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公开(公告)号：CN102270977A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201110097105.X
申请日：2011-04-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H03H11/16
Abstract: 本发明提供一种数字模拟混合移相电路。该数字模拟混合移相电路包括相连接的模拟式移相器与数字式移相器。其中，所述模拟式移相器具有第一控制端及第一信号输入端，用于根据所述第一控制端接入的相位控制信号对所述第一信号输入端接入的信号进行相应相位的移相；所述数字式移相器具有第二控制端及第二信号输入端，用于根据所述第二控制端接入的控制信号将所述第二信号输入端接入的信号进行0度或180度的移相。本发明可实现360度连续的相位调制，具有良好的相位控制精度，能够解决毫米波频段下全角度（360°）的高精度移相问题。主要应用在毫米波通信、毫米波相控阵天线等技术领域中。
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公开(公告)号：CN117742076A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311836321.0
申请日：2023-12-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明涉及一种提高匀胶平整性及均匀性的方法，包括如下步骤：提供任意衬底，将吸附性材料固定在衬底边缘，形成结合体；将结合体吸附在匀胶机上匀胶，即得到表面胶层厚度均匀的衬底。本发明解决了现有光刻技术中因胶层厚度不均匀导致的掩模版和衬底不能完全贴合的问题，相对现有技术，本发明能够显著改善掩模版和待光刻衬底的贴合，操作简单，成本低廉，适合所有尺寸的样品。
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公开(公告)号：CN106848593B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201611251523.9
申请日：2016-12-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种小型化高增益超材料喇叭天线，包括喇叭天线本体，所述喇叭天线本体上设有自输出端口面向内延伸的一台阶孔，该台阶孔内固定有一用于使所述输出端口面的电磁波相位分布均匀化的相位分布调整模块；所述相位分布调整模块包括至少两块重叠设置的非均匀超材料金属片，相邻两块所述非均匀超材料金属片之间设有一金属垫片，位于最外面的所述非均匀超材料金属片的外侧面与所述输出端口面齐平。本发明能够在实现高远场增益的前提下保证喇叭天线小型化、轻量化和集成化。
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公开(公告)号：CN104297298A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410452147.4
申请日：2014-09-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/02
Abstract: 本发明涉及一种外周血循环肿瘤细胞检测芯片及系统，其中，检测芯片包括衬底，其特征在于，所述衬底上制备有相互连接的叉指电容电路和螺旋电感金属电路；所述叉指电容电路上紧密贴合有单层石墨烯薄膜；所述石墨烯薄膜上贴合有微流控制通道；所述微流控制通道与单层石墨烯薄膜形成了用于筛选出的肿瘤细胞的集成石墨烯微流控管道筛选微芯片；所述单层石墨烯薄膜、叉指电容电路和螺旋电感电路形成一个整体RCL谐振网络；所述螺旋电感电路还充当互耦天线的作用。检测系统包括检测信号读出分析装置和上述的外周血循环肿瘤细胞检测芯片。本发明能够实现对肿瘤细胞的快速、灵敏、准确和低成本的检测。
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公开(公告)号：CN102117699B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201010590616.0
申请日：2010-12-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种硅基Al2O3薄膜芯片电容器，可用于微波和射频电路中，起旁路和滤波作用。该芯片电容器包括低阻(电阻率≤1×10-3Ω·cm)硅衬底、非晶Al2O3绝缘薄膜、上电极、下电极四层结构。采用射频磁控溅射法，以高纯Al2O3陶瓷为靶材，在单晶Si衬底生长Al2O3非晶绝缘薄膜，接着在薄膜表面溅射生长Ti或TiW层和Au层，再经电镀Au加厚后，通过光刻、腐蚀的方法制作上电极图形，根据芯片电容厚度的要求对Si片背面减薄，在背面溅射Ti或TiW层和Au层作为下电极，划片后制作成芯片电容。该电容具用高Q值、损耗小、结构与工艺简单、成本低廉、尺寸小等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102779846A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201110123487.9
申请日：2011-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L29/737 , H01L29/08 , H01L29/205
