一种高晶体质量红外发光二极管的外延生长方法

    公开(公告)号:CN104167473B

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:CN201410391548.3

    申请日:2014-08-11

    Abstract: 本发明公开一种高晶体质量红外发光二极管的外延生长方法,包括以下步骤:在衬底上依次外延生长缓冲层、腐蚀截止层、欧姆接触层及电流传输层;电流传输层生长结束后停顿1分钟,压力降低30mbar生长粗化层;在粗化层之上外延生长第一型导电层;在第一型导电层上生长量子垒;在量子垒外延结束后,改变Al、Ga的生长流量,过渡到Al组分较低AlGaAs材料构成的组分渐变降温层;外延生长AlGaInAs量子阱层;暂停外延生长,温度回升至与量子垒生长温度相同;继续依次生长量子垒、组分渐变降温层及量子阱;在有源层上外延生长第二型导电层。本发明解决有源区的量子阱与其它外延层存在失配的技术问题,提高红外发光二极管发光效率。

    一种高浓度Te掺杂的发光二极管外延方法

    公开(公告)号:CN104332536B

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201410551209.7

    申请日:2014-10-17

    Abstract: 本发明公开一种高浓度Te掺杂的发光二极管外延方法:一,在衬底上分别依次形成缓冲层、腐蚀阻挡层、粗化层;二、在粗化层上外延第一型电流扩展层的第一层结构;三、在第一型电流扩展层第一层结构上外延生长第一组超晶格;四、在第一组超晶格上外延生长第一型电流扩展层第二层结构;五、重复三、四的结构,直至在第n-1组超晶格上外延生长第一型电流扩展层第n层结构;六、在第一型电流扩展层第n层结构上接着外延生长第一型限制层、有源层、第二型限制层、第二型电流扩展层。本发明制作的发光二极管外延结构可以减少杂质对短波长光的吸收,有效提高发光二极管的发光效率。

    一种具有多粗化层的红外发光二极管的粗化方法

    公开(公告)号:CN104167478B

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201410391491.7

    申请日:2014-08-11

    Abstract: 本发明公开一种具有多粗化层的红外发光二极管的粗化方法,在基板上形成发光结构,在发光结构上形成N层粗化层,在粗化层上形成第一电极,在基板另一面形成第二电极;采用干法蚀刻在最外层粗化层表面形成粗化界面,蚀刻深度至第二粗化层接触表面;用粗化液蚀刻最外层粗化层及第二粗化层露出部分表面及侧面,形成粗化界面;用ICP在露出第二粗化层表面形成面积较最外层粗化层小的粗化界面,蚀刻深度至第三粗化层接触表面;用粗化液蚀刻第二粗化层及第三粗化层露出的部分表面及侧面,形成粗化界面;重复操作步骤四及步骤五,至露出N层粗化层表面及侧面,形成粗化界面。本发明增加二极管表面出光面积,提高红外发光二极管的外量子效率。

    一种提高背光源亮度的衬底制作方法

    公开(公告)号:CN105845789A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201610219660.8

    申请日:2016-04-11

    CPC classification number: H01L33/007

    Abstract: 本发明公开一种提高背光源亮度的衬底制作方法,一种提高背光源亮度的衬底制作方法,包括以下步骤:一,提供衬底,在衬底上通过掩膜、光刻,形成凸起的立体状光刻胶图形;二,采用ICP蚀刻,把立体状光刻胶图形转移至衬底表面,形成凸起的立体图案;三,在衬底上通过掩膜、光刻,形成凹陷的立体状光刻胶图形;四,采用ICP蚀刻,把立体状光刻胶图形转移至衬底表面,形成凹陷的立体图案,形成相邻凸起的立体图案之间设置凹陷的立体图案的衬底。本发明可以获得更好的单向性光源,且有效提高发光效率。

    一种不易发生翘曲的大尺寸发光二极管外延片制作方法

    公开(公告)号:CN105789396A

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201610273690.7

    申请日:2016-04-28

    CPC classification number: H01L33/12 H01L33/005

    Abstract: 本发明公开一种不易发生翘曲的大尺寸发光二极管外延片制作方法,在衬底上表面蒸镀AlN缓冲层;在AlN缓冲层上外延生长GaN缓冲层;在GaN缓冲层上外延生长复合缓冲层,反应温度至1000℃左右;复合缓冲层由GaN缓冲层和多层缓冲层构成;生长完复合缓冲层再升高外延生长温度至1050℃以上依次进行外延生长非故意掺杂层及第一型导电层;降低外延生长温度至低于800℃在第一型导电层上外延生长有源层;升高温度至900℃以上,在有源层上依次生长第二型导电层及欧姆接触层。本发明解决采用大尺寸衬底生长外延片过程中因温度变化导致翘曲变大而引起外延表面异常及电性能异常问题。

    一种具有倒梯形圆台体的微米线发光二极管

    公开(公告)号:CN105762264A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610273817.5

    申请日:2016-04-28

    CPC classification number: H01L33/62 H01L33/58

    Abstract: 本发明公开一种具有倒梯形圆台体的微米线发光二极管,衬底上表面由下至上依次生成缓冲层、非故意掺杂层及第一部分第一型导电层;第一部分第一型导电层上生成微米孔洞制作层,微米孔洞制作层上设置上宽下窄的倒梯形微米孔洞,在孔洞内由下至上依次生成第二部分第一型导电层、有源区、电子阻挡层、第一部分第二型导电层,第二部分第一型导电层与第一部分第一型导电层连接;微米孔洞制作层上生成第二部分第二型导电层与第一部分第二型导电层连接;第二部分第二型导电层上表面由下至上依次生成欧姆接触层和导电层;在第一部分第一型导电层上设置第一电极,在导电层上设置第二电极。本发明可以多维度提高二极管发光效率,且制作工艺简单。

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