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公开(公告)号：CN115069931A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210589539.X
申请日：2022-05-26
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: B21F1/02
Abstract: 本发明提供了一种石英谐振器管脚校准装置、校准工装的确定方法及石英谐振器管脚的校准方法，属于管脚校准技术领域，包括具有吸附孔的持件台、可吸附于持件台上的校准工装、夹持矫直机构以及定位凸轮；夹持矫直机构设置于持件台上且对称于校准工装的左右两侧，包括线性执行器及连接于线性执行器的夹爪；定位凸轮其偏心轴转动连接于持件台上，且对称于校准工装的左右两侧；夹爪推动定位凸轮直至夹爪抵顶校准工装，即可获得石英谐振器管脚的矫直位置。本实施例提供以半自动化的校准装置替代目前全人工目视手动调整石英谐振器管脚的技术手段，可以提高管脚校准的垂直度的准确性，避免在进行电阻焊工艺时压伤管脚造成产品报废。
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公开(公告)号：CN115218854A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210741742.4
申请日：2022-06-27
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本申请适用于面轮廓度误差评定技术领域，提供了一种非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备。该方法包括：获取待测零件的测量环面与理想环面，测量环面包括待测零件的实测点，理想环面包括理想环面参数；根据坐标变换参数对实测点进行坐标变换处理得到测点；将理想环面等弧长细分，确定测点在理想环面上最近的对应点，在该对应点位于理想环面的边缘区域和非边缘区域时，采用不同算法计算测点到理想环面的最小距离；根据最小距离构建基于坐标变换参数和理想环面参数的环面轮廓度误差函数作为目标函数，基于差分进化算法对目标函数求解，确定环面轮廓度误差。本申请能够准确计算具有非完整环面结构的工业零件的环面轮廓度误差。
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公开(公告)号：CN114864369A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210347987.9
申请日：2022-04-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01J37/32 , H01L21/3065 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及半导体加工工艺技术领域，尤其涉及一种防护晶圆片刻蚀损伤的装置及方法，本发明防护晶圆片刻蚀损伤的装置包括有屏蔽环以及陶瓷环，屏蔽环上表面楔面设计，降低了反射功率以及刻蚀均匀性的影响。在屏蔽环的侧面设有孔，避免晶圆片表面光刻胶因热量不及时散出导致的变形、开裂或者褶皱。通过适配陶瓷环与晶圆片的高度，使得在屏蔽环与晶圆片之间存有宽度合理的间隙，以保证较佳的防护效果。在陶瓷环上设有凹槽，通过凹槽限位屏蔽环，防止屏蔽环在陶瓷环上发生移动，影响保护效果。本发明防护晶圆片刻蚀损伤的方法仅在晶圆片加工时随晶圆片一起进出反应腔体，大大降低长期置于腔体内的保护装置的材料和结构对设备、工艺的影响。
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公开(公告)号：CN114156150A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111341201.4
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01J37/08
Abstract: 本发明提供了一种考夫曼离子源装置及其控制方法，属于离子束刻蚀技术领域，考夫曼离子源装置包括：放电室；电源连接组件，包括设于放电室外的灯丝电源，以及与灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个电源触点结构分别设于放电室相对的两侧壁，且两个电源触点结构均伸入放电室内；两个灯丝固定组件，两个灯丝固定组件均包括设于放电室内的固定底座，与固定底座连接的固定仓，与固定仓移动配合的移动仓，以及设于移动仓的至少两个灯丝触点端子；平移驱动组件，与两个移动仓均连接；以及至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个移动仓的灯丝触点端子之间；电源触点结构与灯丝固定组件的位置相对应，在平移驱动组件的作用下，实现不同阴极灯丝的更换。
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公开(公告)号：CN115388334B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202210966818.3
申请日：2022-08-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: F17D3/01 , F17D3/18 , F17D5/06 , F17D5/00 , B01D35/02 , B01D29/05 , B01D29/90 , B01D29/60 , B01D19/00
Abstract: 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路系统及循环管路控制方法，本发明公开了一种循环管路系统，设有受控制器控制的进出口管控单元，控制器接收进出口流量信号，当流量差较大时，控制器输出关闭工作管路进出口的命令，防止事态扩大。本发明实施方式还在工作管路上铺设有漏液定位装置，通过系统中的漏液定位装置，可以定位工作管路中的漏点和渗点，减少了排查的工作量，将隐患消除在萌芽状态。在工作管路进水侧和回水侧设有多个阀门，可以实现在不影响工作管路工作状态的前提下，实现对进水侧和回水侧的零件的维修、更换。减少了停机时间，增加了维修检查的作业效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115218854B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202210741742.4
