公开(公告)号：CN102798387A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201210329775.4

申请日：2012-09-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  李孟委 ,  李锡广 ,  王莉 ,  杜康 ,  石云波

IPC: G01C19/5719 ,  G01C19/5733

Abstract: 本发明公开了一种SOI基巨压阻效应微陀螺，主要结构包括：键合基板和微陀螺角速率敏感体。键合基板上表面中间位置刻蚀有矩形底槽；微陀螺角速率敏感体设在键合基板上表面并与键合基板相连接。微陀螺角速率敏感体进一步包括：键合基板左、右侧上表面分布的固定梳齿电极正极；前、后侧上表面分布的梳齿电极负极；固定梳齿电极正极上表面设置的固定梳齿结构；梳齿电极负极上表面设置的固定座；对应设在底槽上方的敏感质量块，敏感质量块上表面均匀分布有阻尼孔；敏感质量块通过组合梁与固定座相连接；组合梁的检测梁根部设有硅纳米线电阻作为敏感机构。根据本发明实施例的微机械陀螺采用整体结构设计，结构合理、紧凑，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

公开(公告)号：CN102638753B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201210071272.1

申请日：2012-03-16

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  杜康 ,  刘俊 ,  李锡广 ,  白晓晓 ,  王增跃 ,  王琪

IPC: H04R19/04 ,  H04R19/01

Abstract: 一种基于石墨烯的MEMS声学传感器，主要结构由由上层结构、下层结构及石墨烯组成，上层结构上制作有集音腔、间隙腔、通孔板、拾音孔、上层金属层、上层绝缘层、上层金属连接位、上层键合金属层，下层结构层上制作有通孔板、间隙腔、阻尼孔、阻尼腔、下层金属层、下层绝缘层、下层金属连接位、石墨烯连接位、下层金属键合层、上层金属焊盘、下层金属焊盘、上层金属连接孔、下层金属连接孔、石墨烯连接孔，上层绝缘层和下层绝缘层中夹有石墨烯层，单碳原子层厚度的石墨烯材料具有优异的机械特性和电学特性，以石墨烯为振动膜的声学传感器将会实现更高的灵敏度、分辨率，使声音的检测数据翔实、精准、可靠。

公开(公告)号：CN102680147B

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201210058424.4

申请日：2012-03-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  杜康 ,  刘俊 ,  李锡广 ,  朱京

IPC: G01L1/18

Abstract: 一种基于约瑟夫逊效应的压阻式力敏器件，主要由固定基座、悬臂梁、约瑟夫逊器件、压敏电阻、频率检测电路、频谱分析仪组成，悬臂梁的一端连接于固定基座，悬臂梁的根部掺杂有压敏电阻，固定基座与悬臂梁连接的邻近区域也掺杂有压敏电阻，固定基座上还制作有约瑟夫逊器件，约瑟夫逊器件由硅衬底层、二氧化硅层、铅层、氧化铅层、铜层、铅层组成，此检测方法将约瑟夫逊结对电压的超灵敏性应用于压阻式器件的电压信号的检测，将直流能量信号转变成交流能量信号，通过对交流能量信号的频率检测即可实现对微小电压信号的检测，其分辨率可比传统压阻式信号检测方法提高2-3数量级，检测方便、数据翔实可靠，是一种十分新颖的压阻式电压信号的检测方法。

公开(公告)号：CN102841217A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201210330126.6

申请日：2012-09-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  李孟委 ,  李锡广 ,  王莉 ,  郑伦贵 ,  苏树清

IPC: G01P15/18

Abstract: 本发明公开了一种巨磁阻效应三轴加速度计，包括：键合基板；巨磁敏电阻和微加速度计，巨磁敏电阻设在键合基板上表面，且与各检测方向加速度计敏感质量块上表面的巨磁敏电阻位置对应；微加速度计设在键合基板上方并与键合基板相连接，其包括：敏感质量块，铁磁性薄膜和悬臂梁。根据本发明的三轴微机械加速度计采用整体结构设计，三种检测不同方向的加速度计集成制作于同一框体上，结构合理，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

公开(公告)号：CN102798387B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201210329775.4

申请日：2012-09-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 刘俊 ,  李孟委 ,  李锡广 ,  王莉 ,  杜康 ,  石云波

IPC: G01C19/5719 ,  G01C19/5733

Abstract: 本发明公开了一种SOI基巨压阻效应微陀螺，主要结构包括：键合基板和微陀螺角速率敏感体。键合基板上表面中间位置刻蚀有矩形底槽；微陀螺角速率敏感体设在键合基板上表面并与键合基板相连接。微陀螺角速率敏感体进一步包括：键合基板左、右侧上表面分布的固定梳齿电极正极；前、后侧上表面分布的梳齿电极负极；固定梳齿电极正极上表面设置的固定梳齿结构；梳齿电极负极上表面设置的固定座；对应设在底槽上方的敏感质量块，敏感质量块上表面均匀分布有阻尼孔；敏感质量块通过组合梁与固定座相连接；组合梁的检测梁根部设有硅纳米线电阻作为敏感机构。根据本发明实施例的微机械陀螺采用整体结构设计，结构合理、紧凑，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

公开(公告)号：CN104567848A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201510043522.4

