形成图案的方法
    43.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117597628A

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN202280047231.0

    申请日:2022-07-04

    Abstract: 提供一种形成图案的方法,所述方法包括:在基板上涂布含金属抗蚀剂组成物;沿基板的边缘涂布用于去除边珠的组成物;对所得物进行干燥及加热,以在基板上形成含金属抗蚀剂膜;以及对所得物进行曝光及显影以形成抗蚀剂图案,其中所述用于去除边珠的组成物可包括至少一种添加剂以及有机溶剂,所述至少一种添加剂选自亚磷酸系化合物、次亚磷酸系化合物、亚硫酸系化合物及氧肟酸系化合物。

    含金属光刻胶显影剂组合物及图案形成方法

    公开(公告)号:CN117348341A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202310445626.2

    申请日:2023-04-24

    Abstract: 本发明提供一种含金属光刻胶显影剂组合物,及一种包含使用所述组合物进行显影的步骤的图案形成方法,且所述含金属光刻胶显影剂组合物包含:有机溶剂;以及至少一种添加剂,选自亚磷酸类化合物、次磷酸类化合物、亚硫酸类化合物以及氧肟酸类化合物,其中包含约0.0001重量%至小于约1.0重量%的量的所述添加剂。含金属光刻胶显影剂组合物可使曝光工艺之后存在于含金属光刻胶膜中的缺陷最小化且实现容易显影,由此实现极佳对比度特性、极佳敏感性以及减小的线边缘粗糙度。

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