制造半导体封装件的方法及其使用的保护膜

    公开(公告)号:CN115831869A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211104779.2

    申请日:2022-09-09

    Abstract: 提供一种制造半导体封装件的方法及其使用的保护膜。所述方法包括:制备包括基膜和层压在所述基膜的表面上的保护层的保护膜;将所述保护膜安装在半导体晶片上,所述半导体晶片具有附接到切割带的后表面和与所述后表面相对定位的前表面,所述保护层设置在所述前表面上;用切割激光照射所述半导体晶片的所述后表面;从所述半导体晶片去除所述保护膜的所述基膜;将所述半导体晶片分割成各个半导体芯片;以及从所述各个半导体芯片去除所述保护层。

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