申请日：2015-01-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  李锡广 ,  刘俊 ,  刘双红 ,  王莉 ,  石云波

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5649 ,  G01C19/5656

Abstract: 本发明公开了一种基于隧道磁阻效应的微机械陀螺结构装置，主要结构包括：基板、垫衬框体，垫衬框体设在基板上方并与基板相连接；永磁体，永磁体设在基板与垫衬框体组合形成的矩形凹槽的中心位置；和微陀螺角速率敏感体，微陀螺角速率敏感体设在垫衬框体的上方并与垫衬框体相连接，且微陀螺角速率敏感体包括：对应设在矩形凹槽上方的灵敏测量体，灵敏测量体上表面设有隧道磁敏电阻且隧道磁敏电阻与永磁体位置对应。隧道磁敏电阻可随灵敏测量体沿垂直于所述永磁体上表面的方向振动。根据本发明的微机械陀螺采用整体结构设计，结构合理、紧凑，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

公开(公告)号：CN102928132A

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201210404406.7

申请日：2012-10-22

Applicant: 清华大学 ,  中北大学

Inventor： 刘泽文 ,  李孟委 ,  李锡广 ,  孙振源

IPC: G01L1/12

Abstract: 一种隧道磁阻压力传感器，包括键合基板、设置在键合基板上方的铁磁性薄膜承载体、设置在铁磁性薄膜承载体的弹性薄膜的整个下表面的铁磁性薄膜、设置在键合基板上表面中心位置的隧道磁敏电阻以及固定在铁磁性薄膜承载体上方的保护罩，保护罩上表面的中间设置连通保护罩的内腔和外界的通孔，本发明利用铁磁性薄膜形变引起磁场变化测得压力，被测压力通过通孔作用在沉孔区域的铁磁性薄膜上，使其发生离面形变，导致磁场发生变化，根据隧道磁阻效应，隧道磁敏电阻的阻值会在微弱磁场变化下发生剧烈变化，电阻值的变化将影响到外电路的输出电流或电压变化，由测得的电流或电压值实现对被测压力的测量，本发明结构合理，检测电路简单，灵敏度高，适合微型化。

公开(公告)号：CN103364585A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310305527.0

申请日：2013-07-19

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  李锡广 ,  白晓晓 ,  王琪 ,  杜康 ,  刘俊 ,  郑伦贵

IPC: G01P15/12

Abstract: 一种新型介观压阻效应微加速度计，主要结构由键合基板、敏感质量块、支撑框体、共振隧穿器件、组合梁组成，共振隧穿器件由共振隧穿材料薄膜层、共振隧穿器件正极、共振隧穿器件负极组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成；以键合基板为载体，在键合基板上键合有支撑框体，支撑框体的四边中心位置处连接有组合梁，组合梁连接于敏感质量块的四边中心部位，另一侧与支撑框体相连，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成。共振隧穿材料薄膜层形成多势垒压敏结构，可使硅压阻器件的灵敏度提高1-2个数量级，根据本发明实施例的微加速度计，结构合理紧凑，检测方便，精度高，可靠性好，适合微型化，具有很强的抗横向作用。

公开(公告)号：CN102854339A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201210330512.5

申请日：2012-09-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 王莉 ,  郑伦贵 ,  李锡广 ,  李孟委 ,  刘俊 ,  崔敏

IPC: G01P15/105

Abstract: 本发明公开了一种巨磁阻效应微加速度传感器，主要结构包括：键合基板；铁磁性薄膜，铁磁性薄膜设在键合基板上的矩形凹槽，即底槽中；和加速度敏感体，加速度敏感体设在键合基板上方并与键合基板相连接，且加速度敏感体包括：对应设在底槽上方的敏感质量块；敏感质量块上表面设有巨磁敏电阻且巨磁敏电阻与铁磁性薄膜位置对应；敏感质量块四周的悬臂梁，以及悬臂梁外侧的支撑框体。巨磁敏电阻层可随敏感质量块沿垂直于所述铁磁性薄膜上表面的方向振动。根据本发明实施例的微机械加速度传感器采用整体结构设计，结构合理，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

公开(公告)号：CN102680738A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210057647.9

申请日：2012-03-07

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  刘俊 ,  杜康 ,  王莉 ,  李锡广

IPC: G01P15/12 ,  B81B3/00

Abstract: 一种具有抗横向干扰的硅纳米带巨压阻效应微加速度计，主要结构由键合基底、敏感质量块、固定外框、组合梁、硅纳米线电阻、凹槽、阻尼孔组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成，硅纳米线电阻由硅纳米带电阻层、硅纳米带电阻正极、硅纳米带电阻负极组成；以键合基底为载体，在键合基底上键合有固定外框，固定外框的四边中心位置处连接有组合梁，组合梁连接于敏感质量块的四角部位，且内嵌于组合梁运动空间内，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成，结构设计紧凑，既能充分利用空间，适合器件微型化，又能抗击横向干扰，提高检测精度，硅纳米带电阻由硅纳米带电阻层、硅纳米带电阻正极、硅纳米带电阻负极组成，硅纳米带电阻层所具有巨压阻效应比传统的硅压阻器件的压阻灵敏度高约2个数量级，可大幅提高硅压阻式传感器的检测灵敏度和分辨率。