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公开(公告)号：CN108529553B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201810296533.7
申请日：2018-04-01
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种石墨烯高温压力传感器封装方法，主要结构包括纳米膜、基片、互连电极、互连凸点、互连焊盘、密封环、封装外壳、陶瓷基座、引线柱、无氧真空腔。基片上表面刻蚀形成倒梯形结构，基片下表面设置纳米膜，纳米膜由两层氮化硼及夹在其中的石墨烯组成，氮化硼可为石墨烯提供附着载体和隔离保护。采用Au‑Au直接键合技术使基片与基座形成真空腔，为纳米膜提供无氧环境，并可在900℃下保持密封。此封装方法封装结构可靠，保障无氧真空环境，将传感器的使用温度提高至900℃。
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公开(公告)号：CN107640735A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201710605343.4
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及MEMS器件制造领域，特别涉及实用化射频MEMS开关的制造方法。主要包括硅片清洗、高阻硅片表面氮化硅的生长、共面波导电镀、上电极极板电镀、铝制下拉电极的制作、牺牲层释放。采用本发明的技术方案制造的射频MEMS开关，射频MEMS开关下接触电极平整度较高具有成品率相对较高、开关寿命相对较长，插入损耗较低、隔离度较高。
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公开(公告)号：CN107393767A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710607507.7
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 一种T型双悬臂梁式单刀双掷开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成，微波传输线和驱动电极设置在衬底上，上电极为双悬臂梁、中间锚点支撑左右各一个悬臂梁结构，下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点，从力学方面讲，可减小上电极因静电力作用快速下拉时对下电极产生的撞击力，起到缓冲作用，从而保护触点和上电极，可增强有效接触，避免弱接触带来的烧蚀和粘连，当在第一驱动电极上施加驱动电压时，上电极在静电力的作用下发生下拉至与触点接触，此时开关处于导通状态，第二驱动电极上方的上电极翘起，既增大了开关的隔离度，防止了上下电极之间的自吸合，同时也增强了开关寿命和微波性能。
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公开(公告)号：CN107121151A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710245898.2
申请日：2017-04-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及稳定平台教学实验的技术领域，具体涉及一种面向实验教学的稳定平台测试装置及测试方法,S1：给稳定平台提供一非水平干扰信号源，计算获得稳定平台的俯仰角α1、横滚角β1；S2：稳定平台调节自身姿态，保持平台处于稳定平衡状态，并通过电机码盘获得测量稳定平台的俯仰角α2、横滚角β2；S3：计算比较α1与α2的误差，β1与β2的误差，获得稳定平台的整体误差水平，完成教学试验。因此，所述测量方法的非水平干扰信号源技术原理简单，经济效益明显，易于教学推广，应用领域广泛。
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公开(公告)号：CN103592464B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310546176.2
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本发明公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本发明的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号，结构合理，灵敏度高,数字化输出,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。可有效解决高过载型传感器存在的低灵敏度、低有效分辨率、高检测阈值下限等难题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103557854A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310546139.1
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5726
CPC classification number: G01C19/5726 , G01C19/5733 , G01C19/5747
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向相对，差分耦合输出，结构合理、紧凑，应用纳米光栅检测，抗电磁干扰能力强，且具有灵敏度高、可靠性好的优势。
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公开(公告)号：CN103364585A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310305527.0
申请日：2013-07-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 一种新型介观压阻效应微加速度计，主要结构由键合基板、敏感质量块、支撑框体、共振隧穿器件、组合梁组成，共振隧穿器件由共振隧穿材料薄膜层、共振隧穿器件正极、共振隧穿器件负极组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成；以键合基板为载体，在键合基板上键合有支撑框体，支撑框体的四边中心位置处连接有组合梁，组合梁连接于敏感质量块的四边中心部位，另一侧与支撑框体相连，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成。共振隧穿材料薄膜层形成多势垒压敏结构，可使硅压阻器件的灵敏度提高1-2个数量级，根据本发明实施例的微加速度计，结构合理紧凑，检测方便，精度高，可靠性好，适合微型化，具有很强的抗横向作用。
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公开(公告)号：CN102854339A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210330512.5
申请日：2012-09-07
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/105
Abstract: 本发明公开了一种巨磁阻效应微加速度传感器，主要结构包括：键合基板；铁磁性薄膜，铁磁性薄膜设在键合基板上的矩形凹槽，即底槽中；和加速度敏感体，加速度敏感体设在键合基板上方并与键合基板相连接，且加速度敏感体包括：对应设在底槽上方的敏感质量块；敏感质量块上表面设有巨磁敏电阻且巨磁敏电阻与铁磁性薄膜位置对应；敏感质量块四周的悬臂梁，以及悬臂梁外侧的支撑框体。巨磁敏电阻层可随敏感质量块沿垂直于所述铁磁性薄膜上表面的方向振动。根据本发明实施例的微机械加速度传感器采用整体结构设计，结构合理，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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公开(公告)号：CN102680738A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210057647.9
申请日：2012-03-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计，主要结构由键合基底、敏感质量块、固定外框、组合梁、硅纳米线电阻、凹槽、阻尼孔组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成，硅纳米线电阻由硅纳米带电阻层、硅纳米带电阻正极、硅纳米带电阻负极组成；以键合基底为载体，在键合基底上键合有固定外框，固定外框的四边中心位置处连接有组合梁，组合梁连接于敏感质量块的四角部位，且内嵌于组合梁运动空间内，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成，结构设计紧凑，既能充分利用空间，适合器件微型化，又能抗击横向干扰，提高检测精度，硅纳米带电阻由硅纳米带电阻层、硅纳米带电阻正极、硅纳米带电阻负极组成，硅纳米带电阻层所具有巨压阻效应比传统的硅压阻器件的压阻灵敏度高约2个数量级，可大幅提高硅压阻式传感器的检测灵敏度和分辨率。
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公开(公告)号：CN102680147A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210058424.4
申请日：2012-03-07
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 一种基于约瑟夫逊效应的压阻式力敏器件，主要由固定基座、悬臂梁、约瑟夫逊器件、压敏电阻、频率检测电路、频谱分析仪组成，悬臂梁的一端连接于固定基座，悬臂梁的根部掺杂有压敏电阻，固定基座与悬臂梁连接的邻近区域也掺杂有压敏电阻，固定基座上还制作有约瑟夫逊器件，约瑟夫逊器件由硅衬底层、二氧化硅层、铅层、氧化铅层、铜层、铅层组成，此检测方法将约瑟夫逊结对电压的超灵敏性应用于压阻式器件的电压信号的检测，将直流能量信号转变成交流能量信号，通过对交流能量信号的频率检测即可实现对微小电压信号的检测，其分辨率可比传统压阻式信号检测方法提高2-3数量级，检测方便、数据翔实可靠，是一种十分新颖的压阻式电压信号的检测方法。
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