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公开(公告)号：CN112335178A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201980041750.4
申请日：2019-07-30
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种能够抑制构成连接部的共晶合金的一部分金属沿着连接布线扩散的MEMS设备。谐振装置(1)具备：MEMS基板(50)，包含谐振器(10)、和与谐振器(10)电连接的连接布线(75)；以及连接部(70)，与连接布线(75)电连接，由第一金属层(71)和设置于MEMS基板(50)侧的第二金属层(72)的共晶合金构成，在俯视MEMS基板(50)的主面时，连接布线(75)的线宽(WL)比连接部的宽度(WC)小。
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公开(公告)号：CN106797208B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201680003178.9
申请日：2016-01-08
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种与以往相比进一步提高了谐振器特性的谐振器。谐振器具有支承框、以及沿规定的方向相互平行地延伸的第一边以及第二边，并且具备沿着规定的方向进行轮廓振动的矩形的振动部、以及分别连接振动部的第一边和支承框、第二边和支承框的两对支承部。振动部具有在规定的方向上并列配置且各振动区域相对于相邻的其它振动区域以相反相位进行振动的至少四个振动区域、以及形成于振动区域的每一个的电极膜。电极膜的规定的方向上的中心线从形成有该电极膜的振动区域的规定的方向上的中心线偏移。
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公开(公告)号：CN106797208A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201680003178.9
申请日：2016-01-08
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种与以往相比进一步提高了谐振器特性的谐振器。谐振器具有支承框、以及沿规定的方向相互平行地延伸的第一边以及第二边，并且具备沿着规定的方向进行轮廓振动的矩形的振动部、以及分别连接振动部的第一边和支承框、第二边和支承框的两对支承部。振动部具有在规定的方向上并列配置且各振动区域相对于相邻的其它振动区域以相反相位进行振动的至少四个振动区域、以及形成于振动区域的每一个的电极膜。电极膜的规定的方向上的中心线从形成有该电极膜的振动区域的规定的方向上的中心线偏移。
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公开(公告)号：CN112567629B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN201980053290.7
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供谐振子以及具备该谐振子的谐振装置。谐振子(10)具备：基部(130)；至少三个振动臂(121A～D)，具有压电膜(F3)、上部电极E2以及下部电极E1；保持部(140)；以及保持臂(150)，至少三个振动臂(121A～D)的各振动臂(121A～D)具有臂部(123A～D)和前端部(122A～D)，保持臂(150)具有与外侧振动臂(121A)并行地延伸的保持侧臂(153A)，外侧振动臂(121A)的前端部(122A)与保持部(140)之间的释放宽度(12Wa)比保持侧臂(153A)与保持部(140)之间的释放宽度(15Wa)、或者外侧振动臂(121A)的臂部(123A)与保持侧臂(153A)之间的释放宽度(15Wb)大。
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公开(公告)号：CN112640302B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN201980057531.5
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 谐振子(10)具备：基部(130)；和至少三个振动臂(121A～D)，其一端是与基部(130)的前端部(131A)连接的固定端，另一端是离开前端部(131A)设置的自由端，至少三个振动臂(121A～D)中各振动臂具有：臂部(123A～D)，其具有沿着从固定端朝向自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部(122A～D)，其与臂部(123A～D)的末端连接，且比臂部(123A～D)宽度大，在相邻且相互反相振动的任两个振动臂(121A、121B)中，质量附加部(122A、122B)彼此的间隔(PT12)大于臂部(123A、123B)彼此的间隔(PT13)。
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公开(公告)号：CN111683896B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN201880088213.0
申请日：2018-08-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明具备：压电膜；第一电极以及第二电极，它们夹着该压电膜；保护膜，其设置为覆盖第二电极的至少一部分，具有将第二电极的一部分开口的开口部；第三电极，其设置为至少在开口部与第二电极接触，且覆盖保护膜的至少一部分；以及第一布线层，其具有与第三电极接触的第一接触部。
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公开(公告)号：CN111989863B
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN201880092468.4
申请日：2018-11-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 谐振装置(1)具备谐振器(10)、上盖(30)和下盖(20)，谐振器具有具备基部(130)和多个振动臂(135)的振动部(120)、保持部(140)以及保持臂(111、112)，下盖(20)具有在相邻的2个振动臂(135B、135C)之间突起的突起部(50)，突起部(50)具有绝缘膜(235)，振动臂(135)具有锤部(G)，锤部(G)具有形成在绝缘膜(235)上的导电膜(236)，在多个振动臂(135)延伸的方向上，与相邻的2个振动臂(135B、135C)中的任意一个的锤部(G)与保持部(140)之间的第一距离(L1)相比，锤部(G)与突起部(50)之间的第二距离(L2)较大。
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公开(公告)号：CN112567629A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201980053290.7
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供谐振子以及具备该谐振子的谐振装置。谐振子(10)具备：基部(130)；至少三个振动臂(121A～D)，具有压电膜(F3)、上部电极E2以及下部电极E1；保持部(140)；以及保持臂(150)，至少三个振动臂(121A～D)的各振动臂(121A～D)具有臂部(123A～D)和前端部(122A～D)，保持臂(150)具有与外侧振动臂(121A)并行地延伸的保持侧臂(153A)，外侧振动臂(121A)的前端部(122A)与保持部(140)之间的释放宽度(12Wa)比保持侧臂(153A)与保持部(140)之间的释放宽度(15Wa)、或者外侧振动臂(121A)的臂部(123A)与保持侧臂(153A)之间的释放宽度(15Wb)大。
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公开(公告)号：CN112534719A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980051515.5
申请日：2019-03-12
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明涉及谐振装置。谐振装置(1)具备：下盖(20)；上盖(30)，与下盖(20)接合；以及谐振子(10)，具有在形成于下盖(20)与上盖(30)之间的振动空间弯曲振动的振动臂(121A～D)，在振动臂(121A～D)的前端部(122A～D)附着粒子(9)。在将粒子(9)的中位径设为D50，将粒子(9)的比重设为A，将谐振子(10)的谐振频率设为X时，满足
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公开(公告)号：CN111683896A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201880088213.0
申请日：2018-08-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: B81B3/00 , H03H9/24 , B81C3/00 , H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187
Abstract: 本发明具备：压电膜；第一电极以及第二电极，它们夹着该压电膜；保护膜，其设置为覆盖第二电极的至少一部分，具有将第二电极的一部分开口的开口部；第三电极，其设置为至少在开口部与第二电极接触，且覆盖保护膜的至少一部分；以及第一布线层，其具有与第三电极接触的第一接触部。
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