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公开(公告)号:CN119024654A
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202410424324.1
申请日:2024-04-10
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: G03F7/32
Abstract: 提供一种形成图案的方法,所述方法包括在衬底上涂覆含金属抗蚀剂组合物;进行干燥并加热以在衬底上形成含金属抗蚀剂膜;使用经图案化掩模对含金属抗蚀剂膜进行曝光;以及涂覆显影剂组合物以移除未曝光区,进而形成抗蚀剂图案。与显影前抗蚀剂膜的厚度相比,显影后抗蚀剂膜的厚度增加了约5%到约100%,且基于原子总数计,显影后的抗蚀剂膜的表面可包含约5at%到约20at%的选自磷元素及硫元素中的至少一者。
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公开(公告)号:CN119024641A
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202410640016.2
申请日:2024-05-22
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 一种被配置用于从含金属抗蚀剂移除边珠和/或作为含金属抗蚀剂的显影剂组合物的组合物是无水的,并且包含有机溶剂和选自氨基酸类化合物、含硫的酸化合物和含硫的胺类化合物中的至少一种添加剂。一种组合物、使用所述组合物形成图案的方法及形成图案的系统,所述方法包括:在衬底上涂布含金属的抗蚀剂组合物;沿着衬底的边缘涂布本实施例的被配置用于从含金属抗蚀剂移除边珠的所述组合物;进行干燥和加热以在衬底上形成含金属的抗蚀剂膜;对含金属的抗蚀剂膜进行曝光;以及利用含金属抗蚀剂的显影剂组合物对含金属的抗蚀剂膜进行显影。
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公开(公告)号:CN115895662B
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202211018998.9
申请日:2022-08-24
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K13/06 , H01L21/311
Abstract: 本发明公开了一种用于氮化硅层的蚀刻组合物和使用其蚀刻氮化硅层的方法。该蚀刻组合物包含:无机酸或其盐;以及硅烷化合物,其中,该硅烷化合物包括含反应性基团的第一硅烷化合物和含可溶性基团的第二硅烷化合物的混合物的聚合物、聚合物的反应产物、其盐、或它们的组合。
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公开(公告)号:CN115598942A
公开(公告)日:2023-01-13
申请号:CN202210794402.8
申请日:2022-07-07
Applicant: 三星SDI株式会社(KR) , 三星电子株式会社(KR)
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明提供了一种从含金属的抗蚀剂去除边缘珠的组合物,及包括使用组合物去除边缘珠的步骤的形成图案的方法。该从含金属的抗蚀剂去除边缘珠的组合物包含有机溶剂、以及被至少一个羟基(‑OH)取代的七角环化合物,其中该七角环化合物在该环中具有至少两个双键。
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公开(公告)号:CN105713538B
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN201510969199.3
申请日:2015-12-22
IPC: C09J133/08 , C09J11/06 , C09J11/08 , C09J7/30 , C09J7/10
Abstract: 本发明提供一种粘合膜与显示构件。粘合膜由包含单体混合物的粘合剂组成物形成,单体混合物包含含羟基的(甲基)丙烯酸酯以及共聚单体,其中所述粘合膜具有由方程式1表示的40%到99%的恢复率和如通过测量气泡产生区域的方法测量的0%的气泡产生区域。本发明的粘合膜在恶劣条件下的可靠性、可恢复性以及可折叠性优良,同时能够在宽温度范围内维持粘弹性。
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公开(公告)号:CN105713537B
公开(公告)日:2018-02-13
申请号:CN201510968865.1
申请日:2015-12-22
IPC: C09J133/08 , C09J11/06 , C09J11/08 , C09J7/00 , C08F220/18 , C08F220/28
CPC classification number: C09J133/08 , C08K7/00 , C09J7/10 , C09J7/22 , C09J7/38 , C09J2201/622 , C09J2205/102 , C09J2205/114 , C09J2433/00 , C09J2467/006 , C09J2483/00
Abstract: 本文披露一种粘合剂膜以及显示构件,粘合剂膜由粘合剂组合物形成,粘合剂组合物包含:单体混合物,包含含羟基的(甲基)丙烯酸酯和共聚单体;以及纳米粒子,其中所述粘合剂膜的玻璃化转变温度(Tg)为‑20℃或小于‑20℃,折射率为1.40到1.55,并且在所述粘合剂膜的厚度为100微米下,浊度为3%或小于3%。本发明的粘合剂膜在苛刻条件下展现优良的可恢复性、透明度以及可靠性,同时在宽的温度范围内维持粘弹性。
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公开(公告)号:CN107305756A
公开(公告)日:2017-10-31
申请号:CN201710262954.3
申请日:2017-04-20
Abstract: 公开了一种柔性显示设备。该柔性显示设备包括按规定顺序依次堆叠的显示部件、第一粘附膜、光学膜、第二粘附膜和窗膜,其中第二粘附膜具有约200g/m2·24hr或更小的水蒸汽透过率,并且第一粘附膜具有比第二粘附膜更低的通过方程式B计算的恢复力。
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公开(公告)号:CN106318241A
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201610491631.7
申请日:2016-06-29
IPC: C09J7/00 , C09J4/02 , C09J4/06 , C09J133/08 , C08F220/18 , C08F220/28
Abstract: 本发明提供一种粘合剂膜和包括粘合剂膜的显示部件。所述粘合剂膜由包含以下各项的粘合剂组成物形成:包含含有羟基基团的(甲基)丙烯酸酯和共聚单体的单体混合物的共聚物;和纳米颗粒。所述粘合剂膜在-20℃下具有的蠕变是50微米到100微米,凝胶分数是50%到75%。本发明的粘合剂膜在可折叠性、透明度和粘合强度方面具有优秀的性质。
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公开(公告)号:CN119432511A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202411054043.8
申请日:2024-08-02
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 公开一种用于从含金属的抗蚀剂移除边缘珠粒的组合物、一种含金属的抗蚀剂的显影剂组合物、以及使用其形成图案的方法。根据一个或多个实施例的组合物包含:经至少一个氟取代的C1至C10羧酸化合物;以及有机溶剂。
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公开(公告)号:CN115124946B
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202210741783.3
申请日:2015-10-30
IPC: C09J7/38 , C09J133/08 , C09J11/08 , C09J7/10 , G02B1/10
Abstract: 本发明揭示一种(甲基)丙烯酸压敏粘着剂膜以及包含(甲基)丙烯酸压敏粘着剂膜的显示部件。(甲基)丙烯酸压敏粘着剂膜具有‑6到0的平均斜度,在储能模量对温度的关系图中‑20℃到80℃范围内所测量,其中x轴表示温度(℃)并且y轴表示储能模量(千帕)。(甲基)丙烯酸压敏粘着剂膜具有10千帕到1,000千帕的80℃下的储能模量。(甲基)丙烯酸压敏粘着剂膜能够维持宽温度范围内的粘弹性并且还展现出优良的可恢复性。
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