Abstract: 本发明提供一种双异质结双极晶体管结构，其依序包括：包含磷与铟的化合物构成的集电区层、基区层、及包含磷与铟的化合物半导体构成的发射区层，其中，所述基区层的材料包含多种都由铟、镓、砷及锑所组成的化合物，且每一种化合物包含的铟、镓、砷及锑组份与其他种化合物所包含的铟、镓、砷及锑都不相同，且每一种化合物中铟的组份与镓的组份比为∶（1-），砷的组份与锑的组份比为∶（1-），且所述基区层的能带结构从发射结处到集电结处由宽变窄，其中，，。该双异质结双极晶体管结构可以在降低发射结导带势垒、缓解阻挡电子注入问题的同时，在基区形成从发射结到集电结的内建电势差，有效减小电子在基区的渡越时间，有利于提高器件的频率特性。
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公开(公告)号：CN101964351A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010252352.8
申请日：2010-08-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种非硅基的肖特基二极管作为开关的相变存储器及方法，其特征在于所述的存储单元由一个基于化合物(如III-V族半导体GaAs)的肖特基二极管(SBD)和一个可逆相变电阻构成，该SBD具有50ns以下的开关速度，能提供1μA-5mA的电流，耐压能力达到10V以上，此外，SBD具有很强的抗辐照能力，基于结构变化的相变材料，在辐照情况下其阻值不会发生变化，从而实现了高速、低功耗、能提供大电流、耐压好、抗辐照的相变存储单元，由该相变存储单元构成存储阵列，加上SOI衬底上的外围电路，从而形成高速、抗辐照等性能优异的相变存储芯片。不同于目前基于半导体p-n结作为开关的相变存储器件的结构。
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公开(公告)号：CN117699786A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311836323.X
申请日：2023-12-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01B32/19 , C01B32/194
Abstract: 本发明涉及一种悬空石墨烯的制备方法，包括在衬底上旋涂剥离胶和光刻胶，经过曝光显影去除光刻胶和多余的剥离胶，将石墨烯和光刻胶的结合体转移到剥离胶上，经过曝光显影出现图形，刻蚀暴露的部分石墨烯，再一次旋涂光刻胶，再经过曝光显影去除多余光刻胶，在露出石墨烯的区域蒸发或溅射一层金属，然后去除光刻胶，最后去除剥离胶，即得。本发明可以精准实现不同形状不同尺寸的石墨烯悬空结构的制备，也可以应用于任意衬底，具有良好的推广应用前景。
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公开(公告)号：CN105486349A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201511015605.9
申请日：2015-12-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: G01D21/02 , B64C39/024 , G05D1/101 , G08C17/02
Abstract: 本发明涉及一种空间三维多参数分布测试系统及其实施方法，所述的额系统包括无线遥控的无人机，电控单元，减震单元和地面接收单元。通过所述系统的遥控器遥控无人机升降并实现自动数据采集和传输功能。主要特点：1、可时、空、物理多参数实时数据采集与传输，模块实现自动探测PM2.5，总挥发性有机物，温湿度，CO2，位置(x，y，z)数据，时间数据等多参数实时采集；2、采用三层电路板叠装优化结构设计，采用三层叠层工艺，立体布局，使电控单元体积减小；3、采用轻质高强度镁合金材料，保证电控单元重量小于500g；4、减震单元采用弹簧减震结构设计，减少震动对传感信号的精度影响，PM2.5传感器检测不确定度小于±10％；5、垂直高度分辨率达到0.25m。
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公开(公告)号：CN104833955A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201510101524.4
申请日：2015-03-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01S7/02
CPC classification number: G01S7/35 , G01S7/352 , G01S13/584 , G01S13/93
Abstract: 本发明涉及一种3mm波段小型探测器前端，包括3mm小型化双天线、发射支路、接收支路、微带功率分配器和本振源倍频链路。其中，3mm小型化双天线包括发射天线和接收天线；本振源倍频链路用于提供可调频的本振信号；微带功率分配器将本振信号分成两路，一路馈给发射支路提供振荡信号，另一路馈给接收支路提供本振输入；发射支路用于将微带功率分配器输出的一路信号再次进行倍频和放大，得到3mm波段射频信号送至发射天线进行发射；接收支路用于将接收天线收到的3mm波段回波信号放大，再与本振输入信号进行二次谐波有源混频得到中频输出信号。本发明解决现有波导结构3mm波段探测器前端成本高、集成度低、体积大的问题。
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