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公开(公告)号：CN107424875B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201710607042.5
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种十字型的单刀三掷开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成，微波传输线和驱动电极设置在衬底上，上电极为T型直板型结构，下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点，从力学方面讲，可以减小上电极因静电力作用快速下拉时对下电极产生的撞击力，起到缓冲作用，从而保护触点和上电极，从电学方面讲，可以增强有效接触，避免弱接触带来的烧蚀和粘连，当在第一驱动电极上施加驱动电压时，上电极在静电力的作用下发生下拉至与触点接触，此时开关处于导通状态，第二驱动电极上方的上电极翘起，既增大了开关的隔离度，防止了上下电极之间的自吸合，同时也增强了开关寿命和微波性能。
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公开(公告)号：CN107424875A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710607042.5
申请日：2017-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 一种十字型的单刀三掷开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成，微波传输线和驱动电极设置在衬底上，上电极为T型直板型结构，下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点，从力学方面讲，可以减小上电极因静电力作用快速下拉时对下电极产生的撞击力，起到缓冲作用，从而保护触点和上电极，从电学方面讲，可以增强有效接触，避免弱接触带来的烧蚀和粘连，当在第一驱动电极上施加驱动电压时，上电极在静电力的作用下发生下拉至与触点接触，此时开关处于导通状态，第二驱动电极上方的上电极翘起，既增大了开关的隔离度，防止了上下电极之间的自吸合，同时也增强了开关寿命和微波性能。
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公开(公告)号：CN107131819A
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201710438107.8
申请日：2017-06-12
Applicant: 中北大学
IPC: G01B7/02
CPC classification number: G01B7/02
Abstract: 一种基于隧道磁阻效应的单轴微机械位移传感器，包括键合基板、位移敏感体、铁磁性薄膜和隧道磁敏电阻，位移敏感体由位移敏感体框体、敏感质量块及回折梁构成，位移敏感体框体固定在键合基板上，敏感质量块置于位移敏感体框体内，通过回折梁与位移敏感体框体连接，敏感质量块上表面固定有铁磁性薄膜，键合基板上表面设有与铁磁性薄膜位置对应的隧道磁敏电阻。本发明的单轴微机械位移传感器采用整体结构设计，将位移传感器集成制作于同一框体上，可将微机械位移传感器的灵敏度提高1～2个数量级。
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公开(公告)号：CN106650013B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201611042972.2
申请日：2016-11-24
Applicant: 中北大学
IPC: G06F30/20 , G06F119/02
Abstract: 本发明是一种微加速度计在高速旋转环境下的可靠性仿真方法。步骤如下：1、利用仿真软件建立微加速度计的仿真模型；2、初步设定一个离心旋转半径，根据微加速度计应用环境设定起始旋转角速度，仿真得到应力及位移云图，找出应力集中部位；3、从初始角速度开始以角速度变化量为步长逐步增加旋转角速度，直到使微加速度计即将失效的最大旋转角速度；4、以可承受的最大旋转角速度和旋转半径经公式计算得到可承受的最大离心加速度；5、改变旋转半径，重复步骤2到步骤4得到多个可承受最大离心加速度。经过比较分析确定微加速度计可以承受的最大离心加速度从而判断微加速度度计在高速旋转环境下的可靠性以及它的失效模式和失效机理。
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公开(公告)号：CN107356249A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710695629.6
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C21/16
CPC classification number: G01C21/16
Abstract: 一种隧道磁阻检测的微惯性组件，主要结构由键合基板，支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成，适合微型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106650010A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611042333.6
申请日：2016-11-24
Applicant: 中北大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明涉及微加速度计的可靠性仿真技术，具体是一种微加速度计在温、湿、振综合应力下的可靠性仿真方法。本发明解决了目前尚无一种基于高加速寿命试验技术的微加速度计可靠性仿真方法的问题。微加速度计在温、湿、振综合应力下的可靠性仿真方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）利用仿真软件建立微加速度计的仿真模型；通过仿真模型确认微加速度计的材料特性；2）在温度应力下对微加速度计进行可靠性仿真；3）在振动应力下对微加速度计进行可靠性仿真；4）在温度、湿度、振动综合应力下对微加速度计进行可靠性仿真。本发明适用于各种微加速度计的可靠性仿真。
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公开(公告)号：CN107131819B
公开(公告)日：2023-02-24
申请号：CN201710438107.8
申请日：2017-06-12
Applicant: 中北大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 一种基于隧道磁阻效应的单轴微机械位移传感器，包括键合基板、位移敏感体、铁磁性薄膜和隧道磁敏电阻，位移敏感体由位移敏感体框体、敏感质量块及回折梁构成，位移敏感体框体固定在键合基板上，敏感质量块置于位移敏感体框体内，通过回折梁与位移敏感体框体连接，敏感质量块上表面固定有铁磁性薄膜，键合基板上表面设有与铁磁性薄膜位置对应的隧道磁敏电阻。本发明的单轴微机械位移传感器采用整体结构设计，将位移传感器集成制作于同一框体上，可将微机械位移传感器的灵敏度提高1～2个数量级。
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公开(公告)号：CN109935948A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201711377865.X
申请日：2017-12-19
Applicant: 中北大学
IPC: H01P1/22
Abstract: 本发明为一种衰减器，涉及衰减器领域。为解决现有技术对信号衰减的梯度较少而发明，其中包括：3个衰减单元，衰减单元之间串联连接；其中，衰减单元中的第一射频微机电系统开关、第一转角模块、电阻模块、第二转角模块与第二射频微机电系统开关通过共面波导传输线依次串联连接，形成第一支路；衰减单元中的第三射频微机电系统开关、第三转角模块、第四转角模块以及第四射频微机电系统开关通过共面波导传输线依次串联连接，形成第二支路；第一支路第一端与第二支路第一端连接，作为衰减单元的信号输入端；第一支路第二端与第二支路第二端连接，作为衰减单元的信号输出端。本发明用于对信号进行衰减。
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公开(公告)号：CN107421525A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710695564.5
申请日：2017-08-15
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/5656
Abstract: 一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成。
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公开(公告)号：CN106650013A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611042972.2
申请日：2016-11-24
Applicant: 中北大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明是一种微加速度计在高速旋转环境下的可靠性仿真方法。步骤如下：1、利用仿真软件建立微加速度计的仿真模型；2、初步设定一个离心旋转半径，根据微加速度计应用环境设定起始旋转角速度，仿真得到应力及位移云图，找出应力集中部位；3、从初始角速度开始以角速度变化量为步长逐步增加旋转角速度，直到使微加速度计即将失效的最大旋转角速度；4、以可承受的最大旋转角速度和旋转半径经公式计算得到可承受的最大离心加速度；5、改变旋转半径，重复步骤2到步骤4得到多个可承受最大离心加速度。经过比较分析确定微加速度计可以承受的最大离心加速度从而判断微加速度度计在高速旋转环境下的可靠性以及它的失效模式和失效机理。
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