公开(公告)号：CN103543292B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201310547838.8

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  褚伟航 ,  蒋孝勇 ,  程壑 ,  刘俊 ,  李博 ,  黄用

IPC: G01P15/125 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本发明的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

公开(公告)号：CN103592464B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201310546176.2

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  刘丽双 ,  王莉 ,  白晓晓 ,  杜康 ,  刘俊 ,  程壑 ,  薛梅 ,  靳樱子

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本发明的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号，结构合理，灵敏度高,数字化输出,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。可有效解决高过载型传感器存在的低灵敏度、低有效分辨率、高检测阈值下限等难题。