申请日：2022-06-27
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本申请适用于面轮廓度误差评定技术领域，提供了一种非完整环面轮廓度误差确定方法、装置及终端设备。该方法包括：获取待测零件的测量环面与理想环面，测量环面包括待测零件的实测点，理想环面包括理想环面参数；根据坐标变换参数对实测点进行坐标变换处理得到测点；将理想环面等弧长细分，确定测点在理想环面上最近的对应点，在该对应点位于理想环面的边缘区域和非边缘区域时，采用不同算法计算测点到理想环面的最小距离；根据最小距离构建基于坐标变换参数和理想环面参数的环面轮廓度误差函数作为目标函数，基于差分进化算法对目标函数求解，确定环面轮廓度误差。本申请能够准确计算具有非完整环面结构的工业零件的环面轮廓度误差。
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公开(公告)号：CN115758599A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211248121.9
申请日：2022-10-12
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供一种回转体零件轮廓度误差计算方法及电子设备。该方法包括：对回转体零件中回转面上的每个测量点进行坐标变换处理，得到每个测量点的第一坐标；建立理想回转面模型，并对理想回转面模型进行区域划分，得到标准区域和逼近区域；当测量点处于标准区域时，根据标准区域内理想回转面的几何性质，计算该测量点到标准区域内的理想回转面的最小距离；当测量点处于逼近区域时，根据测量点的第一坐标，分别计算该测量点到各个细分面的第一距离，将第一距离中的最小值确定为该测量点到该逼近区域内的理想回转面的最小距离；基于最小距离，确定回转体零件的回转面轮廓度误差。本发明能够可以准确计算回转体零件中复合回转面的回转面轮廓度误差。
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公开(公告)号：CN115388334A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210966818.3
申请日：2022-08-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: F17D3/01 , F17D3/18 , F17D5/06 , F17D5/00 , B01D35/02 , B01D29/05 , B01D29/90 , B01D29/60 , B01D19/00
Abstract: 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路系统及循环管路控制方法，本发明公开了一种循环管路系统，设有受控制器控制的进出口管控单元，控制器接收进出口流量信号，当流量差较大时，控制器输出关闭工作管路进出口的命令，防止事态扩大。本发明实施方式还在工作管路上铺设有漏液定位装置，通过系统中的漏液定位装置，可以定位工作管路中的漏点和渗点，减少了排查的工作量，将隐患消除在萌芽状态。在工作管路进水侧和回水侧设有多个阀门，可以实现在不影响工作管路工作状态的前提下，实现对进水侧和回水侧的零件的维修、更换。减少了停机时间，增加了维修检查的作业效率。
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公开(公告)号：CN115355455A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210960560.6
申请日：2022-08-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: F17D5/06
Abstract: 本发明涉及循环管路运行监控技术领域，尤其涉及一种循环管路漏液定位装置、系统及定位方法，本发明循环管路漏液定位装置，其设有电阻丝及导线，电阻丝和导线通过固定架固定于管路上，在管路泄露时，使得原彼此绝缘的电阻丝和导线产生电连接，从而改变电阻丝与导线之间的阻值。当管路上设有多个定位装置时，可根据电阻值，确定管路的漏点位置，因此，减少了管路寻找漏点的工作，提高了检查管路漏点的效率。本发明实施方式还公开了一种循环管路漏液定位方法，通过获取对应拓扑结构中进口和出口的阻值，通阻值所在的区间，划分出三个不同的段，根据阻值通过拓扑分析确定漏点位置，定位精度高，减少了排查的难度。
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公开(公告)号：CN115296574A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210981529.0
申请日：2022-08-15
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本申请适用于感应电机参数辨识技术领域，提供了基于稳态T型等效电路的感应电机参数辨识方法和装置，该方法包括：获取电机系统的数据参数，建立稳态T型等效电路，得到电机系统的理论阻抗，数据参数包括：电压值、电流值、定子电阻、转子电阻、励磁电感、定子漏感、转子漏感、输入相电压的角频率、转速和转差率中的至少部分参数；对电压值、电流值和转速进行快速傅里叶变换，得到第一处理信息；基于第一处理信息计算得到电机系统的实测阻抗；基于理论阻抗、实测阻抗和量子粒子群算法，得到电机辨识参数。本申请中的参数辨识方法与已有方法相比，收敛过程更快，不容易陷入局部最优点，能够实现更准确的参数估计精度，同时能够实现电机参数的在线实时辨识。
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