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公开(公告)号:CN102549743B
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201080029038.1
申请日:2010-07-28
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L23/473
CPC classification number: H01L23/473 , H01L23/3735 , H01L2224/32225 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/00
Abstract: 提供了一种包括通过其获得良好的冷却效果的冷却单元的半导体模块。与从制冷剂导入口延伸的制冷剂导入流路和延伸到制冷剂排出口的制冷剂排出流路两者连通的多个冷却流路(21c)彼此平行地排列在冷却单元(20)中。翼片(22)排列在每个冷却流路(21c)中。半导体元件(32)和(33)排列在冷却单元(20)上,以使半导体元件(32)和(33)热连接到翼片(22)。通过这样做,形成半导体模块(10)。半导体元件(32)和(33)所产生的热被传导到排列在能够冷却流路(21c)的翼片(22),并且沿着每个冷却流路(21c)流动的制冷剂驱散。
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公开(公告)号:CN103890938A
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN201280050253.9
申请日:2012-09-05
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L23/373 , H01L23/473 , H05K7/20
CPC classification number: H01L23/473 , F28F3/02 , F28F3/12 , F28F9/026 , H01L23/3735 , H01L2924/0002 , H02M7/003 , H05K7/20927 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种能消除仅一部分半导体元件的温度上升,从而对半导体元件进行均匀且稳定的冷却的半导体模块用冷却器。该半导体模块用冷却器从外部向水套(2A)提供制冷剂,对配置在该半导体模块用冷却器外表面的半导体元件进行冷却。在水套(2A)的左侧壁(2Ab)上配置有导入口(24)及排出口(25),导入口部(21a)和排出口部(22a)均从相同的左侧壁(2Ab)突出。在作为第二流路的制冷剂排出流路(22)上配置有与翅片(2C)相平行的流速调节板(28),该制冷剂排出流路(22)以与作为第一流路的制冷剂导入流路(21)并排且隔开间隔的方式来进行配置。利用制冷剂冲击流路调节板(28)而产生的压力,可对翅片(2C)中的流速分布进行调整。
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公开(公告)号:CN102473694A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080034710.6
申请日:2010-07-15
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L23/373
CPC classification number: H05K7/2039 , H01L23/3672 , H01L23/3736 , H01L25/072 , H01L2224/32225 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/00
Abstract: 改进了半导体模块中所使用的散热构件的特性。形成包括含铝的铝型构件(20)和含铜的铜型构件(30)的散热构件(10A),铜型构件(30)嵌在铝型构件(20)中并且其侧面被铝型构件(20)包围。半导体元件热接合到散热构件(10A)以制造成半导体模块。散热构件(10A)包括铝型构件(20)和铜型构件(30)。因此,有可能实现轻的重量,同时确保特定的散热。此外,铜型构件(30)被铝型构件(20)包围。因此,可增加散热构件(10A)的强度。
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公开(公告)号:CN103890938B
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:CN201280050253.9
申请日:2012-09-05
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L23/373 , H01L23/473 , H05K7/20
CPC classification number: H01L23/473 , F28F3/02 , F28F3/12 , F28F9/026 , H01L23/3735 , H01L2924/0002 , H02M7/003 , H05K7/20927 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种能消除仅一部分半导体元件的温度上升,从而对半导体元件进行均匀且稳定的冷却的半导体模块用冷却器。该半导体模块用冷却器从外部向水套(2A)提供制冷剂,对配置在该半导体模块用冷却器外表面的半导体元件进行冷却。在水套(2A)的左侧壁(2Ab)上配置有导入口(24)及排出口(25),导入口部(21a)和排出口部(22a)均从相同的左侧壁(2Ab)突出。在作为第二流路的制冷剂排出流路(22)上配置有与翅片(2C)相平行的流速调节板(28),该制冷剂排出流路(22)以与作为第一流路的制冷剂导入流路(21)并排且隔开间隔的方式来进行配置。利用制冷剂冲击流路调节板(28)而产生的压力,可对翅片(2C)中的流速分布进行调整。
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公开(公告)号:CN107195604A
公开(公告)日:2017-09-22
申请号:CN201710057386.3
申请日:2017-01-26
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L23/473 , H01L23/40
CPC classification number: H01L23/473 , H01L21/50 , H01L23/053 , H01L23/3121 , H01L23/4006 , H01L23/42 , H01L25/072 , H01L25/115 , H01L2023/4031 , H01L2023/4087 , H01L2224/37147 , H01L2224/40227 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73263 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2023/4018
