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公开(公告)号：CN119492691A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202311059430.6
申请日：2023-08-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光声传感器及其制作方法，该光声传感器包括：第一衬底、条形波导、平板波导及振动膜，其中第一衬底包括依次层叠的基底、埋氧层、顶层半导体层及介质层；条形波导位于埋氧层上方，包括间隔第一预设距离的环形部以及条形部，条形波导周围设有显露出埋氧层且隔离顶层半导体层与条形波导的外围间隙，环形部的内圆环绕区域与环形部主体构成显露出埋氧层的空腔；平板波导位于条形波导上方，且平板波导下表面与条形波导上表面间隔第二预设距离；振动膜位于环形部上方且覆盖平板波导上表面。本发明的光声传感器及其制作方法，制作工艺与CMOS工艺兼容，简化了制作工艺，提升了光声传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN107947774B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201711144435.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H03K17/16 , H03K17/567 , H03K17/687
Abstract: 本发明提供一种用于IGBT栅极驱动芯片的LDMOS电平移位dv/dt噪声抑制电路，其中该IGBT栅极驱动芯片包括低压侧窄脉冲产生模块、LDMOS电平移位模块和输出驱动模块，且该输出驱动模块的输出端通过一栅极电阻与一待驱动的IGBT的栅极相连，其特征在于，该噪声抑制电路包括：电压检测电路，其输入端接所述IGBT的栅极；下拉电路，其输入端接所述电压检测电路的输出端；RS触发器，其R端接所述下拉电路的第一输出端，S端接所述下拉电路的第二输出端，Q端接所述输出驱动模块的输入端。本发明利用dv/dt噪声和IGBT栅极电压之间存在的特定关系，通过检测IGBT栅极电压的变化区间实现对dv/dt噪声的滤除。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108508342A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810522926.5
申请日：2018-05-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明涉及一种IGBT短路过流检测电路，其包括：带通滤波器，其与所述第一IGBT的栅极连接；第一比较器，其与所述带通滤波器连接，并接收第一基准电压；T触发器，其与所述第一比较器连接，并输出第一逻辑信号；第二比较器，其与所述第一IGBT的栅极连接，并接收第二基准电压，输出第二逻辑信号；与门，其接收所述第一逻辑信号和第二逻辑信号，并输出硬开启错误检测信号；第三比较器，其与所述第一IGBT的栅极连接，并接收第三基准电压；以及RS触发器，其与所述第三比较器连接，并输出带载短路错误检测信号。本发明可以同时实现IGBT硬开启错误检测和IGBT带载短路检测，并且结构简单易行，节省成本。
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公开(公告)号：CN110262614B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201910634838.9
申请日：2019-07-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G05F1/567
Abstract: 本发明公开了一种基准电压温度系数修调方法、装置及终端，所述的方法包括：获取第一修调电阻的第一码值和第二修调电阻的第二码值；获取第一码值的温度特性曲线的斜率、第二码值的温度特性曲线的斜率以及第一码值和第二码值之间数值的差值；根据第一码值的温度特性曲线的斜率、第二码值的温度特性曲线的斜率以及第一码值和第二码值之间的数值的差值，获得修调步长；获得第一预设斜率值，并根据第一预设斜率值和修调步长，以及第一码值的温度特性曲线的斜率或第二码值的温度特性曲线的斜率，获得与第一预设斜率值对应的理论码值，理论码值为正数；根据理论码值获得最低温度系数的码值；基于最低温度系数的码值，对每一个芯片的温度系数进行修调。
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公开(公告)号：CN107947774A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711144435.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H03K17/16 , H03K17/567 , H03K17/687
Abstract: 本发明提供一种用于IGBT栅极驱动芯片的LDMOS电平移位dv/dt噪声抑制电路，其中该IGBT栅极驱动芯片包括低压侧窄脉冲产生模块、LDMOS电平移位模块和输出驱动模块，且该输出驱动模块的输出端通过一栅极电阻与一待驱动的IGBT的栅极相连，其特征在于，该噪声抑制电路包括：电压检测电路，其输入端接所述IGBT的栅极；下拉电路，其输入端接所述电压检测电路的输出端；RS触发器，其R端接所述下拉电路的第一输出端，S端接所述下拉电路的第二输出端，Q端接所述输出驱动模块的输入端。本发明利用dv/dt噪声和IGBT栅极电压之间存在的特定关系，通过检测IGBT栅极电压的变化区间实现对dv/dt噪声的滤除。
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公开(公告)号：CN108508342B
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201810522926.5
申请日：2018-05-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明涉及一种IGBT短路过流检测电路，其包括：带通滤波器，其与所述第一IGBT的栅极连接；第一比较器，其与所述带通滤波器连接，并接收第一基准电压；T触发器，其与所述第一比较器连接，并输出第一逻辑信号；第二比较器，其与所述第一IGBT的栅极连接，并接收第二基准电压，输出第二逻辑信号；与门，其接收所述第一逻辑信号和第二逻辑信号，并输出硬开启错误检测信号；第三比较器，其与所述第一IGBT的栅极连接，并接收第三基准电压；以及RS触发器，其与所述第三比较器连接，并输出带载短路错误检测信号。本发明可以同时实现IGBT硬开启错误检测和IGBT带载短路检测，并且结构简单易行，节省成本。
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公开(公告)号：CN110262614A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201910634838.9
申请日：2019-07-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G05F1/567
Abstract: 本发明公开了一种基准电压温度系数修调方法、装置及终端，所述的方法包括：获取第一修调电阻的第一码值和第二修调电阻的第二码值；获取第一码值的温度特性曲线的斜率、第二码值的温度特性曲线的斜率以及第一码值和第二码值之间数值的差值；根据第一码值的温度特性曲线的斜率、第二码值的温度特性曲线的斜率以及第一码值和第二码值之间的数值的差值，获得修调步长；获得第一预设斜率值，并根据第一预设斜率值和修调步长，以及第一码值的温度特性曲线的斜率或第二码值的温度特性曲线的斜率，获得与第一预设斜率值对应的理论码值，理论码值为正数；根据理论码值获得最低温度系数的码值；基于最低温度系数的码值，对每一个芯片的温度系数进行修调。
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