一种抗电磁波天然面料的制备装置及其制造工艺

    公开(公告)号:CN105887031A

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201610287817.0

    申请日:2016-05-04

    发明人: 乔辉

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/56 C23C14/02

    摘要: 本发明提供一种抗电磁波天然面料的制备装置及其制造工艺,制备装置包括可开合的壳体,所述壳体内设置放卷辊和收卷辊,所述基布通过一溅射平台的表面,所述溅射平台的表面和底部分别由金属网和罩体构成,所述壳体上设置有抽气道和进气道,所述罩体连通所述抽气道,所述基布的另一侧设置有平行于所述溅射平台的基座,所述基座上设置有溅射靶,本发明通过真空冷凝基布的方式,使基布中纤维内的水分凝固和升华,在纤维内形成空穴,利用空穴中残余的水分蒸发时的反向力控制镀膜进入所述空穴的程度或者在空穴对应镀膜的位置形成孔洞,使镀膜后的基布即能有抗电磁波的性能也具有良好的透气性和吸湿性。

    一种氧化硅镀覆金刚石的方法

    公开(公告)号:CN105463375A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510913418.6

    申请日:2015-12-12

    申请人: 中原工学院

    IPC分类号: C23C14/10 C23C14/02

    摘要: 本发明公开了一种利用热处理在金刚石表面镀覆氧化硅涂层材料的方法,硅源可采用硅粉和硅块,纯度为99.0wt.%。被镀覆的金刚石颗粒的粒度为20~200微米。通过热处理蒸发硅源,使金刚石表面镀覆氧化硅,主要通过以下步骤制备而成:首先将硅粉和金刚石放入坩埚,金刚石颗粒下面放一个方形氧化铝垫块,然后再在坩埚上盖上一个氧化铝垫片,把坩埚置于管式炉中进行热处理。所述的热处理的升温速率为5~10℃/min,温度为1300~1500℃,保温时间为0.5~1h,升温速率为7℃/min,真空度约1~10Pa。所得金刚石颗粒产物表面即镀覆氧化硅涂层,本发明采用的热处理工艺简单、重复性好、产量高。

    制备用于太阳能电池的抗反射或钝化层的方法和装置

    公开(公告)号:CN101330114B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200810088068.4

    申请日:2008-03-31

    IPC分类号: H01L31/18

    摘要: 本发明涉及一种制备用于太阳能电池的抗反射和/或钝化涂层的方法,包括步骤:在沉积室中提供硅晶片;将所述硅晶片预加热至大于400℃的温度;通过溅射工艺沉积含氢抗反射或钝化涂层。本发明还涉及一种制造太阳能电池、优选在Si晶片上制备抗反射和/或钝化涂层的涂覆装置,所述涂覆装置优选用于进行本发明的方法,所述涂覆装置包括第一真空室(1)、第二真空室(2)和用于将衬底(5)依次传送通过所述第一和第二真空室的输送装置(4),所述第一真空室包括至少一个能够被加热以使加热丝温度为1800-3000℃的红外线辐射加热器(16),并且所述第二真空室包括用于蒸发靶材的溅射装置(12)以及用于引入含氢反应性气体的气体进口。