧结后得到了晶粒均匀细小的初始钽棒，然后将钽棒进行锻造，使其发生变形，最后将钽棒进行了两次轧制，使钽棒在多个方向进行加工，有利于钽棒的各向均匀性；同时本发明在轧制之后进行了热处理，从而消除加工过程的残余应力，使最终制备的钽带为均匀细小的等轴晶。
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公开(公告)号：CN102989767B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210291462.4
申请日：2012-08-16
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC分类号： C23C14/3414
摘要： 本发明涉及一种高性能钽靶材的热轧工艺，该方法首先将锻造坯料预热至900－1200℃，然后轧制，酸洗至钽金属光泽无杂斑即可。本发明通过对加热轧制生产高性能钽靶材轧制坯料，利用该高性能轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构占优的织构组分（所占比例在50％以上），并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN103219459B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310153570.X
申请日：2013-04-28
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC分类号： H01L39/24
摘要： 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种超导铌管及其制备方法，制备超导铌管的过程具体为：将超导铌锭进行锻造，所述锻造的过程中温度小于等于60℃；将锻造后的超导铌锭进行第一次热处理；在第一次热处理后的超导铌锭表面涂覆润滑剂，然后进行反挤压；将反挤压后的超导铌管坯进行第二次热处理，得到超导铌管。本发明在锻造过程中，通过控制锻造的温度，并且由于在挤压过程中，在铌锭表面涂覆润滑剂，有效地避免了铌锭在加工过程中的吸碳、吸氢与吸氧，使制备的超导铌管的残余电阻率降幅较小。
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公开(公告)号：CN104593708A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510020338.8
申请日：2015-01-16
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC分类号： C22F1/18
CPC分类号： C23C14/3407 , C22F1/18
摘要： 本发明提供了一种平面铌靶材的制备方法，包括以下步骤：A)，将铌锭进行锻造，所述锻造的方式为径向打方轴向拔长；将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；B)，将步骤A)得到的铌锭进行锻造，所述锻造的方式为压扁锻造；将锻造后的铌锭进行酸洗，将酸洗后的铌锭进行热处理；C)，将步骤B)得到的铌锭进行轧制，将轧制后的铌板进行热处理，得到平面铌靶材。本申请通过锻造与轧制的加工方式，使铸锭中的柱状晶区、中心等轴晶区和铌锭边缘附近的细晶区实施了有效破碎，同时通过中间热处理与成品热处理，使铌靶材组织更加均匀，得到了均匀细致的等轴晶组织。
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公开(公告)号：CN102922225B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210291768.X
申请日：2012-08-16
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种钼靶材的制备方法，该方法是将钼锭经加热挤压，加热锻造和加热轧制后校平，再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钼靶材。通过本发明的制备方法可获得晶粒尺寸、相对密度以及产品尺寸均满足镀膜行业要求的钼靶材，实验显示，通过本发明制备钼靶材晶粒尺寸在120--160μm之间，相对密度大于99%。
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公开(公告)号：CN104480439A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410851242.1
申请日：2014-12-31
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC分类号： C23C14/3414 , B22F3/16 , C22F1/18
摘要： 本发明提供了一种钽靶材的制备工艺，包括以下步骤：A)，将钽粉进行等静压成型，得到钽坯；B)，将所述钽坯进行烧结，将烧结得到的钽坯进行轧制，将轧制得到的钽坯进行热处理，得到钽靶材。本发明通过粉末冶金的方法制得了钽靶材加工坯料，其优点是内部组织细小均匀，并得到了无织构的内部组织；再通过压力加工工艺与热处理工艺，获得了细小且均匀一致的内部组织，得到了满足高端溅射机台使用的钽靶材要求。
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公开(公告)号：CN104451567A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410833093.6
申请日：2014-12-29
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC分类号： C23C14/3407 , C22F1/18
摘要： 本发明提供了一种钽靶材及其制备方法，包括以下步骤，首先将钽锭经过第一次锻造后，得到一次锻造坯料；然后将上述步骤得到的一次锻造坯料经过第二次锻造和第一次热处理后，得到二次锻造坯料；再将上述步骤得到的二次锻造坯料经过第三次锻造和第二次热处理后，得到三次锻造坯料；再将上述步骤得到的三次锻造坯料经过第四次锻造和第三次热处理后，得到四次锻造坯料；最后将上述步骤得到的四次锻造坯料经过轧制和第四次热处理后，得到钽靶材；所述第一次锻造为旋转锻造；所述第一次锻造的温度为800～1400℃。本发明制备的钽靶材织构分布均匀、晶粒尺寸小，能够符合高端半导体镀膜行业的使用要求。
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公开(公告)号：CN103862231A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551215.3
申请日：2012-12-18
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种铌管状靶材的机加工方法，包括：采用第一刀具对铌管坯的内孔进行镗铣，得到铌管状靶材，所述第一刀具的刀头为双刀头或单刀头，所述第一刀具的刀杆的长度大于5000mm，所述双刀头在刀杆工作端沿轴线方向依次设置，所述刀头的刃倾角为负值。本发明对铌管坯的内孔加工的过程中，通过选用特殊的刀具，使其加工过程中保持小吃刀深度小的走刀量，且刀具采用负的刃倾角，使铌屑逐渐成为球团状，有利于内孔加工过程中铌屑由内孔的待加工表面排出，从而使铌管状靶材内孔容易加工成型。本发明还提供了一种刀具。
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公开(公告)号：CN103757592A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410054777.6
申请日：2014-02-19
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明提供了一种制备铌靶材的方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行热处理，将热处理后的铌锭钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭的内表面与外表面包覆第一金属材料，将得到的铌锭抽真空；c）将步骤b）得到的铌锭的内表面和外表面包覆第二金属材料；d）将步骤c）得到的铌锭进行热挤压。本申请在制备铌靶材的过程中，通过在铌锭的内表面与外表面依次包覆第一金属材料于第二金属材料，有效地避免了铌靶材在制备过程中的吸氢吸氧，并且易于铌靶材的加工。
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公开(公告)号：CN103219459A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310153570.X
申请日：2013-04-28
申请人： 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC分类号： H01L39/24
摘要： 本发明涉及金属材料技术领域。本发明提供了一种超导铌管及其制备方法，制备超导铌管的过程具体为：将超导铌锭进行锻造，所述锻造的过程中温度小于等于60℃；将锻造后的超导铌锭进行第一次热处理；在第一次热处理后的超导铌锭表面涂覆润滑剂，然后进行反挤压；将反挤压后的超导铌管坯进行第二次热处理，得到超导铌管。本发明在锻造过程中，通过控制锻造的温度，并且由于在挤压过程中，在铌锭表面涂覆润滑剂，有效地避免了铌锭在加工过程中的吸碳、吸氢与吸氧，使制备的超导铌管的残余电阻率降幅较小。
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