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公开(公告)号：CN112567629A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201980053290.7
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供谐振子以及具备该谐振子的谐振装置。谐振子(10)具备：基部(130)；至少三个振动臂(121A～D)，具有压电膜(F3)、上部电极E2以及下部电极E1；保持部(140)；以及保持臂(150)，至少三个振动臂(121A～D)的各振动臂(121A～D)具有臂部(123A～D)和前端部(122A～D)，保持臂(150)具有与外侧振动臂(121A)并行地延伸的保持侧臂(153A)，外侧振动臂(121A)的前端部(122A)与保持部(140)之间的释放宽度(12Wa)比保持侧臂(153A)与保持部(140)之间的释放宽度(15Wa)、或者外侧振动臂(121A)的臂部(123A)与保持侧臂(153A)之间的释放宽度(15Wb)大。
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公开(公告)号：CN109155615A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780028887.7
申请日：2017-03-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 抑制谐振子上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层带电的电荷给谐振频率带来的影响。具备：第一电极以及第二电极；压电膜，被设置在第一电极与第二电极之间，并具有与第一电极对置的上表面，当电压施加于第一电极和第二电极之间时以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，并隔着第一电极与压电膜的上表面对置地设置；以及导电膜，由导电体构成，并隔着保护膜与压电膜的上述上表面对置地设置，导电膜与第一电极以及第二电极中的任意一方电连接。
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公开(公告)号：CN113826322B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202080033645.9
申请日：2020-02-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种谐振装置，其降低了施加于支承臂与保持部的连接部分的应力。谐振装置具备：谐振器，包括基部、从该基部的一端沿着第一方向延伸的振动臂、配置于振动臂的周围的至少一部分并将振动臂保持为能够振动的保持部、以及将基部与保持部连接的支承臂；和第一基板，包括形成谐振器的振动空间的至少一部分的第一凹部、以及在厚度方向上与支承臂空开第一距离地设置的第一限制部，第一距离小于在第一基板的厚度方向上第一凹部的底面与振动臂之间的距离。
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公开(公告)号：CN117730482A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202280050680.0
申请日：2022-03-30
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明缓和由于冲击在谐振子产生的应力。谐振装置具备：谐振子(10)，包括基部(130)、多个振动臂(121A～121D)以及保持部(140)，上述多个振动臂分别具有与基部连接的固定端侧的臂部(123A～123D)和形成于开放端侧的锤部(122A～122D)，并且上述多个振动臂相互并列延伸且以面外弯曲振动模式为主振动进行振动，上述保持部配置于多个振动臂(121A～121D)的周围的至少一部分，构成为保持基部(130)；下盖；上盖，在与下盖之间形成谐振子(10)的振动空间；以及突出部(50)，从下盖或者上盖的内面向振动空间突出，保持部(140)具有突起(146a、146b)，在俯视时，上述突起形成于与多个振动臂(121A～121D)中的至少一个振动臂的锤部(122A～122D)对置的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116601870A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180082745.5
申请日：2021-07-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种谐振子以及谐振装置，在使DLD改善的同时，抑制谐振频率的调整速率的降低。谐振子(10)具备：振动部(110)，包含多个振动臂(121A～121D)和基部(130)，其中至少两个振动臂以不同的相位进行面外弯曲；保持部(140)，构成为保持振动部(110)；以及支承臂(151)，一端与保持部(140)连接，另一端与基部(130)的后端部(131B)连接，在俯视时，支承臂(151)的另一端连接在将基部(130)的后端部(131B)中的中心线(CL1)通过的位置作为基准时，相对于基部(130)的基部宽度WB从－0.1WB到0.1WB的范围的位置，支承臂(151)的支承臂长LS相对于振动臂(121A～121D)的振动臂长LA在0.2倍以上且在0.4倍以下。
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公开(公告)号：CN112204880A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201880092625.1
申请日：2018-12-21
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供谐振子(10)，具备：振动部(120)，具备：具有主面的基板(F2)、形成在基板(F2)的主面上的下部电极(E1)、形成在下部电极(E1)上的压电膜(F3)、以及形成在压电膜(F3)上的上部电极(E2)；以及保持部(140)，设置为包围振动部(120)的至少一部分。在振动部(120)的周围设置有开口槽，该开口槽在俯视基板(F2)的主面时的第一方向具有不同的宽度。在俯视基板(F2)的主面时，上部电极(E2)形成为从基板(F2)的外边缘隔开沿着第一方向的间隙设置，并且开口槽的宽度较大的区域的间隙的长度比开口槽的宽度较小的区域的间隙的长度大。
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公开(公告)号：CN111108690A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201880060903.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明抑制对谐振器上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层施加的电压给谐振器的振动带来的影响。具备：振动部；保持部，设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，连接振动部和保持部，该振动部具有：上部电极和下部电极；压电膜，设置于上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极与下部电极之间被施加电压时使振动部以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，夹着上部电极与压电膜的主面对置地设置，在振动部中的第一区域露出；导电膜，夹着保护膜与压电膜的上述主面对置地设置，在振动部中的与第一区域相邻的区域亦即第二区域露出；以及连接电极，形成于保护膜，使导电膜与下部电极电连接，上部电极形成为与导电膜相互重叠的区域的面积为导电膜的面积的总和的一半以下或者避免形成与导电膜相互重叠的区域。
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公开(公告)号：CN112585870B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201980054142.7
申请日：2019-08-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种谐振装置，能够抑制电容的不平衡。谐振装置(1)具备：谐振器(10)，其包含上部电极(125A～125D)、下部电极(129)、以及形成在上部电极(125A～125D)与下部电极(129)之间的压电薄膜(F3)；上盖(30)，其设置为第一面与谐振器(10)的上部电极(125A～125D)对置；电源端子(ST1)，其设置于上述基板的第二面，与上部电极(125B、125C)电连接；电源端子(ST2)，其设置于上盖(30)的第二面，与上部电极(125A、125D)电连接；以及接地端子(GT)，其设置于上盖(30)的第二面，与下部电极(129)电连接，电源端子(ST1)的面积与电源端子(ST2)的面积不同，以便在电源端子(ST1)与接地端子(GT)之间产生的电容与在电源端子(ST2)与接地端子(GT)之间产生的电容近似。
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