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公开(公告)号:CN111983411B
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202010663553.0
申请日:2020-07-10
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种多指栅型晶体管热阻测试方法、装置及终端设备,该方法包括:获取多指栅型晶体管各个栅指的第一温升,并根据各个栅指的第一温升确定各个栅指对应的温度权值;其中,多指栅型晶体管各个栅指的第一温升由显微红外热像仪测量得到;获取多指栅型晶体管的平均温升;其中,多指栅型晶体管的平均温升是基于电学参数法对多指栅型晶体管进行结温测量得到的;根据多指栅型晶体管的平均温升以及各个栅指对应的温度权值确定多指栅型晶体管各个栅指的第二温升;基于各个栅指的第二温升确定多指栅型晶体管各个栅指的热阻。本发明提供的多指栅型晶体管热阻测试方法、装置及终端设备能够提高多指栅型晶体管热阻测试的准确性。
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公开(公告)号:CN110310272B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201910585005.8
申请日:2019-07-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于微电子器件温度检测技术领域,提供了一种图像配准方法及终端设备,该方法包括:获取不同材料构成的被测件的参考图像和对比图像;根据参考图像和对比图像上的预设特征点,获取被测件相对探测器的位置改变量;根据位置改变量反复调整热反射成像测温装置上的纳米位移台的位置,并获取每次纳米位移台位置调整后的被测件的新图像;根据新图像与参考图像,确定新图像中与参考图像误差最小的新图像为有效图像,从而可以修正被测件在由于震动、被测件热膨胀等造成的热反射成像测温过程中发生在二维方向的位置改变,实现较高的测温准确度。
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公开(公告)号:CN111983411A
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN202010663553.0
申请日:2020-07-10
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种多指栅型晶体管热阻测试方法、装置及终端设备,该方法包括:获取多指栅型晶体管各个栅指的第一温升,并根据各个栅指的第一温升确定各个栅指对应的温度权值;其中,多指栅型晶体管各个栅指的第一温升由显微红外热像仪测量得到;获取多指栅型晶体管的平均温升;其中,多指栅型晶体管的平均温升是基于电学参数法对多指栅型晶体管进行结温测量得到的;根据多指栅型晶体管的平均温升以及各个栅指对应的温度权值确定多指栅型晶体管各个栅指的第二温升;基于各个栅指的第二温升确定多指栅型晶体管各个栅指的热阻。本发明提供的多指栅型晶体管热阻测试方法、装置及终端设备能够提高多指栅型晶体管热阻测试的准确性。
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公开(公告)号:CN110310245B
公开(公告)日:2021-10-15
申请号:CN201910596737.7
申请日:2019-07-02
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于显微热成像技术领域,提供了一种图像照明分布的修正方法、修正装置、终端及计算机可读存储介质。其中,所述修正方法包括:获取被测目标的待修正图像;获取参考图像,其中,所述参考图像为在与所述待修正图像相同的光照度分布条件下得到的参考目标的图像;基于所述参考图像对所述待修正图像进行照明分布的修正。本发明能够对图像可能存在的照明分布不均匀的问题进行修正,可以用于对显微热成像获得的显微热图像进行修正处理,有利于降低显微热图像由于照明分布不均匀引起的测量误差,提高通过显微热成像进行温度测量的准确性。
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公开(公告)号:CN110322487A
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201910615311.1
申请日:2019-07-09
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于图像处理技术领域,提供了一种图像配准方法、图像配准装置及终端,所述图像配准方法包括:获取平移图样,根据平移图样的每个平移点对目标图像进行平移配准,得到多个候选图像,计算各个候选图像与指定基准图像的互相关度,将与基准图像的互相关度最大的候选图像确定为选中图像,若选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件,将选中图像确定为目标图像的配准图像;否则,将选中图像对应的平移点作为新的零平移点,对本次平移配准各非零平移点进行平移和预设比例系数的缩小更新,获得下一次平移图样,基于下一次平移图样进行平移配准,直到选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件。本发明能够提高显微热成像测量温度的准确性。
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公开(公告)号:CN110310313A
公开(公告)日:2019-10-08
