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公开(公告)号：CN105180914A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510691222.7
申请日：2015-10-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
CPC classification number: G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本发明涉及微惯性导航技术领域，具体涉及一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺。所述微机械陀螺包括嵌放有永磁体的基板及置于基板上侧的陀螺敏感机构；所述陀螺敏感机构包括一降低驱动方向及检测方向信号耦合影响的分体式质量块结构；所述分体式质量块结构包括一内质量块及一外质量块，所述内质量块与外质量块通过检测梁连接。本发明将隧道磁阻效应检测与陀螺哥氏效应相结合，结构简单、合理、紧凑，适合于微小型化。
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公开(公告)号：CN105180914B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510691222.7
申请日：2015-10-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本发明涉及微惯性导航技术领域，具体涉及一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺。所述微机械陀螺包括嵌放有永磁体的基板及置于基板上侧的陀螺敏感机构；所述陀螺敏感机构包括一降低驱动方向及检测方向信号耦合影响的分体式质量块结构；所述分体式质量块结构包括一内质量块及一外质量块，所述内质量块与外质量块通过检测梁连接。本发明将隧道磁阻效应检测与陀螺哥氏效应相结合，结构简单、合理、紧凑，适合于微小型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103543292B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201310547838.8
申请日：2013-11-06
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本发明的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。
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公开(公告)号：CN105066979A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510465969.0
申请日：2015-07-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5649 , G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本发明将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
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公开(公告)号：CN102633227B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210071296.7
申请日：2012-03-16
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置，主要由阻尼帽、键合衬底、二氧化硅层、氮化硅层、键合金属层、电阻正极、电阻负极、上极板电极、下极板电极、固定基座、硅弹性膜、凹腔、上极板金属层、下极板金属层、上极板金属层引出线、下极板金属层引出线、环形电阻、环形电阻正极引出线、环形电阻负极引出线组成，在键合衬底上制作有2组加热环形电阻和1对静电金属极板，可使待调器件的压膜阻尼系数减小或增加1-2个数量级，从实现对MEMS传感器Q值的封装后调制，此装置结构设计紧凑、巧妙，操作方便、响应迅速、可调精度高。
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公开(公告)号：CN205175411U
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201520822683.9
申请日：2015-10-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本实用新型涉及微惯性导航技术领域，具体涉及一种面内检测的高Q值隧道磁阻效应的微机械陀螺。所述微机械陀螺包括嵌放有永磁体的基板及置于基板上侧的陀螺敏感机构；所述陀螺敏感机构包括一降低驱动方向及检测方向信号耦合影响的分体式质量块结构；所述分体式质量块结构包括一内质量块及一外质量块，所述内质量块与外质量块通过检测梁连接。本实用新型将隧道磁阻效应检测与陀螺哥氏效应相结合，结构简单、合理、紧凑，适合于微小型化。
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公开(公告)号：CN204988292U
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201520572390.X
申请日：2015-07-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656
Abstract: 本实用新型涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本实用新型将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
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