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发明授权
一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计失效

公开(公告)号：CN103592464B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201310546176.2

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 , 刘丽双 , 王莉 , 白晓晓 , 杜康 , 刘俊 , 程壑 , 薛梅 , 靳樱子

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本发明的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号，结构合理，灵敏度高,数字化输出,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。可有效解决高过载型传感器存在的低灵敏度、低有效分辨率、高检测阈值下限等难题。

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