Abstract: 本发明提供与冷却部一体化而成的半导体模块。提供半导体模块,其具备:被冷却装置、安装有被冷却装置且具有供用于冷却被冷却装置的制冷剂流动的流路的第1冷却部、固定有第1冷却部且具有与第1冷却部的流路连结的流路的第2冷却部。另外,提供半导体模块的制造方法,其包括将被冷却装置安装到具有供用于冷却被冷却装置的制冷剂流动的流路的第1冷却部的阶段、将第1冷却部固定到具有与第1冷却部的流路连结的流路的第2冷却部。
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公开(公告)号:CN105940491A
公开(公告)日:2016-09-14
申请号:CN201580006839.9
申请日:2015-08-03
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L23/473 , H01L25/07 , H01L25/18 , H05K7/20
CPC classification number: H01L23/473 , H01L23/3672 , H01L23/3675 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L25/072 , H01L25/18 , H01L2224/291 , H01L2224/32225 , H01L2224/45655 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/13055 , H05K7/20927 , H01L2924/014 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012
Abstract: 半导体装置的冷却器(20)具有冷却液的导入部(27)和排出部(28)、导入路径(24)、排出路径(25)以及冷却用流路(26)。导入路径(24)和排出路径(25)具有非对称的俯视形状。导入路径(24)与导入部(27)之间的连接部(271)与冷却用流路(26)的位于在冷却器(20)上排列的多个电路基板(13)正下方的部分相对。排出路径(25)与排出部(28)之间的连接部(281)与冷却用流路(26)的位于在冷却器(20)上排列的多个电路基板(13)正下方的部分相对。
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公开(公告)号:CN102473694B
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201080034710.6
申请日:2010-07-15
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L23/373
CPC classification number: H05K7/2039 , H01L23/3672 , H01L23/3736 , H01L25/072 , H01L2224/32225 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/00
Abstract: 改进了半导体模块中所使用的散热构件的特性。形成包括含铝的铝型构件(20)和含铜的铜型构件(30)的散热构件(10A),铜型构件(30)嵌在铝型构件(20)中并且其侧面被铝型构件(20)包围。半导体元件热接合到散热构件(10A)以制造成半导体模块。散热构件(10A)包括铝型构件(20)和铜型构件(30)。因此,有可能实现轻的重量,同时确保特定的散热。此外,铜型构件(30)被铝型构件(20)包围。因此,可增加散热构件(10A)的强度。
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公开(公告)号:CN103858224A
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201280049849.7
申请日:2012-10-12
Applicant: 富士电机株式会社
IPC: H01L23/473 , H02M7/48 , H05K7/20
CPC classification number: H01L23/473 , F28F3/02 , F28F3/12 , F28F9/026 , H01L23/3735 , H01L2924/0002 , H02M7/003 , H05K7/20927 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种能消除仅一部分半导体元件的温度上升,从而均匀且稳定地对半导体元件进行冷却的半导体模块用冷却器。该半导体模块用冷却器从外部向水套(2A)提供制冷剂,对配置在其外表面的半导体元件进行冷却。在水套(2A)的左侧壁(2Ab)上配置有导入口(24)及排出口(25),导入口部(21a)和排出口部(22a)均从相同的左侧壁(2Ab)突出。在作为第二流路的制冷剂排出流路(22)上配置有与翅片(2C)相平行的流速调节板(28),该制冷剂排出流路(22)与作为第一流路的制冷剂导入流路(21)并排且隔开间隔进行配置。利用制冷剂冲击流路调节板(28)而产生的压力可对翅片(2C)中的流速分布进行调整。
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公开(公告)号:CN1266753C
公开(公告)日:2006-07-26
申请号:CN03107634.3
申请日:2003-03-20
Applicant: 富士电机株式会社
CPC classification number: H01L24/83 , B23K1/0016 , B23K1/008 , B23K1/206 , H01L24/32 , H01L24/75 , H01L2224/29111 , H01L2224/32145 , H01L2224/83101 , H01L2224/8319 , H01L2224/8385 , H01L2924/01004 , H01L2924/01006 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/014 , H01L2924/07802 , H01L2924/10253 , H01L2924/15787 , H01L2924/1579 , H01L2924/3025 , H05K1/0306 , H05K3/0058 , H05K3/341 , H01L2924/3512 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
Abstract: 为了获得在软焊连接层中无空隙的半导体器件,在短时间内实施软焊过程而焊接一层叠物,提供一种制造半导体器件的方法。其中,该层叠物包括一金属底板,一软焊料片,一绝缘体基底,一软焊料片,和一硅芯片。将该层叠物放置在一减压炉内,在炉内抽真空之后,炉内达到正压下的氢气气氛,以还原层叠物各个部件的表面,在加热和熔化软焊料之后,炉内达到真空气氛,以除去软焊料中的空隙,且炉内达到正压下的氢气气氛,以阻止隧道形孔通过空隙的流动形成在软焊料中,由此,获得一均匀的软焊角焊缝形。此后,快速冷却层叠物使软焊料结构变得更细密,由此,提高用作焊接绝缘体基底和金属底板的软焊料的蠕变速率,以快速将金属底板的翘曲恢复到原始的状态。
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