公开(公告)号：CN108728815A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810332198.1

申请日：2018-04-13

申请人： 通用电气公司

发明人： B.A.纳加拉

IPC分类号： C23C16/06 ,  C23C16/513 ,  C23C28/02 ,  C25D3/56 ,  C23C14/14

CPC分类号： B23P6/045 ,  B23P2700/06 ,  C22C19/058 ,  C22C30/00 ,  C23C10/04 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/221 ,  C23C14/5806 ,  C23C16/06 ,  C23C16/50 ,  C23C28/022 ,  C23C28/028 ,  F01D5/005 ,  F01D5/288 ,  F01D9/065 ,  F05D2260/202

摘要： 本申请提供一种在其中限定有薄膜孔的超合金部件的表面上形成涂布系统的方法。所述方法包括：在所述薄膜孔保持开放时，在所述超合金部件的所述表面上涂覆NiCoCrAlY以形成NiCoCrAlY层(例如，其中所述NiCoCrAlY层具有高于所述超合金部件的铬含量)，接着将所述NiCoCrAlY层加热到约900℃到约1200℃的处理温度，接着在所述NiCoCrAlY层上形成铂族金属层，且接着在铂族金属层上方形成铝化物涂层。所述NiCoCrAlY可以被涂覆到所述超合金部件的所述表面上的现有涂布系统上，其中所述现有涂布系统是大体上不含Ni的Co基涂布系统。

公开(公告)号：CN108374147A

公开(公告)日：2018-08-07

申请号：CN201810089595.0

申请日：2018-01-30

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金桢国 ,  任星淳 ,  黄圭焕 ,  金圣哲 ,  文英慜

IPC分类号： C23C14/30 ,  C23C14/02 ,  C23C14/14 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56

CPC分类号： C23C14/30 ,  C23C14/0005 ,  C23C14/02 ,  C23C14/042 ,  C23C14/14 ,  H01L51/56

摘要： 本发明涉及能够提升图案精度的掩模组件的制造方法，该方法包括以下步骤：准备载体衬底；在载体衬底上涂覆第一光致抗蚀剂；对第一光致抗蚀剂进行图案化以形成第一光致抗蚀剂图案；在载体衬底和第一光致抗蚀剂上涂覆第二光致抗蚀剂；对第二光致抗蚀剂进行图案化以形成第二光致抗蚀剂图案；在载体衬底上沉积金属层；去除布置在第一光致抗蚀剂图案和第二光致抗蚀剂图案上的金属层；以及将载体衬底与金属层分离以制造分割掩模，其中，第一光致抗蚀剂为正(positive)性光致抗蚀剂，而第二光致抗蚀剂为负(negative)性光致抗蚀剂。

公开(公告)号：CN108368600A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680067046.2

申请日：2016-11-04

申请人： 三菱日立工具株式会社

发明人： 府玻亮太郎 ,  久保田和幸 ,  福永有三

IPC分类号： C23C14/06 ,  B23B27/14 ,  C23C14/02 ,  C23C14/32 ,  C22C29/08

CPC分类号： C23C14/325 ,  B23B27/14 ,  C04B35/581 ,  C04B2235/3886 ,  C22C29/08 ,  C23C14/02 ,  C23C14/024 ,  C23C14/0676 ,  C23C28/044 ,  C23C30/005

摘要： 一种硬质涂层，该硬质涂层具有由(AlxTiyMz)aN(1-a-b)Ob表示的组成，其中M是Cr和Nb中的至少一种元素，并且x、y、z、a和b是按原子比分别满足0.6≤x≤0.8，0.05≤y≤0.38，0.02≤z≤0.2，x+y+z＝1，0.2≤a≤0.8和0.02≤b≤0.10的数，作为通过X射线光电子能谱鉴定的键合状态，该硬质涂层具有M-O键，而没有超过不可避免的杂质水平的Al-O键，并且该硬质涂层在其X射线衍射图中仅具有NaCl型结构。

公开(公告)号：CN108179378A

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201711396854.6

申请日：2017-12-21

申请人： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司

发明人： 蔡丰豪

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  C23C14/35 ,  C23C14/14 ,  C23C14/02 ,  H01L51/50 ,  H01L51/56

CPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/042 ,  C23C14/14 ,  C23C14/35 ,  C23C16/042 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/50

摘要： 本发明提供了一种金属光掩膜的制作方法，其包括步骤：在基板上制作形成正性光阻层；在所述正性光阻层上制作形成多个负性光阻块，相邻的两个所述负性光阻块之间具有间隔；在所述正性光阻层和所述负性光阻块上制作形成金属层；将所述正性光阻层和所述负性光阻块去除，以形成金属光掩膜。本发明的金属光掩膜的制作方法采用正性光阻和负性光阻做基板和金属层的中间介体，在完成金属层的制作之后可以将正负性光阻与金属层完全分离，从而制作过程简单且良率较高。

公开(公告)号：CN107419232A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201710317659.3

申请日：2017-05-08

申请人： 清华大学

发明人： 金杰 ,  邵天敏

IPC分类号： C23C14/48 ,  C23C14/02 ,  C21D6/04 ,  C21D9/32

CPC分类号： C23C14/48 ,  C21D6/04 ,  C21D9/32 ,  C23C14/02

摘要： 本发明公开了一周复合强化CSS-42L轴承钢及其齿轮以及它们的超低温离子注入复合强化方法。所述轴承钢的强化方法包括如下步骤：(1)采用气体离子束对轴承钢进行清洗；(2)采用低能大束流气体离子对经步骤(1)处理后的所述轴承钢进行离子轰击热处理；(3)采用离子注入方法，向经步骤(2)处理后的所述轴承钢的表面交替注入气体离子和金属离子；同时，采用液氮对所述轴承钢进行深冷强化处理，至此即实现对所述轴承钢的强化。本发明采用超低温离子注入强化CSS-42L轴承钢的方法，可以大幅度提高CSS-42L轴承钢的次深表层强化深度，显著提升其耐磨损、抗疲劳、强韧性、硬度等性能，在CSS-42L轴承钢次深表层形成强韧一体化材料改性层。

公开(公告)号：CN107210458A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680009995.5

申请日：2016-02-09

申请人： 新日铁住金株式会社

发明人： 樽谷芳男

IPC分类号： H01M8/021 ,  C22C13/00 ,  C22C28/00 ,  C22C38/46 ,  C22C38/48 ,  C22C38/50 ,  C23C14/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  C23F1/28 ,  C23G1/08 ,  H01M8/1018

CPC分类号： H01M8/0228 ,  C21D9/52 ,  C22C13/00 ,  C22C28/00 ,  C22C38/001 ,  C22C38/002 ,  C22C38/005 ,  C22C38/008 ,  C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/06 ,  C22C38/42 ,  C22C38/44 ,  C22C38/46 ,  C22C38/48 ,  C22C38/50 ,  C23C14/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/086 ,  C23C14/34 ,  C23F1/28 ,  C23F17/00 ,  C23G1/08 ,  C23G1/081 ,  C23G1/085 ,  H01M8/021 ,  H01M8/0215 ,  H01M8/1018 ,  H01M2008/1095

摘要： 一种固体高分子型燃料电池用分隔件，其具备：作为基材的铁素体系不锈钢，该铁素体系不锈钢的化学组成如下，以质量％计含有C:0.001～0.012％、Si:0.01～0.6％、Mn:0.01～0.6％、P:0.035％以下、S:0.01％以下、Cr:22.5～35.0％、Mo:0.01～4.5％、Ni:0.01～2.5％、Cu:0.01～0.6％、Sn:0.01～1.0％、In:0.001～0.30％、N:0.015％以下、V:0.01～0.35％、Al:0.001～0.050％，{Cr含量(％)+3×Mo含量(％)}的计算值为22.5～45.0％；表面改性层，其中，O:不足30％且余量:Sn以及In。具备该分隔件的固体高分子型燃料电池在电池内的环境下的抗蚀性格外优异。

公开(公告)号：CN106480402A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610390680.1

申请日：2016-06-02

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 市冈圣菜 ,  吉牟田利典 ,  徳田敏 ,  吉冈尚规 ,  上野智子 ,  尾崎悟

IPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/20 ,  C23C14/34

CPC分类号： H01J37/32715 ,  C23C14/34 ,  C23C14/564 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/34 ,  H01J37/3426 ,  C23C14/02 ,  C23C14/205

摘要： 本发明提供一种成膜装置及成膜方法，在聚碳酸酯上形成金属薄膜的情况下，能防止金属薄膜剥离，另外，在其他树脂上形成金属薄膜的情况下，能提高金属薄膜的反射率。在不会使水分附着于从树脂成型机(63)搬出的成型后的工件(W)的表面的60秒以内的短时间内，完成从树脂成型机(63)中的工件导入部(62)向成膜腔室件(W)的表面在成膜过程中发生水解，从而能防止通过溅射而形成的金属薄膜剥离这一现象。另外，通过减少附着于树脂基材的水分，能防止Al氧化而获得良好的反射率。(10)搬送工件(W)。由此，能防止聚碳酸酯制的工

公开(公告)号：CN106282949A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610629967.5

申请日：2016-08-04

申请人： 深圳市第四能源科技有限公司

发明人： 赵斌

IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  H01M2/14 ,  H01M2/16

CPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/02 ,  C23C14/0652 ,  H01M2/145 ,  H01M2/1646 ,  H01M2/1686

摘要： 本发明公开一种在锂电池用无纺布隔膜表面制备陶瓷膜的方法，该方法是将要处理的无纺布在净化房内分切成需要的尺寸后安装在设备的放卷辊上；开启Roll-Roll真空磁控溅射镀膜设备，调整设备至可镀膜工艺条件；开启离子源轰击聚酯无纺膜，将聚烃高分子键部分打开；在聚烃分子键打开的同时，开启中频溅射阴极，利用中频磁控溅射阴极反应溅射Si靶材，形成SixNy-陶瓷材料嵌入到被打开的聚烃分子键位置；形成陶瓷膜；在真空状态下进行退火处理，消除陶瓷膜应力；收-放卷连续溅镀；整卷镀膜完成；破真空；取下收券辊；取样检查性能；包装入库；本发明改善了无纺布隔膜的孔径尺寸、分布，提高无纺布隔膜热稳定性和机械强度的方法。

公开(公告)号：CN106244998A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610840612.0

申请日：2016-09-22

申请人： 铜陵市铜创电子科技有限公司

发明人： 沈艺辉

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C14/02

CPC分类号： C23C14/562 ,  C23C14/02

摘要： 本发明公开一种金属化薄膜加工用预热机构，包括连杆传动机构、加热器、第一伸缩装置；所述连杆传动机构包括固定杆、传动杆；所述固定杆中位置较高的一端通过第二升降机构设置在所述真空室的内顶壁上，所述固定杆中位置较低的一端与所述传动杆中位置较高的一端铰接，所述传动杆中位置较低的一端安装有所述加热器；所述第一伸缩装置的固定端铰接在所述第二升降机构与所述固定杆的连接区域上，所述第一伸缩装置的另一端与所述传动杆铰接。本发明具有的预热均匀、预热量可调的优点。

公开(公告)号：CN106048517A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610525962.8

申请日：2016-07-04

申请人： 东莞劲胜精密组件股份有限公司

发明人： 孙侥鲜 ,  唐臻 ,  王长明 ,  谢守德

IPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C25D11/02 ,  H05K5/02 ,  H05K5/04

CPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  C25D11/02 ,  H05K5/02 ,  H05K5/04

摘要： 本发明公开了一种具有金属质感的壳体及其制作方法、电子产品。具有金属质感的壳体的制作方法，包括以下步骤：S1，制备基材；所述基材为可用于表面镀膜的材料；S2，去除所述基材表面的污垢，对所述基材进行活化或者敏化处理；S3，在真空环境下，通过等离子体撞击金属靶材产生金属蒸汽，所述金属蒸汽以纳米层形式沉积在所述基材表面，在所述基材表面形成金属镀膜；S4，对表面形成有金属镀膜的基材进行阳极氧化处理，在所述基材的金属镀膜层上形成阳极氧化膜层。本发明的制作方法，基材材料的选择性大，可有效降低产品的材料成本；同时，工艺过程简单，制作成本较低。