基于隧道磁阻效应的单轴微机械位移传感器

    公开(公告)号:CN107131819B

    公开(公告)日:2023-02-24

    申请号:CN201710438107.8

    申请日:2017-06-12

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 一种基于隧道磁阻效应的单轴微机械位移传感器,包括键合基板、位移敏感体、铁磁性薄膜和隧道磁敏电阻,位移敏感体由位移敏感体框体、敏感质量块及回折梁构成,位移敏感体框体固定在键合基板上,敏感质量块置于位移敏感体框体内,通过回折梁与位移敏感体框体连接,敏感质量块上表面固定有铁磁性薄膜,键合基板上表面设有与铁磁性薄膜位置对应的隧道磁敏电阻。本发明的单轴微机械位移传感器采用整体结构设计,将位移传感器集成制作于同一框体上,可将微机械位移传感器的灵敏度提高1~2个数量级。

    一种低温漂的谐振式微加速度计等腰直角三角形阵列结构

    公开(公告)号:CN108801247B

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN201810565263.5

    申请日:2018-06-04

    Applicant: 中北大学

    Inventor: 崔敏 杨海鹏

    Abstract: 本发明涉及谐振式微加速度计,具体是一种低温漂的谐振式微加速度计等腰直角三角形阵列结构。本发明解决了现有谐振式微加速度计在输入的加速度较小时形成测量盲区、制造成本高、成品率低、功能受限的问题。一种低温漂的谐振式微加速度计等腰直角三角形阵列结构,包括三个尺寸相同的单谐振机构微加速度计;三个单谐振机构微加速度计的敏感轴线在同一平面内相交形成等腰直角三角形;所述单谐振机构微加速度计包括质量块和谐振机构;所述谐振机构包括左一大锚块、右一大锚块、左二大锚块、右二大锚块、左一方波状支撑梁、右一方波状支撑梁、左二方波状支撑梁、右二方波状支撑梁、中间锚块。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。

    一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置

    公开(公告)号:CN102633227B

    公开(公告)日:2014-07-23

    申请号:CN201210071296.7

    申请日:2012-03-16

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置,主要由阻尼帽、键合衬底、二氧化硅层、氮化硅层、键合金属层、电阻正极、电阻负极、上极板电极、下极板电极、固定基座、硅弹性膜、凹腔、上极板金属层、下极板金属层、上极板金属层引出线、下极板金属层引出线、环形电阻、环形电阻正极引出线、环形电阻负极引出线组成,在键合衬底上制作有2组加热环形电阻和1对静电金属极板,可使待调器件的压膜阻尼系数减小或增加1-2个数量级,从实现对MEMS传感器Q值的封装后调制,此装置结构设计紧凑、巧妙,操作方便、响应迅速、可调精度高。

    毫米波腔体滤波器的制作方法

    公开(公告)号:CN103000981A

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201210463302.3

    申请日:2012-11-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明为一种毫米波腔体滤波器的制作方法。本发明使用光刻胶作为辅助材料,使用电镀金属材料作为结构材料,并配合不同图案的掩膜板,采用多层匀胶、逐层光刻并显影、电镀、最终剥离固化的光刻胶的技术,可以精确构造出腔体滤波器复杂的三维金属结构。利用弹性优异的柔性材料PDMS对其进行翻模,构造模具,再对模具进行注塑固化,可以对腔体结构及盖板结构进行快速精确复制,最后将二者进行键合封装,即得到完整的毫米波腔体滤波器。本发明方法制得的滤波器体积轻巧、精度高、频率高、频带宽、信号容量大,且该滤波器腔体为一体化设置,避免了组装带来的误差,提高了滤波器的性能。本发明制作方法具有工艺简单、制作精度高等优点。

    一种基于参考光路光谱椭偏技术的在线镀膜检测装置

    公开(公告)号:CN115791636A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211572147.9

