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公开(公告)号：CN118553451A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410298281.7
申请日：2024-03-15
Applicant: 核动力运行研究所 , 哈尔滨工业大学 , 中核武汉核电运行技术股份有限公司
IPC: G21C17/017 , F22B37/38
Abstract: 本发明属于无损检测技术领域，具体涉及一种高度集成的旋转式内孔夹持机构。包括夹持机构固定外壳、内孔加持脚趾、伸缩气缸，其中，夹持机构固定外壳一侧的上部连接有伸缩气缸，夹持机构固定外壳与伸缩气缸共同组成脚趾伸缩机构，实现脚趾伸出，内孔加持脚趾固定在脚趾伸缩机构末端。有益效果在于：本发明提出了一种高集成度的机械结构，其特点在于将电滑环、气滑环以及多个电磁阀集成在机构底部，提高了气动夹持机构内部空间的利用率，同时运用电滑环与气滑环降低了机构接线的难度。本发明中的具有被动转动自由度的内孔夹持机构，满足了蒸汽发生器传热管足式检修机器人足端自由度的要求。
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公开(公告)号：CN118143959A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410255663.1
申请日：2024-03-06
Applicant: 中核武汉核电运行技术股份有限公司 , 哈尔滨工业大学 , 核动力运行研究所
Abstract: 本发明属于无损检测技术领域，具体涉及一种节距可调的换热器检修机器人系统。包括基座模块、升降模块、旋转模块、滑动模块、调节模块和检修工具模块，所述的升降模块位于基座模块上方，旋转模块和滑动模块分别安装于升降模块的内侧和外侧，调节模块为两个，分别位于滑动模块的两端，检修工具模块安装在一侧调节模块的外侧。本发明的有益效果在于：构型简单、运动灵活，具有较高的运动灵活性和运动效率，同时具有较高的检修作业效率。
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公开(公告)号：CN116147557A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202211218821.3
申请日：2023-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种融合空间曲率特征的大型高速回转装备偏置参数测量方法属于精密测量与仪器技术领域；该方法首先获取包含有航空发动机轴承滚道(1)和航空发动机轴承端面(2)的原始点云测量数据，求得任一数据点的空间曲率值后，根据空间曲率值与设定阈值分割航空发动机轴承滚道(1)和航空发动机轴承端面(2)的点云数据；确定点云数据的质心及主方向的空间特征后，将原始点云数据展开至新坐标系下，分别以空间拟合圆柱及空间拟合平面对应航空发动机轴承滚道(1)和航空发动机轴承端面(2)的结构特征，利用拟合圆柱的中心轴线到空间拟合平面的平均距离求取偏置参数值；本发明实现了大型高速回转装备偏置参数的高精度测量。
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公开(公告)号：CN113949310B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111110516.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN113917795B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110621.1
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板；负压调节框架通过若干个调平螺栓与外部框架相连接；外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，外部框架的下端设有正压排气孔集群；外部框架的中部设有负压腔体，负压腔体的上端设有通槽，负压调节板位于通槽处并与通槽之间密封，负压腔体的边缘还设有与负压排气腔连通的负压排气孔。本发明实施例通过负压调节板的水平姿态改变调整气膜厚度，进而调节气浮模块的水平姿态，提高微动台的水平姿态精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113949310A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111110516.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N15/00
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬浮装置设于所述导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一磁悬浮组件，第一悬浮装置的底部设有第二磁悬浮组件；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三磁悬浮组件。本发明能够在抵消导轨及其各组件的重力影响的同时有效降低导向机构运动摩擦，并实现导轨的高精度磁力驱动，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
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公开(公告)号：CN113917797A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110625.X
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于六自由度控制的运动台及其控制方法，运动台包括基座、工作台和控制装置，工作台设置于基座的上方，工作台的下表面设置有多个凹槽，控制装置包括控制模块和安装在基座上的第一电机组、第二电机组、位置检测模块，第一电机组设置在工作台的侧面，用以驱动工作台在X方向、Y方向和Rz方向的运动，第二电机组和位置检测模块分别设置在所述凹槽中，第二电机组抵在工作台的底面，用以驱动工作台在Z方向、Rx方向和Ry方向的运动，位置检测模块检测工作台的实时位置；第一电机组、第二电机组、位置检测模块均与控制模块电连接。本发明可以实现对运动台运动的六自由度控制，从而提高对运动台的控制精度。
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公开(公告)号：CN113867106A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111110725.2
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的铰链摆放成菱形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的四个支撑组件呈正方形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的铰链使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN112285188A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011127131.8
申请日：2020-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01N27/416
Abstract: 本发明公开了一种管状吸嘴式电化学传感装置的使用方法，所述传感装置包括移液器、恒电位仪、信号处理设备以及吸管，所述吸管包括连接器、电极管以及吸嘴，所述电极管内壁设有多个电极槽，所述电极槽内分别设置有电极，所述电极通过连接器与恒电位仪相连，所述使用方法包括以下步骤：制备待测溶液；将移液器、恒电位仪、信号处理设备以及吸管组装成完整的传感装置；吸取待测溶液进行检测，记录相关数据；更换吸管进行重复测量，记录相关数据；将传感装置拆分保存，分析相关数据。
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公开(公告)号：CN111812171A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010679696.0
申请日：2020-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明是一种集成式光电化学传感电极，基底为导电玻璃，自下而上依次为工作电极、第一绝缘层、对电极、参比电极、第二绝缘层。本发明通过多步、多层印刷操作，将对电极及参比电极直接制备与工作电极同在一块导电玻璃的表面，实现了三电极体系的集成，构建了一种新型的光电化学传感器平台，可实现标准化，大规模生产，应用于医学辅助诊断，环境监控，食品安全等检测领域，比如检测尿酸，葡萄糖，C反应蛋白，病毒核酸等，应用范围广，检测精度高。
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