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公开(公告)号：CN109155614B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN201780029832.8
申请日：2017-01-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 盛永俊吾
Abstract: 一种谐振装置制造方法，不损害谐振子的压电性而进行谐振频率的调整。包括：准备下盖的工序；将基板配置为该基板的下面与上述下盖对置，并在基板的上面依次形成第一电极层、压电膜以及第二电极层的工序；由第一电极层、第二电极层以及压电膜形成进行弯曲振动的振动臂，形成具有该振动臂的谐振子的工序；以及将上盖配置为隔着谐振子与下盖对置的工序，在配置上盖的工序之前或者之后，还包括通过在第一电极层与第二电极层之间施加电压，使振动臂激励，使该振动臂的一部分与下盖以及上述上盖的至少一方碰撞，来调整谐振子的频率的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109155614A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780029832.8
申请日：2017-01-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 盛永俊吾
Abstract: 不损害谐振子的压电性而进行谐振频率的调整。包括：准备下盖的工序；将基板配置为该基板的下面与上述下盖对置，并在基板的上面依次形成第一电极层、压电膜以及第二电极层的工序；由第一电极层、第二电极层以及压电膜形成进行弯曲振动的振动臂，形成具有该振动臂的谐振子的工序；以及将上盖配置为隔着谐振子与下盖对置的工序，在配置上盖的工序之前或者之后，还包括通过在第一电极层与第二电极层之间施加电压，使振动臂激励，使该振动臂的一部分与下盖以及上述上盖的至少一方碰撞，来调整谐振子的频率的工序。
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公开(公告)号：CN109155615B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN201780028887.7
申请日：2017-03-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及谐振子以及谐振装置，抑制谐振子上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层带电的电荷给谐振频率带来的影响。具备：第一电极以及第二电极；压电膜，被设置在第一电极与第二电极之间，并具有与第一电极对置的上表面，当电压施加于第一电极和第二电极之间时以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，并隔着第一电极与压电膜的上表面对置地设置；以及导电膜，由导电体构成，并隔着保护膜与压电膜的上述上表面对置地设置，导电膜与第一电极以及第二电极中的任意一方电连接。
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公开(公告)号：CN1200511C
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN01137880.8
申请日：2001-11-07
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/178 , H01L41/0475 , H03H9/177
Abstract: 本发明揭示一种压电谐振器，在该压电谐振器中，第1和第2谐振电极设置在一压电元件上表面和下表面；设置把第1和第2谐振电极导向上下表面的内电极层，该内电极层延伸至压电元件上下表面；设置在压电元件上下表面的连接电极经内电极层电连接至相应谐振电极。
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公开(公告)号：CN109155615A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780028887.7
申请日：2017-03-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 抑制谐振子上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层带电的电荷给谐振频率带来的影响。具备：第一电极以及第二电极；压电膜，被设置在第一电极与第二电极之间，并具有与第一电极对置的上表面，当电压施加于第一电极和第二电极之间时以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，并隔着第一电极与压电膜的上表面对置地设置；以及导电膜，由导电体构成，并隔着保护膜与压电膜的上述上表面对置地设置，导电膜与第一电极以及第二电极中的任意一方电连接。
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公开(公告)号：CN1353502A
公开(公告)日：2002-06-12
申请号：CN01137880.8
申请日：2001-11-07
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/178 , H01L41/0475 , H03H9/177
Abstract: 本发明揭示一种压电谐振器,在该压电谐振器中,第1和第2谐振电极设置在一压电元件上表面和下表面;设置把第1和第2谐振电极导向上下表面的内电极层,该内电极层延伸至压电元件上下表面;设置在压电元件上下表面的连接电极经内电极层电连接至相应谐振电极。
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