用于极远紫外光刻的反射掩模和制作该反射掩模的方法

    公开(公告)号:CN1869811A

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200610092874.X

    申请日:2006-05-29

    CPC classification number: G21K1/062 B82Y10/00 B82Y40/00 G03F1/24

    Abstract: 本发明公开了一种用于极远紫外(EUV)光刻的反射掩模和制作该反射掩模的方法,其中,该反射掩模包括:基板,以多层结构形成在基板上并包含反射EUV光线的材料的下反射层,以多层结构形成在下反射层上和反射EUV光线的上反射层,在下反射层和上反射层之间形成为预定图案的相位反转层,该相位反转层引起来自上反射层的反射光线与来自下反射层的反射光线之间的破坏性干涉。这减少了阴影效应的影响,并且可以消除不必要的EUV光线,使得在掩模上设计的图案能够精确地投影到硅晶片上。由于相位反转层具有与反射层和吸收层的材料完全一样的材料,掩模制作过程能够简易地处理。

    铁电电容器的制造方法
    44.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1198328C

    公开(公告)日:2005-04-20

    申请号:CN02130549.8

    申请日:2002-08-16

    Inventor: 李俊冀 朴永洙

    Abstract: 铁电电容器的制造方法。该方法包括:在具有晶体管和位线的衬底上形成层间绝缘层,从而晶体管和位线由层间绝缘层覆盖;在层间绝缘层上形成接触孔,以部分地露出衬底;在层间绝缘层上形成具有预定厚度的导电层,导电层填充接触孔;在导电层上形成防氧化层;顺序地在防氧化层上形成下部电极、铁电层、上部电极。因而,彼此面对的用作存储节点的导电层与下部电极的界面的抗氧化性增加,因此形成铁电薄膜的温度也有所增加。因而,可以得到具有优良特性的铁电薄层。

    半导体器件
    45.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107452763B

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN201710223454.9

    申请日:2017-04-07

    Abstract: 本公开提供半导体器件。根据某些实施方式的半导体器件可以形成为单个半导体芯片,该单个半导体芯片包括:多个发光二极管,每个包括第一导电类型半导体层、第二导电类型半导体层以及设置在两者之间的有源层,该多个发光二极管包括第一组发光二极管和第二组发光二极管;第一布线,作为第一电节点的部分;第二布线,作为第二电节点的部分;第三布线,作为第三电节点的部分;第四布线,作为第四电节点的部分;以及第一、第二、第三和第四芯片垫,分别电连接到第一、第二、第三和第四电节点,并且第一、第二、第三和第四电节点可以彼此不同。

    发光装置和包括其的显示装置

    公开(公告)号:CN106816505B

    公开(公告)日:2020-08-18

    申请号:CN201611090753.1

    申请日:2016-11-30

    Abstract: 本发明提供了一种发光装置,包括:衬底,其包括顶表面和第一侧表面,其中,顶表面的面积大于第一侧表面的面积;以及衬底的第一侧表面上的发光结构,该发光结构具有第一导电类型半导体层、第二导电类型半导体层和第一导电类型半导体层与第二导电类型半导体层之间的有源层,其中,发光结构发射具有第一峰值波长的第一光,并且其中,发射通过衬底的顶表面的第一光的发射面积大于发射通过衬底的第一侧表面的第一光的发射面积。

Patent Agency Ranking