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公开(公告)号：CN106199069B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN201610562496.0
申请日：2016-07-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明涉及加速度检测技术领域，提供了一种高精度双层纳米光栅三轴加速度检测装置，包括凸台、3轴加速度敏感结构、光电探测器阵列；凸台上布置有固定纳米光栅，凸台下方布置有对应的激光光源阵列，3轴加速度敏感结构包括分别检测X、Y、Z轴加速度的纳米光栅加速度敏感结构，位于凸台上方，纳米光栅加速度敏感结构上设有与固定纳米光栅对应的可动纳米光栅，3轴加速度敏感结构通过连接块与凸台可移动连接；激光光源阵列、固定纳米光栅、可动纳米光栅、光电探测器阵列自下而上对应布置在一条竖直轴线上。本发明的有益效果为：能同时检测三轴方向的加速度，精度高，使用惰性气体封装，寿命长，微型化、集成化、多功能，适于推广应用。
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公开(公告)号：CN106524921B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201610967318.6
申请日：2016-11-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，所述微位移检测装置包括位移传感模块、处理单元、显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括能相对移动的双层纳米光栅,所述双层纳米光栅包括可动纳米光栅阵列和固定纳米光栅，并所述可动纳米光栅阵列由多个纳米光栅区域拼接而成，并多个所述光栅区域间留有一定间距；所述处理单元包括一细分电路，所述细分电路可提高该光电探测器阵列输出信号的分辨率。本发明与现有微米级的光栅周期相比，其光栅周期更小，提高了光栅检测微位移的精度；通过对可动纳米光栅阵列的光栅区域拼接，量程更大；整体结构紧凑，微型化程度高，实用性更强。
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公开(公告)号：CN106199069A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610562496.0
申请日：2016-07-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/093
CPC classification number: G01P15/093
Abstract: 本发明涉及加速度检测技术领域，提供了一种高精度双层纳米光栅三轴加速度检测装置，包括凸台、3轴加速度敏感结构、光电探测器阵列；凸台上布置有固定纳米光栅，凸台下方布置有对应的激光光源阵列，3轴加速度敏感结构包括分别检测X、Y、Z轴加速度的纳米光栅加速度敏感结构，位于凸台上方，纳米光栅加速度敏感结构上设有与固定纳米光栅对应的可动纳米光栅，3轴加速度敏感结构通过连接块与凸台可移动连接；激光光源阵列、固定纳米光栅、可动纳米光栅、光电探测器阵列自下而上对应布置在一条竖直轴线上。本发明的有益效果为：能同时检测三轴方向的加速度，精度高，使用惰性气体封装，寿命长，微型化、集成化、多功能，适于推广应用。
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公开(公告)号：CN106524921A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201610967318.6
申请日：2016-11-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，所述微位移检测装置包括位移传感模块、处理单元、显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括能相对移动的双层纳米光栅,所述双层纳米光栅包括可动纳米光栅阵列和固定纳米光栅，并所述可动纳米光栅阵列由多个纳米光栅区域拼接而成，并多个所述光栅区域间留有一定间距；所述处理单元包括一细分电路，所述细分电路可提高该光电探测器阵列输出信号的分辨率。本发明与现有微米级的光栅周期相比，其光栅周期更小，提高了光栅检测微位移的精度；通过对可动纳米光栅阵列的光栅区域拼接，量程更大；整体结构紧凑，微型化程度高，实用性更强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105066979B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201510465969.0
申请日：2015-07-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本发明将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
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公开(公告)号：CN105066979A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510465969.0
申请日：2015-07-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5649 , G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本发明将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
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公开(公告)号：CN204988292U
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201520572390.X
申请日：2015-07-31
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656
Abstract: 本实用新型涉及微惯性导航技术相关领域，具体而言，涉及一种基于纳米光栅检测的高Q值微机械陀螺结构。所述微机械陀螺结构具有一设置固定纳米光栅的凸台，所述凸台实现减小下层固定结构和上层可动结构间的交叠面积。本实用新型将下层固定光栅设置在一个凸台上，减小了下层固定结构与上层可动结构间的交叠面积，当微机械陀螺的质量块在柯氏力的作用下产生水平位移时，上下两层结构间的滑膜阻尼系数大大减小，增大了该微机械陀螺的结构灵敏度，将基于纳米光栅检测的微机械陀螺的结构灵敏度提高1~2个数量级，其整体结构紧凑，具有灵敏度高的优势。
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公开(公告)号：CN205982318U
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201620752175.2
申请日：2016-07-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/093
Abstract: 本实用新型涉及加速度检测技术领域，提供了一种高精度双层纳米光栅三轴加速度检测装置，包括凸台、3轴加速度敏感结构、光电探测器阵列；凸台上布置有固定纳米光栅，凸台下方布置有对应的激光光源阵列，3轴加速度敏感结构包括分别检测X、Y、Z轴加速度的纳米光栅加速度敏感结构，位于凸台上方，纳米光栅加速度敏感结构上设有与固定纳米光栅对应的可动纳米光栅，3轴加速度敏感结构通过连接块与凸台可移动连接；激光光源阵列、固定纳米光栅、可动纳米光栅、光电探测器阵列自下而上对应布置在一条竖直轴线上。本实用新型的有益效果为：能同时检测三轴方向的加速度，精度高，使用惰性气体封装，寿命长，微型化、集成化、多功能，适于推广应用。
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公开(公告)号：CN206440239U
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201621190924.3
申请日：2016-11-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本实用新型涉及一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，所述微位移检测装置包括位移传感模块、处理单元、显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括能相对移动的双层纳米光栅,所述双层纳米光栅包括可动纳米光栅阵列和固定纳米光栅，并所述可动纳米光栅阵列由多个纳米光栅区域拼接而成，并多个所述光栅区域间留有一定间距；所述处理单元包括一细分电路，所述细分电路可提高该光电探测器阵列输出信号的分辨率。本实用新型与现有微米级的光栅周期相比，其光栅周期更小，提高了光栅检测微位移的精度；通过采用拼接的纳米光栅阵列，量程更大；整体结构紧凑，微型化程度高，实用性更强。
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