固态成像设备和成像系统
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104917980A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510103714.X

    申请日:2015-03-10

    Abstract: 本发明涉及固态成像设备和成像系统。固态成像设备包括多个像素,像素包括:光电转换部;电荷保持部,积聚从光电转换部转移的信号电荷;以及浮置扩散区,电荷保持部的信号电荷被转移到浮置扩散区,其中,光电转换部包括第一导电类型的第一半导体区以及在第一半导体区下面形成的第二导电类型的第二半导体区,电荷保持部包括第一导电类型的第三半导体区以及在第三半导体区下面形成的第二导电类型的第四半导体区,并且第三半导体区与第四半导体区之间的p-n结的位置比第一半导体区与第二半导体区之间的p-n结深。

    固态图像拾取设备的制造方法

    公开(公告)号:CN102088026B

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201010570146.1

    申请日:2010-12-02

    CPC classification number: H01L27/14689 H01L27/1464 H01L27/14685

    Abstract: 本发明涉及一种固态图像拾取设备的制造方法,包括:根据离子注入方法从半导体基板的第一表面在半导体基板中形成第一导电类型的第一半导体区的步骤;在第一半导体区和半导体基板的第一表面之间形成多个光电转换区的步骤;通过从半导体基板的第二表面对半导体基板进行抛光的第一移除步骤;在第一移除步骤之后,通过以比第一移除步骤的速度低的速度从半导体基板的第二表面减小半导体基板的厚度的第二移除步骤,其中,直到第一半导体区露出之前,继续第二移除步骤。

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