    申请日:2022-12-08

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于在线镀膜检测技术领域,具体涉及一种基于参考光路光谱椭偏技术的在线镀膜检测装置,包括光源、起偏臂、第一可移动反射镜、镀膜箱、被镀薄膜、被镀薄膜衬底、第二可移动反射镜、检偏器和探测器,所述光源的光路方向上设置有起偏臂,所述起偏臂的光路方向上设置有镀膜箱,所述被镀薄膜设置在镀膜箱内,所述被镀薄膜设置在起偏臂的光路方向上,所述被镀薄膜的反射光路方向上设置有检偏器,所述检偏器的光路方向上设置有探测器。本发明的第一可移动反射镜和第二可移动反射镜可移动改变光路,通过外加参考光路实现镀膜箱内部环境光学参数变化、镀膜窗口污染的检测,进而修正椭偏在线镀膜检测结果,提高了镀膜中薄膜测量精度。

    一种基于三极管和阶跃恢复二极管的超窄脉冲压缩装置

    公开(公告)号:CN113098452B

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202110341875.8

    申请日:2021-03-30

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于超窄脉冲信号发生技术领域,具体涉及一种基于三极管和阶跃恢复二极管的超窄脉冲压缩装置,第一三极管的集电极接地,第一三极管的发射极连接在第二三极管的基极上,第二三极管的集电极接地,第二三极管的发射极通过第一电容连接在第三三极管的基极上,第三三极管的发射极接地,第三三极管的集电极通过第二电容连接在电感的一端,第三三极管的集电极通过第二电容连接在阶跃恢复二极管的一端,阶跃恢复二极管另一端接地。本发明利用阶跃恢复二极管极快的开关特性以及三极管的放大、开关特性,设计了一种低功耗、低成本的超窄脉冲压缩装置,并能产生脉冲宽度极窄以及下降沿更快,且能达到ps数量级,拖尾现象更小。

    基于特征融合网络的声源目标识别方法

    公开(公告)号:CN110444225B

    公开(公告)日:2022-03-25

    申请号:CN201910874153.1

    申请日:2019-09-17

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于声音信号处理技术领域,具体涉及一种基于特征融合网络的声源目标识别方法。本发明技术方案中,首先,两组训练稠密卷积编码‑解码网络对输入数据与人工提取特征分别训练编码网络抽象高级特征,基于稠密卷积的使用可以使我们能够训练深度更深的编码网络并增强重复特征的使用。其次,设计融合层融合两种编码网络提取的特征,最后利用一个卷积网络实现声源信号的分类。最终,本发明技术方案解决了现有技术中对识别精度产生负面影响、以及卷积网络当层数加深时还存在梯度消失或爆炸,特征重复利用率等缺陷的问题。

    一种用于调强放射治疗直接子野优化的方法及系统

    公开(公告)号:CN107823806B

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201710831100.2

    申请日:2017-09-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于调强放射治疗直接子野优化的方法,获取病人的基本信息;计算目标函数梯度矩阵,并利用模糊器消除噪声;利用自适应阈值分割原理生成新子野形状;优化子野权重,对已有的全部子野权重进行优化;优化子野形状,对已有的全部子野形状进行优化;输出三维剂量分布、DVH曲线、子野个数,子野形状和子野权重信息。本发明还公开了一种包含上述方法的用于调强放射治疗直接子野优化系统,包括信息获取模块,预处理模块,生成子野模块,优化子野权重模块,优化子野形状模块,信息输出模块。本发明解决了现有优化方法及系统得到子野形状精确度低及优化效率低的问题。

    一种用于调强放射治疗直接子野优化的方法及系统

    公开(公告)号:CN107823806A

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201710831100.2

    申请日:2017-09-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种用于调强放射治疗直接子野优化的方法,获取病人的基本信息;计算目标函数梯度矩阵,并利用模糊器消除噪声;利用自适应阈值分割原理生成新子野形状;优化子野权重,对已有的全部子野权重进行优化;优化子野形状,对已有的全部子野形状进行优化;输出三维剂量分布、DVH曲线、子野个数,子野形状和子野权重信息。本发明还公开了一种包含上述方法的用于调强放射治疗直接子野优化系统,包括信息获取模块,预处理模块,生成子野模块,优化子野权重模块,优化子野形状模块,信息输出模块。本发明解决了现有优化方法及系统得到子野形状精确度低及优化效率低的问题。

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