倒装芯片接合方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110854028B

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN201910752106.X

    申请日:2019-08-15

    Abstract: 一种倒装芯片接合方法,包括:获得裸片,其包括第一衬底和位于第一衬底上的粘合层;将裸片接合至不同于第一衬底的第二衬底;以及,固化粘合层。固化粘合层包括:加热第二衬底以熔化粘合层,以及向粘合层和第二衬底提供压强大于大气压强的空气。

    倒装芯片接合方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110854028A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201910752106.X

    申请日:2019-08-15

    Abstract: 一种倒装芯片接合方法,包括:获得裸片,其包括第一衬底和位于第一衬底上的粘合层;将裸片接合至不同于第一衬底的第二衬底;以及,固化粘合层。固化粘合层包括:加热第二衬底以熔化粘合层,以及向粘合层和第二衬底提供压强大于大气压强的空气。

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