-
公开(公告)号：CN107527803B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201710737098.2
申请日：2017-08-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/28 , H01L21/285
Abstract: 本发明提供一种SiC器件栅介质层及SiC器件结构的制备方法，栅介质层的制备方法包括：提供一SiC基材，并将SiC基材置于ALD反应腔室中；将ALD反应腔室升温至适于后续所要形成的栅介质层生长的温度；采用ALD工艺于SiC基材表面形成栅介质层。通过上述技术方案，本发明的栅介质层在生长过程中，未消耗SiC外延片中的Si原子从而避免了栅介质薄膜与SiC界面处C族聚集的现象，提高了界面特性；本发明利用ALD技术形成栅介质层，热预算低，简化器件制备工艺过程；本发明的利用ALD技术形成的栅介质层临界击穿强度高，漏电小，具有较高的介电常数，可大幅降低引入栅介质薄膜中的电场强度，避免栅介质击穿。
-
公开(公告)号：CN108666981A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201710193706.8
申请日：2017-03-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02H7/20 , G01R19/165
CPC classification number: H02H7/20 , G01R19/16571
Abstract: 本发明提供一种IGBT过流保护电路及方法，包括：检测待测IGBT的米勒平台的米勒平台识别模块；采集待测IGBT的米勒平台栅极电压，并得到过流保护信号的米勒平台栅极电压提取模块；过流保护信号起效时，将待测IGBT关闭的IGBT栅驱动模块。检测待测IGBT的栅极电压，当检测到米勒平台时，提取待测IGBT的米勒平台栅极电压，并基于待测IGBT的米勒平台栅极电压判断待测IGBT的集电极是否过流，若过流，则关断待测IGBT，实现过流保护。本发明避免使用高压大电流器件，利用IGBT的米勒平台效应，以及IGBT的米勒平台栅极电流与IGBT的集电极电流存在的特定关系，通过检测IGBT的米勒平台栅极电压间接实现对IGBT的集电极电流进行检测，进而实现过流保护，检测成本低、占用体积小、效率高。
-
公开(公告)号：CN108508342A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810522926.5
申请日：2018-05-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明涉及一种IGBT短路过流检测电路，其包括：带通滤波器，其与所述第一IGBT的栅极连接；第一比较器，其与所述带通滤波器连接，并接收第一基准电压；T触发器，其与所述第一比较器连接，并输出第一逻辑信号；第二比较器，其与所述第一IGBT的栅极连接，并接收第二基准电压，输出第二逻辑信号；与门，其接收所述第一逻辑信号和第二逻辑信号，并输出硬开启错误检测信号；第三比较器，其与所述第一IGBT的栅极连接，并接收第三基准电压；以及RS触发器，其与所述第三比较器连接，并输出带载短路错误检测信号。本发明可以同时实现IGBT硬开启错误检测和IGBT带载短路检测，并且结构简单易行，节省成本。
-
公开(公告)号：CN105129788B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201510599025.2
申请日：2015-09-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01B32/184
Abstract: 本发明提供一种水基ALD诱使的可逆N型石墨烯制备方法，包括步骤：首先，提供一衬底，在所述衬底表面形成石墨烯层；然后将生长有所述石墨烯层的衬底置于ALD腔体中，并将所述ALD腔体温度升至设定值，并通入至少一个循环的去离子水，提高吸附在所述石墨烯层表面的H2O/O2分子对中H2O的浓度，从而使H2O/O2分子对中O2的浓度相对降低，形成N型石墨烯层。本发明的水基ALD诱使的可逆N型石墨烯制备方法，不会破坏石墨烯晶体结构，易于硅基集成，简单高效，且该法制备的N型石墨烯层具有可逆性，在高温退火下可被修复形成P型石墨烯层或本征石墨烯层。
-
公开(公告)号：CN105680107A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610150614.7
申请日：2016-03-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01M10/42 , H01L27/02 , H01L27/092
CPC classification number: H01L27/02 , H01L27/092 , H01M10/42
Abstract: 本发明提供一种基于SOI工艺的电池管理芯片电路，所述电池管理芯片电路包括高压多路选通器MUX、电压基准电路、Sigma-delta ADC（包括模拟调制器以及数字滤波器）、SPI通讯电路、以及功能控制电路与电压值寄存器。所述电池管理芯片电路为基于SOI高压工艺集成，尤其是所述电池管理芯片电路采用的高压MOS管为基于SOI工艺的高压MOS器件单元。另外，本发明重点突出了高压多路选通器MUX与Sigma-delta ADC的接口电路-斩波电路的设计，以阐述本发明采用SOI工艺设计与流片时会带来电路设计难度降低以及版图面积减小等诸多优势。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103700660A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201310676287.5
