公开(公告)号：CN104480439A

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201410851242.1

申请日：2014-12-31

Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司

Inventor： 同磊 ,  陈林 ,  郑爱国 ,  李桂鹏 ,  汪凯 ,  李兆博 ,  程跃伟

IPC: C23C14/34 ,  B22F3/16 ,  C22F1/18

CPC classification number: C23C14/3414 ,  B22F3/16 ,  C22F1/18

Abstract: 本发明提供了一种钽靶材的制备工艺，包括以下步骤：A)，将钽粉进行等静压成型，得到钽坯；B)，将所述钽坯进行烧结，将烧结得到的钽坯进行轧制，将轧制得到的钽坯进行热处理，得到钽靶材。本发明通过粉末冶金的方法制得了钽靶材加工坯料，其优点是内部组织细小均匀，并得到了无织构的内部组织；再通过压力加工工艺与热处理工艺，获得了细小且均匀一致的内部组织，得到了满足高端溅射机台使用的钽靶材要求。