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公开(公告)号：CN119604968A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202380055153.3
申请日：2023-07-26
IPC: H01L21/363 , C23C14/08 , H10D30/67
Abstract: 层叠结构体具有基底绝缘层、设置在基底绝缘层上的金属氧化物层、和与金属氧化物层相接地设置的氧化物半导体层，氧化物半导体层有与金属氧化物层中包含的金属元素相同的金属元素具有浓度梯度的区域，金属元素的浓度梯度随着接近金属氧化物层与氧化物半导体层的界面而增加。
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公开(公告)号：CN119498029A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202380051062.2
申请日：2023-07-27
IPC: H10D30/67
Abstract: 氧化物半导体膜，其为设置在基板之上的具有多晶结构的氧化物半导体膜，氧化物半导体膜的晶体结构为方铁锰矿型结构，在使用Cu‑Kα射线的面外XRD衍射图案中，氧化物半导体膜的(222)面的峰强度相对(422)面的峰强度之比为3.0以下。由(222)面的所述峰算出的微晶直径可以为10nm以上。
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公开(公告)号：CN119422456A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202380042084.2
申请日：2023-04-19
Abstract: 薄膜晶体管(10)包括：设置在基板(100)之上的具有多晶结构的氧化物半导体层(140)；设置在氧化物半导体层之上的栅电极(160)；和设置在氧化物半导体层与栅电极之间的栅极绝缘层(150)，氧化物半导体层包括：与栅电极重叠且具有第一载流子浓度(n1)的第一区域(141)；与栅电极不重叠且具有第二载流子浓度(n2)的第二区域(142)；和与栅电极重叠且位于第一区域与所述第二区域之间的第三区域(143)，第二载流子浓度比第一载流子浓度大，第三区域的载流子浓度在从第二区域朝向所述第一区域的沟道长度方向上减少，沟道长度方向上的第三区域的长度为0.00μm以上0.60μm以下。
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公开(公告)号：CN110678433B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201880020911.7
申请日：2018-03-29
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C04B35/01 , C23C14/08 , C23C14/34 , H01L21/363 , H01L27/146 , H01L29/786
Abstract: 本发明涉及氧化物烧结体及制造方法、薄膜及薄膜晶体管、电子设备、溅射靶。其中，氧化物烧结体以下述式(1)～(3)所规定的范围的原子比含有In元素、Y元素以及Ga元素，0.80≦In/(In+Y+Ga)≦0.96…(1)0.02≦Y/(In+Y+Ga)≦0.10…(2)0.02≦Ga/(In+Y+Ga)≦0.15…(3)并且，以下述式(4)所规定的范围的原子比含有Al元素，0.005≦Al/(In+Y+Ga+Al)≦0.07…(4)式中，In、Y、Ga、Al分别表示氧化物烧结体中的In元素、Y元素、Ga元素以及Al元素的原子数。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN110678433A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201880020911.7
申请日：2018-03-29
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C04B35/01 , C23C14/08 , C23C14/34 , H01L21/363 , H01L27/146 , H01L29/786
Abstract: 一种氧化物烧结体，其特征在于，以下述式(1)～(3)所规定的范围的原子比含有In元素、Y元素以及Ga元素，0.80≦In/(In+Y+Ga)≦0.96…(1)0.02≦Y/(In+Y+Ga)≦0.10…(2)0.02≦Ga/(In+Y+Ga)≦0.15…(3)并且，以下述式(4)所规定的范围的原子比含有Al元素，0.005≦Al/(In+Y+Ga+Al)≦0.07…(4)式中，In、Y、Ga、Al分别表示氧化物烧结体中的In元素、Y元素、Ga元素以及Al元素的原子数。
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公开(公告)号：CN105873881A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480070391.2
申请日：2014-12-18
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: C04B35/00 , C23C14/08 , C23C14/34 , H01L21/363
CPC classification number: H01J37/3429 , C04B35/01 , C04B35/64 , C04B2235/3217 , C04B2235/3222 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/5445 , C04B2235/602 , C04B2235/604 , C04B2235/6562 , C04B2235/6567 , C04B2235/762 , C04B2235/764 , C04B2235/786 , C04B2235/80 , C23C14/08 , C23C14/083 , C23C14/086 , C23C14/3414 , H01J37/3426 , H01J37/3491 , H01L21/02565 , H01L21/02631 , H01L29/66969 , H01L29/7869
Abstract: 一种氧化物烧结体，其包含由In2O3构成的方铁锰矿相和A3B5O12相，式中，A为选自Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb和Lu中的一种以上的元素，B为选自Al和Ga中的一种以上的元素。
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公开(公告)号：CN103474469B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201310336580.7
申请日：2011-12-27
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L29/06 , H01L29/22 , H01L21/363
CPC classification number: H01L29/7869 , C23C14/086 , H01L21/02488 , H01L21/02554 , H01L21/02565 , H01L21/02631 , H01L21/02667 , H01L29/66742 , H01L29/66969
Abstract: 一种层叠结构，其特征在于，其为包含氧化物层和绝缘层的层叠结构，其中，所述氧化物层的载流子浓度为1018/cm3以下，平均晶体粒径为1μm以上，所述氧化物层的晶体以柱状配置在所述绝缘层的表面。
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公开(公告)号：CN103474469A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310336580.7
申请日：2011-12-27
Applicant: 出光兴产株式会社
IPC: H01L29/786 , H01L29/06 , H01L29/22 , H01L21/363
CPC classification number: H01L29/7869 , C23C14/086 , H01L21/02488 , H01L21/02554 , H01L21/02565 , H01L21/02631 , H01L21/02667 , H01L29/66742 , H01L29/66969
Abstract: 一种层叠结构，其特征在于，其为包含氧化物层和绝缘层的层叠结构，其中，所述氧化物层的载流子浓度为1018/cm3以下，平均晶体粒径为1μm以上，所述氧化物层的晶体以柱状配置在所述绝缘层的表面。
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