申请日：2013-12-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L27/092 , H01L21/8238 , B82Y10/00
Abstract: 本发明涉及一种全环栅CMOS场效应晶体管和制备方法，主要包括硅或SOI衬底和n型及p型高迁移率材料的无转移集成，设计三维多层高迁移率材料的结构及其外延生长，制备横向三维p型和n型单片集成纳米线阵列，得到全环栅CMOS场效应晶体管。本发明能够更好的满足10nm以下技术节点对器件性能提出的更高要求。
-
公开(公告)号：CN102201404B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110124788.3
申请日：2011-05-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L27/02 , H01L21/762
Abstract: 本发明公开了一种基于SOI的ESD保护器件及其制作方法。该ESD器件结构包括：SOI衬底，位于SOI衬底上的N阱区和P阱区，位于所述N阱区之上的阳极接触端以及位于所述P阱区之上的阴极接触端，其中，所述N阱区和P阱区之间形成横向的PN结，在所述PN结之上设有场氧区。本器件可以在ESD来临时，及时的泄放ESD电流，避免栅氧击穿或者大电流流入电路内部，造成电路损伤。可以通过调节器件参数来调整器件的触发电压和维持电压，使其可以用于不同内部电压的电路保护，避免功率局部集中。能够在HBM（人体模型）中实现抗ESD电压达到2KV以上，达到了目前人体模型的工业标准。
-
公开(公告)号：CN102184849B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201110106410.0
申请日：2011-04-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01L29/7781 , H01L29/1606 , H01L29/517
Abstract: 本发明提供一种石墨烯基场效应晶体管的制备方法，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底上具有石墨烯层，所述石墨烯层未经功能化处理；利用在所述石墨烯层表面物理吸附的水作为氧化剂与金属源反应生成金属氧化物薄膜，作为成核层；利用所述成核层，利用水作为氧化剂与铪源反应，在所述石墨烯层上生成HfO2栅介质层。相较于现有技术，本发明技术方案主要是利用物理吸附在石墨烯表面上的水作为氧化剂与金属源反应生成作为成核层的金属氧化物层，从而在后续采用原子层沉积工艺在石墨烯表面制备出均匀性和覆盖率较高的高质量HfO2栅介质薄膜，而不会在石墨烯晶格中引入会降低石墨烯基场效应晶体管性能的缺陷。
-
公开(公告)号：CN102969244A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210533291.1
申请日：2012-12-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/331 , H01L29/739
Abstract: 本发明提供一种SJ-IGBT器件结构及其制作方法，包括以下步骤：提供一衬底；在该衬底上形成漂移区并在该漂移区预设源端和漏端；提供一设有若干第一窗口的第一掩膜版，所述第一窗口的宽度沿源端到漏端方向依次增大；自上述第一窗口向所述漂移区进行N型离子注入；退火，在该漂移区形成离子浓度呈线性增加的N型漂移区；提供一设有若干第二窗口的第二掩膜版；自该第二窗口向所述N型漂移区进行P型离子注入，P型柱区离漏极区有一定距离，退火后形成间隔的P柱和N柱；最后形成沟道、源区、漏区和栅区域。本发明使N柱的浓度从源端到漏端逐渐增加，消除漂移区剩余电荷，由于P柱离漏极有一定的距离，因此降低了漂移区电荷不平衡对器件性能的影响，提高可靠性。
-
公开(公告)号：CN102130176B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201010619509.6
申请日：2010-12-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海新傲科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有缓冲层的SOI超结LDMOS器件，该器件包括SOI衬底和位于所述SOI衬底之上的有源区；所述有源区包括：栅区、分别位于所述栅区两侧的源区和漏区、位于所述栅区之下的体区、位于所述体区与所述漏区之间的漂移区；所述漂移区包括横向超结结构和位于所述横向超结结构上方的缓冲层。本发明将缓冲层设于漂移区上方，可以缓解衬底辅助耗尽效应对SOI超结LDMOS漂移区电荷平衡的影响，提高器件的击穿电压，并且使制作缓冲层时的掺杂深度大幅变浅，不仅降低了杂质的注入能量，而且更容易实现漂移区杂质的均匀分布，工艺难度大大降低。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
161
records
(took 0.098 seconds)
