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公开(公告)号：CN113790818B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202110913427.0
申请日：2021-08-10
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于微电子测温技术领域，提供了一种可见光热反射测温方法及测温设备，上述方法包括：控制待测件的温度稳定在第一预设温度，并采集待测件的反射率，作为第一反射率；控制待测件的温度升高并稳定在第二预设温度，并采集待测件的反射率，作为第二反射率；控制待测件的温度降低并稳定在第一预设温度，将待测件通电，待待测件的温度稳定后，采集通电待测件的反射率，作为第三反射率；根据第一反射率对第三反射率进行校正，得到校正后的第三反射率；根据第一反射率、第二反射率及校正后的第三反射率确定待测件的温度变化量。本发明采用不通电时的第一反射率对通电后的第三反射率进行校正，可以有效消除随机干扰，提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN112485517B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202011040038.3
申请日：2020-09-28
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R23/02
Abstract: 本发明适用于微波频率源及测试测量技术领域，提供了一种测量锁相频率源频率跳变时间的方法及终端设备，该方法包括：获取被测信号；根据被测信号的频率和信号稳定精度需求，确定计时时间段；分别测量每个计时时间段对应的实际频率，当测量的连续预设个数的实际频率均等于被测信号的频率时，则确定频率稳定时间为连续预设个数的实际频率中第一个实际频率对应的计时时间段；根据频率稳定时间和跳频触发信号开始时间，确定锁相频率源频率的跳变时间，从而可以得到准确的跳变时间，适用于批量情况下锁相源产品的跳频时间指标测量，可大幅度提高测试效率。
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公开(公告)号：CN113932925A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111022849.5
申请日：2021-09-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01J5/10
Abstract: 本发明提供一种可见光热反射测温时的波长选择方法及终端。该方法包括：在预设波长范围内一波长的光源照射下，向被测件施加预设脉冲调制信号；经过第一预设时间间隔后，分别获得被测件在预设脉冲调制信号的高电平时的第一反射率和低电平时的第二反射率；在预设波长范围内多次改变光源的波长，获得每个波长对应的高电平时的第一反射率和低电平时的第二反射率；根据预设波长范围内各个波长对应的第一反射率和第二反射率，选择被测件测温时的波长。本发明能够降低可见光热反射测温时的波长选择方法的耗时，提高可见光热反射测温时的波长选择方法的效率，同时提高可见光热反射测温时的波长选择的准确性。
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公开(公告)号：CN110322487B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201910615311.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于图像处理技术领域，提供了一种图像配准方法、图像配准装置及终端，所述图像配准方法包括：获取平移图样，根据平移图样的每个平移点对目标图像进行平移配准，得到多个候选图像，计算各个候选图像与指定基准图像的互相关度，将与基准图像的互相关度最大的候选图像确定为选中图像，若选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件，将选中图像确定为目标图像的配准图像；否则，将选中图像对应的平移点作为新的零平移点，对本次平移配准各非零平移点进行平移和预设比例系数的缩小更新，获得下一次平移图样，基于下一次平移图样进行平移配准，直到选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件。本发明能够提高显微热成像测量温度的准确性。
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公开(公告)号：CN110310309B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN201910616002.6
申请日：2019-07-09
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G06T7/30
Abstract: 本发明适用于图像处理技术领域，提供了一种图像配准方法、图像配准装置及终端，所述图像配准方法包括：获取平移图样，根据平移图样上的每个平移点对目标图像进行平移配准，得到多个候选图像，计算各个候选图像与指定的基准图像的互相关度，将与基准图像的互相关度最大的候选图像确定为选中图像，若选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件，将选中图像确定为目标图像的配准图像；否则，将选中图像对应的平移点作为新的零平移点，对本次平移配准各非零平移点进行平移和预设角度的旋转更新，获得下一次平移图样，基于下一次平移图样进行平移配准，直到选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件。本发明能够提高显微热成像测量温度的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112526425A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011133324.4
申请日：2020-10-21
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明适用于半导体技术领域，提供了一种基于热阻标准件的热阻测量仪器校准方法及装置，该方法包括：控制热阻标准件处于预设温度下，向热阻标准件输入预设测试电流，并测量热阻标准件的第一结电压，根据预设温度和第一结电压确定热阻标准件的校温曲线；向热阻标准件输入预设工作电流，待热阻标准件的结温稳定后，测量热阻标准件的第二结电压；基于校温曲线以及第二结电压，确定热阻标准件在预设工作电流下的结温，并根据结温确定热阻标准件的标准热阻值；根据标准热阻值对热阻测量仪器进行校准。本发明利用已标定准确热阻值的热阻标准件对热阻测量仪器进行校准，能够解决现有技术中的热阻测量仪器测量结果准确度低、一致性差的问题。
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公开(公告)号：CN110310272A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910585005.8
申请日：2019-07-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于微电子器件温度检测技术领域，提供了一种图像配准方法及终端设备，该方法包括：获取不同材料构成的被测件的参考图像和对比图像；根据参考图像和对比图像上的预设特征点，获取被测件相对探测器的位置改变量；根据位置改变量反复调整热反射成像测温装置上的纳米位移台的位置，并获取每次纳米位移台位置调整后的被测件的新图像；根据新图像与参考图像，确定新图像中与参考图像误差最小的新图像为有效图像，从而可以修正被测件在由于震动、被测件热膨胀等造成的热反射成像测温过程中发生在二维方向的位置改变，实现较高的测温准确度。
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公开(公告)号：CN110310245A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910596737.7
申请日：2019-07-02
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于显微热成像技术领域，提供了一种图像照明分布的修正方法、修正装置、终端及计算机可读存储介质。其中，所述修正方法包括：获取被测目标的待修正图像；获取参考图像，其中，所述参考图像为在与所述待修正图像相同的光照度分布条件下得到的参考目标的图像；基于所述参考图像对所述待修正图像进行照明分布的修正。本发明能够对图像可能存在的照明分布不均匀的问题进行修正，可以用于对显微热成像获得的显微热图像进行修正处理，有利于降低显微热图像由于照明分布不均匀引起的测量误差，提高通过显微热成像进行温度测量的准确性。
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公开(公告)号：CN110298834A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201910584994.9
申请日：2019-07-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于微电子器件温度检测技术领域，提供了一种像素级边缘效应的修正方法及终端设备，该方法包括：通过获取不同材料构成的被测件的多张图像；当不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数不同时，控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向移动，直到所述不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数相同，从而可以通过图像处理的方式使得X、Y两个方向的像素级位置变化引起的边缘效应得到修正，从而使被测件位置变化造成高温误差和低温误差得到了修正，可以提高的热反射测温准确度。
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公开(公告)号：CN109443600A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811549184.1
申请日：2018-12-18
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 本发明提供了一种在片薄膜铂电阻温度传感器的标定方法，属于半导体测量技术领域，基于高低温探针台，步骤为：将片薄膜铂电阻温度传感器放置于控温平台；使每两根直流探针压于一个PAD压点；将四根直流探针分别连接数字多用表的两个Hi插孔和两个Lo插孔；调整高低温探针台的设定温度，通过数字多用表读取电阻值；根据公式计算电阻温度系数，再利用公式，即可计算实际温度。本发明提供的在片薄膜铂电阻温度传感器的标定方法，在片薄膜铂电阻温度传感器在微室内，受外界环境影响小，能够实现高低温环境下电阻值的精确提取，利用不同温度范围的电阻温度值分别计算电阻温度系数，提高在片薄膜铂电阻温度传感器的测温准确度。
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