申请号:CN201910616003.0
申请日:2019-07-09
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G06T7/33
Abstract: 本发明适用于图像处理技术领域,提供了一种图像配准方法、图像配准装置及终端,所述图像配准方法包括:获取平移图样,根据平移图样上的每个平移点对目标图像进行平移配准,得到多个候选图像,计算各候选图像与指定基准图像的互相关度,将与基准图像的互相关度最大的候选图像确定为选中图像,若选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件,将选中图像确定为目标图像的配准图像;否则,根据选中图像对应的平移点与本次平移图像中平移点的对应关系,对本次平移图样进行相应的操作更新,获得下一次平移图样,并基于下一次平移图样进行平移配准,直到选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件,本发明能够提高显微热成像测量温度的准确性。
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公开(公告)号:CN110207842A
公开(公告)日:2019-09-06
申请号:CN201910584992.X
申请日:2019-07-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明适用于微电子器件温度检测技术领域,提供了一种亚像素级边缘效应的修正方法及终端设备,该方法包括:通过获取不同材料构成的被测件的多张图像,当不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数不同时,控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向以预设距离移动,直到不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数误差值小于或等于预设误差阈值时,确定完成亚像素级边缘效应的修正,从而可以通过图像处理的方式使得X、Y两个方向的亚像素级位置变化引起的边缘效应得到修正,从而使被测件位置变化造成高温误差和低温误差得到了修正,可以提高的热反射测温准确度。
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公开(公告)号:CN109470365B
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN201811313600.8
申请日:2018-11-06
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01J5/00
Abstract: 本发明提供了一种校准显微红外热像仪的器件,包括:衬底、用于测量所述衬底上表面温度的温度传感器和用于所述显微红外热像仪测量温度的目标区域;所述衬底上设有所述温度传感器和所述目标区域,所述温度传感器与温度测量装置相连,所述温度传感器和所述温度测量装置共同完成对衬底温度的测量。通过温度传感器和温度测量装置获得衬底的温度,得到标准温度,利用显微红外热像仪测得的目标区域的温度,得到测量温度,通过比较标准温度和测量温度,以校准显微红外热像仪。
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公开(公告)号:CN109470365A
公开(公告)日:2019-03-15
申请号:CN201811313600.8
申请日:2018-11-06
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01J5/00
Abstract: 本发明提供了一种校准显微红外热像仪的器件,包括:衬底、用于测量所述衬底上表面温度的温度传感器和用于所述显微红外热像仪测量温度的目标区域;所述衬底上设有所述温度传感器和所述目标区域,所述温度传感器与温度测量装置相连,所述温度传感器和所述温度测量装置共同完成对衬底温度的测量。通过温度传感器和温度测量装置获得衬底的温度,得到标准温度,利用显微红外热像仪测得的目标区域的温度,得到测量温度,通过比较标准温度和测量温度,以校准显微红外热像仪。
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公开(公告)号:CN110310313B
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN201910616003.0
申请日:2019-07-09
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G06T7/33
Abstract: 本发明适用于图像处理技术领域,提供了一种图像配准方法、图像配准装置及终端,所述图像配准方法包括:获取平移图样,根据平移图样上的每个平移点对目标图像进行平移配准,得到多个候选图像,计算各候选图像与指定基准图像的互相关度,将与基准图像的互相关度最大的候选图像确定为选中图像,若选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件,将选中图像确定为目标图像的配准图像;否则,根据选中图像对应的平移点与本次平移图像中平移点的对应关系,对本次平移图样进行相应的操作更新,获得下一次平移图样,并基于下一次平移图样进行平移配准,直到选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件,本发明能够提高显微热成像测量温度的准确性。
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